Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)
- 2010.05a
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- Pages.624-625
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- 2010
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- 1598-2548(pISSN)
The formation of equivalent stiffness models concerning nano-imprinting stages using laser-vibrometers and multibody dynamics programs
레이져 바이브로 미터와 다물체 동역학 프로그램을 이용한 등가 강성 스테이지 모델 구성
- Published : 2010.05.11
Abstract
Keywords