• 제목/요약/키워드: 디지털 기준파면

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Off-Axis 디지털홀로그래피를 이용한 마이크로히터의 실시간 온도분포측정 (Real Time Temperature Distribution Measurement of a Microheater by Using Off-Axis Digital Holography)

  • 체랭돌가르;백병준;김대석
    • 한국진공학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.106-113
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    • 2011

  • 본 논문은 마이크로히터표면의 실시간 온도분표측정을 위한 마하젠더 간섭계 기반의 off-axis 디지털홀로그래피기술에 대한 것이다. 제안된 방법은 재료표면의 온도분포에 직접적인 함수인 2차원 위상 분포를 측정하고, 이를 통해 실시간으로 재료표면의 온도 map을 측정할 수 있다. 본 논문에서는 섭씨 20도에서 60도 사이의 온도구간에서 마이크로히터 표면의 위상변화와 실제표면온도가 선형적인 관계가 있음을 실험적으로 보였다. 제안된 방법은 재료표면의 온도분포를 실시간으로 측정하고자 하는 다양한 응용분야에 적용될 수 있을 것으로 기대된다.

  • https://doi.org/10.5757/JKVS.2011.20.2.106 인용 PDF KSCI