• 제목/요약/키워드: 동작가스

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전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 $CF_4+H_2$가스 방전시 Appearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구 (Behaviors of Atomic Fluorine and Fluorocarbon Radicals in $CF_4+H_2$Electron Cyclotron Resonance Plasma Employing Actinometry and Appearance Mass Spectrometry)

  • 도현호;김정훈;이석현;황기웅
    • 한국진공학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.417-424
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    • 1995
  • 전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서 CF4를 방전시켰을 때 각종 플루오로카본 래디칼의 절대적, 상대적 밀도 변화를 수소 철가율, 동작 압력 그리고 축방향에 따라 appearace mass spectrometry(AMS)를 통해 조사하였으며, 플루오린 원자의 상대적 밀도 변화가 actinometry법에 의해 조사되었다. 수소첨가에 따른 CF2 래디칼의 거동을 actinometry와 AMS로 살펴보았을 때 서로 일치하는 경향을 얻었으며 마이크로웨이브전력 500W, 압력 7.5mTorr에서 CF3와 CF2 래디칼의 밀도가 CF에 비해 높았으며 각각 2X1013/㎤, 1X1013/㎤의 값을 가졌다. 수소를 첨가함에 따라 플루오린 원자와 CF3의 밀도는 감소하는 반면 CF2와 CF의 밀도는 현저히 증가하여 수소가 40% 첨가된 경우 CF2의 밀도가 CF3보다 커짐을 확인하였다. 또한, CF2가 증가하면서 C2F4의 존재가 확인되었으며, 수소가 30% 첨가된 경우 축방향을 따라 C2F4래디캄만이 증가하였고 플루오린 원자는 감소하는 반면 다른 CFx(x=1~3)래디칼은 거의 변화가 없었다. 이러한 실험 결과를 토대로 CF4+H2 플라즈마를 이용한 산화막 식각 특성이 설명되었다.

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선박 에너지 효율 모니터링 시스템 설계 및 구현 (Design and Implementation of Ship Energy Efficiency Monitoring System)

  • 김용대;윤현규;강남선
    • 한국항행학회논문지
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    • 제20권5호
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    • pp.408-416
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    • 2016
  • 본 연구에서는 선내 수집데이터를 활용하는 선박 및 육상 서비스를 위한 선박용 어플리케이션 시스템과 해상 데이터 통합관리 및 상호교환을 위한 선육 간 통합 시스템을 활용한 선박 에너지효율 모니터링 시스템을 설계하였다. 선박 에너지효율 모니터링 시스템은 윈도우 기반의 응용프로그램으로 file base EDI 통신을 이용하도록 구성하였다. 주요기능으로 연료소모량 최소화를 위한 항로 계획, 에너지 소모 및 배출가스 배출 모니터링, 선박 에너지 효율 분석 및 분석데이터 분석을 구현하고 실 운항선박에 적용하여 시스템의 정상 동작을 확인하였다.

전력용 콘덴서의 화재메커니즘과 실제 화재상관관계 연구 (The Study Fire Mechanism and Real Fire Correlation of Power Condenser)

  • 백동현
    • 한국화재소방학회논문지
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    • 제31권6호
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    • pp.112-117
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    • 2017
  • 본 논문은 전력용 콘덴서의 화재메커니즘에 대하여 실제 화재사례를 근거로 상관관계를 논한 것이다. 전력용 콘덴서의 고장 메커니즘에서는 7단계, 화재 발생메커니즘은 12단계로 분류되었다. 이 중 5단계인 보호회로의 보호계전기가 동작하는 과정은 고장시와 화재발생시의 메커니즘과 동일하였다. 6단계에서부터 화재 발생메커니즘이 적용되어 전력용 콘덴서 내부의 연소현상 및 아크로 인한 가스발생으로 내부압력이 증가되어 화재 발생메커니즘 10단계에서 폭발하였음을 확인하였다. 11단계인 아크 등의 불꽃이 절연유와 함께 외부로 분출되고 2차 사고인 화재 발생으로 확대되었음을 확인하였으며 이와 같은 단계별 상관관계는 화재조사에 많은 기여를 할 수 있다.

플라즈마 보조 전자빔 정련을 이용한 Si내의 불순물 제거

  • 김태학;최지성;주정훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.286-286
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    • 2011
  • 현재의 NEDO (New Energy and industrial technology Development Organization) style Si 정련은 두 단계로 구분되어 있다. 고출력 집속 전자빔을 이용한 금속 실리콘의 1차 용융과 대기압 근처의 플라즈마 아크 용해를 이용해서 B, P를 약간의 반응성 가스를 첨가 하여 제거하는 방법이다. 그러나 저가형 실리콘을 생산하려는 취지와 달리 두 가지의 고가 장비가 필요하다. E-beam melting 장치에서도 반응성이 높은 라디칼을 생성할 수 있다면 하나의 장비에서 두 가지의 정련 작업을 진행시킬 수 있다. 본 연구에서는 고진공에서(< 10-4 Torr) 동작하는 E-beam의 성능에 전혀 영향을 주지 않으면서 플라즈마를 용이하게 생성 시킬 수 있는 방법을 개발하고 이를 적용하여 실제 금속 순도 실리콘 내에 존재하는 B, P가 제거되는지 확인하는 것을 연구 내용으로 한다. 본 연구는 MG (Metal Grade) - Si 을 플라즈마 보조 전자빔 정련을 이용하여 정련한 Si 의 불순물 함량의 개선 효과를 조사하는 것이다. MG-Si 의 정련 방법 중에서 고출력 집속 전자빔을 이용하여 휘발성 오염물질을 제거 후, 플라즈마 아크 용해를 이용해서 B 를 제거하는 방법을 접목시켰다. MG-Si 에 DC power 와 전자빔을 집속시켜서 정련을 하면 챔버 내의 잔류 수증기가 플라즈마에 의해 분해되어 O를 생성하고, B와 반응을 하여 BO 형태로 제거가 된다. 방전 전압 700 V 와 전자빔 가속 전압이 4.5 kV, 방출 전류는 11 A, 진공 챔버 내의 압력은 $7.2{\times}10^{-4}$ Torr에서 정련을 진행하여 B를 제거했다.

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다중회귀분석을 이용한 3축 가속도 센서기반 활동량 추정 방법 (Calorie Burn Estimation Algorithm from a Accelerometer using Multiple Regression Analysis)

  • 최선탁;이규필;김준호;조위덕
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2016년도 춘계학술발표대회
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    • pp.953-955
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    • 2016
  • 본 논문은 다중 회귀 분석을 이용하여 3축 가속도센서기반의 활동량을 추정하는 방법을 제안한다. 본 연구를 위해 총 59명의 피 실험자가 자체 제작한 활동량계를 착용한 뒤 트레드밀에서 일정한 속도로 걷는/뛰는 동작을 수행한 신호를 수집하였다. 수집한 3축 가속도 신호의 에너지 값에서 사전에 정의한 특징들을 산출한다. 그 다음 각 특징별로 선형, 지수, 로지스틱 회귀 분석을 적용하여 적합도가 높은 특징을 선정한다. 마지막으로 산출된 회귀식들을 사용하여 다중 회귀 분석 방법으로 활동량을 추정한다. 호흡가스 대사 분석기(K4B2)를 착용한 뒤 동일한 방법으로 실험을 수행 하고 제안한 방법과 정확도를 비교한 결과 제안한 방법의 정확도는 86.38 %로 산출되었다. 이는 기존의 Kim 외 3인의 연구결과[1]보다 2.70 %, Actical의 정확도보다 4.31 % 높은 수치이다.

LED 평판조명의 저온환경에서의 전기광학특성 (Electro-optical Characteristics of LED Flat Light Source in Low Temperature Condition)

  • 한정민;서대식
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제11권1호
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    • pp.61-65
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    • 2011
  • 최근 액정디스플레이는 TV, Monitor, Note PC를 비롯한 모든 디스플레이영역에서 활발하게 사용되고 있다. 그러나, 액정디스플레이의 배경광원으로 사용하는 평판조명장치(백라이트)에서 주로 사용하는 광원인 CCFL(냉음극방전관)의 경우 수은 가스를 사용하기 때문에 저온 환경에서의 구동특성에 한계를 갖고 있다. 본 연구에서는 이러한 CCFL 광원이 갖고 있는 문제점을 해결하기 위해서, LED 광원을 사용한 백라이트 조명장치를 고안하고, -40도의 극저온환경에서의 동작특성을 CCFL 광원을 사용한 백라이트 조명장치와 비교분석하여, 저온환경에서의 LED 백라이트의 효용성에 대해서 연구하였다.

한림가스터빈 발전기/제어계의 모델링 및 PSS 동작의 정성적 분석 (Modeling of Hanlim's gas turbine generator & qualitative analysis of PSS operation)

  • 최경선;문영환;김동준;류승헌;추진부
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1996년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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    • pp.95-98
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    • 1996
  • Response speed of generator/control system kas increased with the aid of the development of power electronics. Even though it is desirable to enhance response speed for the control system(AVR/Gov) of generator itself, in case a certain generator/control system with high response excitation system is connected with bulk power system, terminal voltage and active power of some generators can oscillate with adjoining generators or near area when even a little of disturbance take place. PSS(Power System Stabilizer) is used to damp rotor swing by adding the supplementary signal in phase with speed. As the stable AVR response is very important before PSS is installed, modeling and analysis of generator/control system was performed. Next we have analysed PSS response of Hanlim's gas turbine by transmission line open/close test.

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Web browser를 이용한 가정용 가스보일러 제어기술 개발 (Development of the Small Gas Boiler Controller Using Web Browser)

  • 손수국
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제18권6호
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    • pp.213-219
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    • 2004
  • 본 논문에서는 기존 보일러 제어기와 병행하여 사용될 수 있는 인터넷 웹 보일러제어 기술의 개발에 논한다. 웹보일러제어기는 중요 요소로 RTL8019 네트워크제어기와 TS80C32 마이크로콘트롤러로 구성된다. 인터넷을 통한 통신을 위하여 IP, TCP, UDP, ICMP, 및 HTTP의 프로토콜과 이더넷 네트워크드라이버를 개발할 필요가 있다. 웹 보일러제어기 경우, RAM사용량을 최소화하기 위한 공통전역버퍼 알고리즘을 제안한다. 끝으로 개발된 프로토콜들의 올바름과 성능을 측정하기 위하여 CommView와 Dummynet이 사용된다. 개발결과 수백 바이트 RAM에서도 호스트 간에 상호 호환성을 잃지 않고 임베디드 웹 제어기가 동작된다.

ATmega128을 사용한 무선 데이터 로거 시스템 개발에 관한 연구 (A Study on the Development of Wireless Data Logger System using ATmega128)

  • 최관순;양원석;임종식;안달
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제7권6호
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    • pp.1122-1128
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    • 2006
  • 본 연구에서는 가스 체적 데이터를 체크하기 위하여 마이크로콘트롤러 ATmega128를 사용한 무선 데이터로거 시스템을 제작하였다. 본 시스템에서 마스터와 슬레이브 사이에 RF 무선통신을 사용하였고, 서버와 클라이언트간의 통신은 TCP/IP 프로토콜의 네트워크 환경에서 소켓통신으로 동작하도록 하였으며, 모니터링 프로그램은 Visual C++으로 GUI 환경에 적합한 소프트웨어로 제작하였다. 이 시스템은 소형, 저가격으로 쉽게 구현할 수 있으며, 마이크로콘트롤러 실험의 프로젝트 과제로 유용하게 사용될 수 있을 것이다.

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PDP 방전 셀에서 빛이 방출되는 물리적 메커니즘 (Physical Mechanism of Light emission from Discharge Cells in the Plasma Display Panel)

  • 엄환섭;최은하
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.556-562
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    • 2006
  • 플라즈마 디스플레이 패널은 양극과 음극사이의 방전공간을 가진 많은 방전 셀로 구성되어 있다. 네온과 제논가스로 채워진 이 방전공간에서 전기방전이 일어난다. 전자온도가 방전조건에 의하여 정해지며 이온도를 통하여 제논의 함량에 따른 방전전압을 이론적으로 계산할 수 있다. 방전 셀 내의 플라즈마가 147 nm와 173 nm의 극자외선을 방출하고 이 자외선들은 형광물질을 여기하여 가시광선을 방출한다. 이러한 모든 과정에 대한 물리적인 메커니즘의 모델을 만들고 실험에서 측정된 데이터와 모델이 예시하는 결과를 비교한다. 실험 데이터는 이론 결과와 비교적 잘 일치하는 것을 관찰할 수 있다. PDP의 방전과 동작을 더욱 개선하기 위하여 새로운 물질이 필요하고 더 좋은 셀 구조가 요구된다.