• Title/Summary/Keyword: 두께 평가

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Freehang 방법을 이용한 DLC 필름의 탄성 특성 평가

  • 정진원;이광렬;은광용;고대홍
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.128-128
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    • 2000
  • 박막의 탄성 특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 이러한 방법들은 필름의 두께가 일정 두께 이상이 되어야 정확한 측정이 가능한 방법으로 매우 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang, bridge 방법이 제시되었으며, 이 방법은 간단한 식각 공정을 통해 매우 얇은 박막에도 적용시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 아주 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang 방법을 이용하여 순수한 Diamond-like carbon (DLC) 필름과 Sidl 첨가된 DLC 필름의 탄성 특성을 평가하고자 한다. 실험에서 사용한 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400 Vb로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응 가스는 벤젠(C6H6), 그리고 벤젠과 희석된 실렌(SiH4 : H2 = 10 : 90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 일정량의 Si을 함유시켰다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 변화시켰으며, KOH(5.6mol) 용액을 이용하여 습식 식각을 함으로써 freehang을 제작하였다. 이때 식각액에 의한 DLC 필름의 손상은 관찰되지 않았다. 필름의 잔류 응력을 측정하기 위해 200$\pm$10 혹은 100$\pm$5$\mu\textrm{m}$ 두께의 얇은 (100) Si wafer를 5$\times$50 mm2의 strip 형태로 절단하여 사용하였다. 필름의 압축 잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률은 laser 반사법과 $\alpha$-step profiler를 이용하여 측정하였으며, 이 결과를 Brenner 등에 유도된 식을 이용하여 잔류 응력을 계산하였다. 또한 제작된 frddhang은 광학 현미경과 전자주사현미경에 의해 관찰되었다. 이렇게 제작된 freehang을 이용하여 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류 응력을 박막의 응력-변형률 관계식에 적용하여 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. 측정 결과 필름의 잔류 응력과 biaxial elastic modulus는 필름의 두께가 감소함에 따라 감소하는 경향을 나타냈으며, 같은 두께의 필름인 경우, 식각 깊이에 따른 biaxial elastic modulus 의 변화를 통해 최적의 식각 깊이를 알 수 있었다.

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Evaluation of Thickness Reduction in Steel Plate by Using SH-EMATs (수평횡파 송수신용 EMAT를 이용한 스틸 박판의 두께 감육 평가)

  • Lee, Jin-Hyuk;Park, Ik-Keun;Kim, Yong-Kwon;Kim, Dae-Hyun
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.31 no.1
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    • pp.47-52
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    • 2011
  • An electromagnetic acoustic transducer(EMAT) is a non-contact transducer which can transmit the ultrasonic guided waves into specimens without couplant. And it can easily generate specific guided waves such as SH(shear horizontal) or Lamb waves by altering the design of coil and magnet. In this study, the SH wave, which is generated by EMAT, has been applied to estimate the thickness-reduction in a steel plate. Especially, the interesting feature of the dispersive behavior in selected wave modes is used to detect the thickness-reduction. Experimental results show that the reduction-level can be quantified by the measurement of the group velocity of the wave which passes though the thinning area.

Evaluation of Oxygen Permeability of Soft Contact Lenses Based on Thickness (두께 기준에 따른 소프트 콘택트렌즈의 산소투과성 평가)

  • Yu, Dong-Sik;Moon, Byeong-Yeon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.10 no.8
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    • pp.2157-2163
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    • 2009
  • The oxygen permeability of a soft contact lens is an important parameter for determining corneal health when considering the physiological response of the eye. The aim of this study is to evaluate the oxygen permeability of soft contact lenses based on thickness, using the polarographic method. The thickness of lens was measured using contact and non-contact method. To assess accuracy and reliability, the Bland-Altman plot was used. The reliability was high for the oxygen permeability based on center thickness measured by contact method, whereas the accuracy was high for the oxygen permeability based on center thickness measured by non-contact method. These results indicate that the permeability characteristics were variable according to the measurement and criteria of thickness of soft contact lenses and the measurement of soft contact lenses by non-contact method was more reasonable. Thus, contact lens practitioners should consider some basic differences between methodologies when interpreting or quoting oxygen performance data.

Assessment of NATM tunnel lining thickness and its behind state utilizing GPR survey (GPR탐사를 통한 NATM터널(무근)라이닝의 두께 분포 및 배면상태 평가)

  • Choo, Jin-Ho;Yoo, Chang-Kyoon;Oh, Young-Chul;Lee, In-Mo
    • Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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    • v.21 no.5
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    • pp.717-733
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    • 2019
  • In this study, lining thickness distribution and its behind state (particularly, its void state) were analyzed using the GPR survey data performed on three currently operating NATM tunnels. Results of GPR analysis showed that void areas were mostly detected between concrete lining and primary support, particularly, near the crown of the tunnels. The lining thickness in the left-hand side of the tunnel was different from that of the right-hand side by 8.6~253.5 mm when measured in transverse direction. It was also found that longitudinal cracks were prevailed in the area lining thickness was sharply changed. Longitudinal thickness distribution at the crown was also studied and tested by performing 3 goodness-of-fit tests in order to find the most suitable thickness distribution. Normal distribution (or similar distribution) fit most suitably to the measured data if the measured average thickness was larger than designed one; Gamma and/or Inverse Gauss distribution fit to the measured data reasonably well if the measured average thickness was less than the designed value of thickness. Since actual lining thickness can be a potential index when assessing the state and safety of the unreinforced NATM tunnel lining, measuring of the lining thickness with GPR survey might be needed rather than assuming the thickness is always constant and same with the designed value.

Study on the Fabrication of Aluminum Vacuum Chamber of Chemical Vapor Depositor for Flat Display with Welding Method (용접방식을 적용한 평면디스플레이용 화학기상증착기의 알루미늄 진공챔버 제조에 관한 연구)

  • Jeong, Na-Gyeom;Kim, Hun-Sik;Kim, Sang-Jun;Jang, Gi-Beom;Jang, Gwan-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.76-76
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    • 2018
  • LCD 디스플레이 크기는 점차 대형화를 이루면서, 현재 LCD 디스플레이 크기는 3,000*3,320mm 크기까지 증가하여 개발이 활발이 이루어지고 있다. 디스플레이의 크기가 증가함에 따라 제조 장비의 크기도 증가되어야 하므로, LCD 디스플레이 CVD 공정에 사용되는 4,200*3,300mm 크기의 대형 Aluminium Vacuum Chamber 에 피막두께 $15{\mu}m$ 이상을 구현함과 동시에 두께 균일도가 우수하며 염수분무시험으로 168시간 이상의 내식성 확보가 가능한 양극산화조건 개발을 위하여 양극산화 피막의 각종 특성 평가를 실시하였다. 양극산화 피막 두께 측정은 와전류(Eddy Current)의 원리를 이용한 비파괴식 두께 측정법(ISO 2360, ASTM D 7091)을 적용하였으며, 염수분무시험 방법은 (KS D 9502)을 적용하였으며, HCl bubble stream 시험 방법은 HCl 5% 농도를 투명 아크릴 튜브에 채운후 bubble stream 을 종점으로 하여 평가를 실시하였으며, 열충격을 이용한 도금밀착성(KS D 0254), 도장접착력(ASTM D 3359) 등을 이용하여 전해조건 및 전해액 농도에 따른 피막 특성 비교평가를 실시하여 최적의 대형 Aluminium Vacuum Chamber 양극산화 전해 조건을 개발하여 4,200*3,300mm 크기의 대형 Aluminium Vacuum Chamber 제조를 목적으로 하였다.

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Evaluation of Electroless Ni plating layer characteristic with various reducing agent, plating time and temperature (도금 조건에 따른 무전해 Ni 도금막의 특성 평가)

  • Lee, Sun-Jae;Lee, Jeong-Hyeon;Jeong, Do-Hyeon;Jeon, Ju-Seon;Jeong, Jae-Pil
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.174.2-174.2
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    • 2016
  • 도금은 크게 전해 도금과 무전해 도금으로 나눌 수 있다. 전기적 에너지를 사용하여 이온 상태의 금속을 환원시켜 석출함으로써 도금을 진행하는 전해 도금과는 달리 무전해 도금은 도금액 내의 환원제에 의해 금속 이온을 환원시켜 도금을 진행한다. 무전해 도금법은 전해 도금에 비해 전류 인가 장비가 필요하지 않아 도금 공정이 간단하고, 피도금체에 따른 인가 전류, 전압, 금속의 환원 전위 등을 계산하지 않아도 되기 때문에 전문적인 지식이 없어도 도금을 할 수 있다. 하지만 무전해 도금은 도금이 진행 될수록 도금액 내 금속 이온, 환원제의 농도 등이 수시로 변화하기 때문에 도금액의 조성을 파악하여 원하는 두께의 도금층을 형성하는 방법에 대한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 무전해 도금액 내 환원제, 도금액 온도, 도금 시간을 변경하여 Ni 무전해 도금을 형성 하였고 그 특성을 평가하였다. 도금은 각각 플라스틱, RF module 유리 등 다양한 기판에 진행 하였으며, 도금 후 밀착성, 도금 두께 및 microstructure를 분석하였다. 도금 후 밀착성을 분석하기 위해 열처리 후 박리정도를 테스트를 하였고, 도금 두께 및 microstructure를 분석하기 위해 field emission scanning electron microscope (FE-SEM), energy-dispersive spectroscopy (EDS)를 사용하였다. 실험 결과, 두께 $3{\sim}5{\mu}m$ 급의 균일한 도금층이 형성된 것을 확인하였으며, $260^{\circ}C$에서 3회 열처리 후 박리성 평가 결과, 결함 없는 양호한 표면을 나타내었다.

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Electroless Plating of Cu and its Characteristics with Plating Parameters and Reducing Agent (도금 변수 및 환원제에 따른 Cu 무전해 도금 및 도금막 특성 평가)

  • Lee, Jeong-Hyeon;Lee, Sun-Jae;Jeong, Do-Hyeon;Jeon, Ju-Seon;Jeong, Jae-Pil
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.174.1-174.1
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    • 2016
  • 무전해 도금법은 외부 전원을 인가하지 않고 환원제를 이용하여 자발적으로 금속 도금층을 형성시키는 기술로, 용액내의 환원제가 산화될 때 방출되는 전자가 금속 이온에 전이하여 금속을 코팅하는 기술이다. 그 중에서도 Cu 무전해도금은 박막 형성의 용이성 및 간단한 제조 공정으로 인한 제조 원가 절감 등의 장점으로 인해 반도체 소자 배선부분에서 건식방식으로 발생되는 한계점들에 대한 해결 기술로 주목받고 있다. 또한, 이 기술은 금속 이온이 환원제에 의해 금속으로 석출되기 때문에, 피도금물이 무전해 도금액과 균일하게 접촉하고 있으면 균일한 도금 두께를 얻을 수 있는 장점이 있어서 복잡하고 다양한 형상의 제품에 적용이 가능하다. 본 연구에서는 플라스틱, PCB 등 다양한 기판에 도금 환원제, 온도 및 시간 등 도금변수를 변경하여 Cu 도금막을 형성한 후 그 특성을 평가하였다. 도금층 두께 분석을 위해 field emission scanning electron microscope (FE-SEM), energy-dispersive spectroscopy (EDS)를 사용하였으며, 박리성 평가를 위해 cross-cutting test를 실시하였다. 실험 결과, 두께 $1{\sim}3{\mu}m$ 급의 균일한 도금층이 형성된 것을 확인하였으며, $85^{\circ}C/85%$ 고온고습 조건에서 168시간 후 박리성 평가 결과, 결함 없는 양호한 표면을 나타내었다.

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객관적 음질평가 기법 연구

  • 이신열;최낙진;성광고
    • Information and Communications Magazine
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    • v.22 no.10
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    • pp.24-34
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    • 2005
  • 시스템을 설계하고 제작한 후에 그 시스템과 구성 요소가 최종적으로 음질에 미치는 영향을 평가하는 일은 필수적이다. 음질평가 기법은 크게 두 가지가 있다. 첫 번째는 사람의 귀로 듣고 평가하는 주관평가 방법이고, 두 번째는 측정 데이터로부터 객관적으로 성능을 평가하는 방법이다. 주관적 음질평가 방법은 사람이 직접 귀로 듣고 평가하는 방법이기 때문에, 여러 가지 불안정한 요소를 안고 있다. 주관 평가자의 신체적$\cdot$심리적 상태에 따라 평가가 달라질 수 있으며, 개개인에 따라 다른 결과를 내기도 한다. 따라서, 주관평가 결과의 신뢰성을 확보하기 위해서는 통계적인 데이터를 얻고 평가자를 올바르게 훈련시켜야 한다. 그러기 위해서는 시간과 비용이 많이 소비된다. 따라서 측정 데이터로부터의 정교한 계산을 통하여 라우드스피커의 음질을 신뢰할만한 수준으로 평가할 수 있다면 신뢰성을 확보할 수 있을 뿐 아니라 시간 및 비용 절감 효과를 볼 수 있다. 본 연구에서는 측정 데이터로부터 시스템의 음질을 신뢰할만한 수준으로 평가할 수 있는 기법을 새롭게 제안한다. 이것은 ITU-R Recommendation BS. 1387인 PEAQ를 사용하여 라우드스피커의 음질을 평가하는 방법이다.

Characterization of Asphalt Pavement Distress Using Korean Pavement Research Program (한국형포장설계법을 이용한 아스팔트포장의 파손특성)

  • Lee, Kwan-Ho;Lee, Kyung-Suk
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.18 no.4
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    • pp.487-493
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    • 2017
  • The main purpose of this study is to evaluate the main parameters involved in the asphalt pavement distresses, including IRI (International Rough Index), fatigue, and permanent deformation. The main parameters are the region (Seoul and Busan), traffic level, asphalt binder, maximum aggregate of surface course, thickness of the surface course and base. A total of 64 case studies were carried out under the auspices of the KPRP (Korea Pavement Research Program). From the analysis of the KPRP test results, the key factors for the asphalt pavement distress were determined. Considering the effect of one variable in the basic condition, asphalt binder was the major factor having an effect on the distresses for an AADT (Annual Average Daily Traffic) of 5000 in the Seoul area. Among the remaining factors, the results were found to be in the order of the base layer thickness (A), surface layer thickness (B), and aggregate particle size thickness (D). The same results were obtained for an AADT of 10000. In the case of Busan with an AADT of 5000, the same result was obtained as for Seoul. Among the remaining factors, the results were in the order of the base layer thickness (A), aggregate particle thickness (D), and surface layer thickness (B). Even though there was a slight difference in the effect of the traffic level and region, asphalt binder was the parameter having the greatest effect on the asphalt pavement distress. In the case where the effect of multiple parameters was analyzed, the combination of the asphalt binder and base thickness showed a relatively strong effect.

Characteristics of High Heat Input Welding (대입열용접 특성)

  • Kim, Hee-Jin;Ryu, H.S.
    • Proceedings of the KWS Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.13-17
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    • 2010
  • 용접입열 (heat input)은 용접시에 외부로부터 가해지는 열량으로 정의되기 때문에, 대입열용접은 용접입열량이 높은 용접이라고 정의할 수 있다. 통상적으로는 기존에 사용하던 용접기법보다 입열량이 높은 경우에 이를 대입열 용접기법이라고 부르게 되는데, 최근에는 편면 SAW 및 EGW기법 등이 대입열 용접기법으로 통칭되고 있다. 이들 기법의 공통된 특징은 one-pass 용접이라는 것과 용접열영향부에서의 열전달이 2차원적이라는 것이다. 본 연구에서는 Rosenthal의 해석식을 이용하여 이들 두 기법의 열전달 특성을 fusion line 위치에서 분석하여 보았는데, 두께에 따른 열전달 특성에 있어서 커다란 차이를 보여 주게 됨을 확인하였다. 편면 SAW에서는 열이력이 두께의 영향을 받아 두께(입열)가 증가함에 따라 고온에서의 유지시간은 증가하고 냉각속도는 느려지게 된다. 그러나 EGW에서는 입열과 두께가 일차함수적인 관계를 가지고 있기 때문에 열이력에 미치는 두께(입열)의 영향이 없다는 결과가 도출되었다. 이러한 차이로 인하여 편면 SAW에서는 강판 두께가 증가함에 따라 fusion line에서의 충격인성은 저하할 것으로 예상되는 반면에 EGW에서는 두께의 영향을 받지 않을 것으로 예상되었다. 그럼으로 EGW용 대입열용접용 강재의 '대입열 용접성'을 정량적으로 평가할 목적으로 '적용 가능한 최대입열 수준' 또는 '적용 가능한 최대 강판두께' 등으로 평가하는 것은 의미가 없는 것이다. 단지 강판의 두께에 따라 강재의 화학조성이나 제조공정에 있어 차이가 있다면, 이로 인한 'EGW 용접성'의 차이는 있을 수 있다.

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