The formation of equivalent stiffness models concerning nano-imprinting stages using laser-vibrometers and multibody dynamics programs (레이져 바이브로 미터와 다물체 동역학 프로그램을 이용한 등가 강성 스테이지 모델 구성)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2010.05a
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- pp.624-625
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- 2010