• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.17 no.3
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• pp.240-246
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• 2008

The x-ray transmission anode Ag-target tube was developed to apply for the thickness measurement of film in the thickness range of several tens$\sim$several hundreds ${\mu}m$ and its characteristics were evaluated. The energy distribution and dose of x-ray from Ag-target tube was investigated at the tube voltage near 10 kV, and discussed in comparition with that from W-target tube. The energy distribution and dose of x-rays passing through film were measured with various thickness of Ny and PP film. From these results, it was confirmed that our x-ray tube can be applied for the thickness measurement of film.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.197-197
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• 1999

Gate oxide 의 두께 감소는 gate의 캐패시턴스를 증가시켜 트랜지스터의 속도를 빠르게 하며, 동시에 저전압 동작을 가능하게 하기 때문에 gate oxide 두께는 MOS 공정 세대가 진행되어감에 따라 계속 감소할 것이다. 이러한 얇은 산화막은 device design에 명시된 두께의 특성을 나타내야 한다. Gate oxide의 두께가 작아질수록 gate oxide와 crystalline silicon간의 계면효과가 박막의 두께의 결정에 심각한 영향을 주기 때문에 정확한 두께 계측이 어렵다. 이러한 영향과 계측방법에 따라서 두께 계측의 차이가 나타난다. XTEM은 사용한 parameter에, Ellipsometer는 refractive index에, MEIS(Medium) Energy Ion Scattering)은 에너지 분해능에, Capacitor-Voltage 측정은 depletion effect에 의해 영향을 받는다. 우리는 계면의 원자분해능 분석에 통상 사용되어온 High Resolution TEM을 이용하여 약 30~70$\AA$ SiO2층의 두께와 계면 구조에 대한 분석을 하여 이를 MEIS와 0.015nm의 고감도를 가진 SE(Spectroscopy Ellipsometer), C-V 측정 결과와 비교하여 가장 좋은 두께 계측 방법을 찾고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.107-107
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• 2000

최근 반도체 소자의 고집적화 및 대용량화의 경향에 다라 MOSFET 소자 제작에 이동되는 게이트 산화막의 두께가 수 nm 정도까지 점점 얇아지는 추세이고 Giga-DRAM급 차세대 UNSI소자를 제작하기 위해 5nm이하의 게이트 절연막이 요구된다. 이런 절연막의 두께감소는 게이트 정전용량을 증가시켜 트랜지스터의 속도를 빠르게 하며, 동시에 저전압동작을 가능하게 하기 때문에 게이트 산화막의 두께는 MOS공정세대가 진행되어감에 따라 계속 감소할 것이다. 따라서 절연막 두께는 소자의 동작 특성을 결정하는 중요한 요소이므로 이에 대한 정확한 평가 방법의 확보는 공정 control 측면에서 필수적이다. 그러나, 절연막의 두께가 작아지면서 게이트 산화막과 crystalline siliconrksm이 계면효과가 박막의 두께에 심각한 영향을 주기 때문에 정확한 두께 계측이 어렵고 계측방법에 따라서 두께 계측의 차이가 난다. 따라서 차세대 반도체 소자의 개발 및 양산 체계를 확립하기 위해서는 산화막의 두께가 10nm보다 작은 1nm-5nm 수준의 박막 시료에 대한 두께 계측 방법이 확립이 되어야 한다. 따라서, 본 연구에서는 습식 산화 공정으로 제작된 3nm-7nm 의 게이트 절연막을 현재까지 알려진 다양한 두께 평가방법을 비교 연구하였다. 절연막을 MEIS (Medim Energy Ion Scattering), 0.015nm의 고감도를 가지는 SE (Spectroscopic Ellipsometry), XPS, 고분해능 전자현미경 (TEM)을 이용하여 측정 비교하였다. 또한 polysilicon gate를 가지는 MOS capacitor를 제작하여 소자의 Capacitance-Voltage 및 Current-Voltage를 측정하여 절연막 두께를 계산하여 가장 좋은 두께 계측 방법을 찾고자 한다.다. 마이크로스트립 링 공진기는 링의 원주길이가 전자기파 파장길이의 정수배가 되면 공진이 일어나는 구조이다. Fused quartz를 기판으로 하여 증착압력을 변수로 하여 TiO2 박막을 증착하였다. 그리고 그 위에 은 (silver)을 사용하여 링 패턴을 형성하였다. 이와 같이 공진기를 제작하여 network analyzer (HP 8510C)로 마이크로파 대역에서의 공진특서을 측정하였다. 공진특성으로부터 전체 품질계수와 유효유전율, 그리고 TiO2 박막의 품질계수를 얻어내었다. 측정결과 rutile에서 anatase로 박막의 상이 변할수록 유전율은 감소하고 유전손실은 증가하는 결과를 나타내었다.의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다

• 한국항공운항학회:학술대회논문집
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• 2016.05a
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• pp.19-22
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• 2016

본 연구는 박각시 나방 유연날개의 준정상 공력 모델링을 위한 공력측정실험을 진행하였다. 두 개의 서보모터로 이루어진 동역학적 로봇 모델은 3톤 수조 내부에서 날갯짓 운동을 구현하였고, 6축 센서가 날개 모델의 뿌리에 장착되어 공력 측정을 시행하였다. 날개 모델은 다른 두께의 폴리카보네이트 평판으로 제작되었고, 3mm 두께의 강체날개와 0.8mm 두께의 유연날개로 구성되었다. 공력측정은 각 날개 모델별 받음각을 -5도에서 95도까지 5도씩 변경하여 진행하였고, 이를 바탕으로 준정상 공력 모델링을 시도하였다. 날개 두께별 준정상 공력 모델링을 통해 특정 두께를 가진 유연날개는 강체날개보다 높은 공력효율을 가짐을 알 수 있었고, 날개 유연도 역시 준정상 가정을 기반으로 모델링 할 수 있을 것으로 기대된다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.12 no.6
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• pp.431-436
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• 2001

The effect of decorrelation on the coincidence is investigated with correlated photons produced by parametric down-conversion process. The degree of correlation between photon pairs is adjusted by changing the polarization dependent transmissivities of thin glass plate\ulcorner in front of two detectors. It was found that the single counts of each detectors are proportional to the transmissivity and the coincidence is proportional to the product of transmissivities of the glasses in front of two detectors.

• Journal of KIISE:Software and Applications
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• v.31 no.12
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• pp.1660-1671
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• 2004

This paper proposes a method for measuring document similarity between two documents. One of the most significant ideas of the method is to estimate the degree of similarity between two documents based on the frequencies of terms and term-pair, existing in both the two documents. In contrast to conventional methods which takes only one feature into account, the proposed method considers several features at the same time and meatures the similarity using a neural network. To prove the superiority of our method, two experiments have been conducted. One is to verify whether the two input documents are from the same document or not. The other is a problem of information retrieval with a document as the query against a large number of documents. In both the two experiments, the proposed method shows higher accuracy than two conventional methods, Cosine similarity measurement and a term-pair method.

• Journal of Yeungnam Medical Science
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• v.6 no.2
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• pp.113-119
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• 1989

In recent years there has been a growing interest in total body, hemibody, total lymphoid irradiation. For refractory leukemia or lymphoma patients, various techniques and dose regimens were introduced, including high dose total body irradiation for destruction of leukemic or bone marrow cells and immunosuppression prior to bone marrow transplantation, and low dose total body irradiation for treatment of lymphocytic leukemia or lymphomas. Accurate provision for specified dose and the desired homogeneity are essential before clinical total body irradiation. Purposes of this paper are to discuss calibrating Cobalt Unit in 3m distance using Rando Phantom, to compare calculated dose, calibrated dose, and compensating filters for homogeneous dose distribution in the head and neck, the lung, and the pelvis. Results were following. 1. Measured dose on the lung was 6% higher than on the abdomen. Measured dose on the head (10%) and neck (18%) were higher than the abdomen because of thinness. Pelvic dose was measured 12% less than the abdomen. Those data suggest that compensating filter was essential. 2. Measured dose according to distance was 3% less than calculated dose which suggest that all doses in clinical use should be compared with calculated dose for minimizing error.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.128-128
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• 2000

박막의 탄성 특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 이러한 방법들은 필름의 두께가 일정 두께 이상이 되어야 정확한 측정이 가능한 방법으로 매우 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang, bridge 방법이 제시되었으며, 이 방법은 간단한 식각 공정을 통해 매우 얇은 박막에도 적용시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 아주 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang 방법을 이용하여 순수한 Diamond-like carbon (DLC) 필름과 Sidl 첨가된 DLC 필름의 탄성 특성을 평가하고자 한다. 실험에서 사용한 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400 Vb로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응 가스는 벤젠(C6H6), 그리고 벤젠과 희석된 실렌(SiH4 : H2 = 10 : 90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 일정량의 Si을 함유시켰다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 변화시켰으며, KOH(5.6mol) 용액을 이용하여 습식 식각을 함으로써 freehang을 제작하였다. 이때 식각액에 의한 DLC 필름의 손상은 관찰되지 않았다. 필름의 잔류 응력을 측정하기 위해 200$\pm$10 혹은 100$\pm$5$\mu\textrm{m}$ 두께의 얇은 (100) Si wafer를 5$\times$50 mm2의 strip 형태로 절단하여 사용하였다. 필름의 압축 잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률은 laser 반사법과 $\alpha$-step profiler를 이용하여 측정하였으며, 이 결과를 Brenner 등에 유도된 식을 이용하여 잔류 응력을 계산하였다. 또한 제작된 frddhang은 광학 현미경과 전자주사현미경에 의해 관찰되었다. 이렇게 제작된 freehang을 이용하여 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류 응력을 박막의 응력-변형률 관계식에 적용하여 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. 측정 결과 필름의 잔류 응력과 biaxial elastic modulus는 필름의 두께가 감소함에 따라 감소하는 경향을 나타냈으며, 같은 두께의 필름인 경우, 식각 깊이에 따른 biaxial elastic modulus 의 변화를 통해 최적의 식각 깊이를 알 수 있었다.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.9 no.2
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• pp.141-145
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• 2000

In order to measure the thickness of the slag layer on the molten metal in the melting vessels for steel making foundaries, we manufactured the slag-thickness measuring system consisting of the probe and its driving system, which is based on the principle of detecting the change in the electrical resistivity. Experimental results show that there is a very wide difference of the electrical resistivity by the order of about $10^3$ between the molten metal and the hot slag and, hence, the air/slag and slag/molten metal interface can be exactly detected with the use of the probe which can be moved toward the melt. Therefore, it can be concluded that the proposed scheme of the slag measurement system in this study is Proven to be excellent in its efficiency and accuracy.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.19 no.1
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• pp.211-218
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• 2019

All display devices require more wider, higher resolution and precision owing to advanced display technology. As the display pannels become wider, BLU also become wider and brighter. The upper glass of the BLU must achieve the constant of its shape and thickness and have uniform brightness. These deformity cause the display quality to make less. Thus high performance of the BLU shape's height and thickness measurement is inevitable. The high speed and precision measurement system will be proposed. To minimize the measurement error we can achieve the desirous results by 2 dividing intervals with different moving velocity on measuring.