• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2012.05b
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• pp.762-764
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• 2012

본 연구에서는 잉곳을 절삭하여 웨이퍼를 만들 때 발생하는 슬러리로부터 SiC를 분리하고, 이를 재생시켜 다공성 SiC 세라믹 히트싱크를 제작하였다. 또한 제작 된 다공성 SiC 세라믹 히트싱크의 열적물성치를 레이저 플래쉬 방법으로 측정하였고 알루미늄 히트싱크와의 비교실험을 통해 다공성 SiC 세라믹 히트싱크의 방열성능을 검증하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.111-111
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• 2010

최근 전자 소자의 집적기술은 기존의 2차원에서 System on package (SOP) 개념에 기반을 둔 3차원 집적 기술로 발전 되어가고 있다. 소자의 3차원 실장을 실현시키는 과정에서 세라믹의 여러 유용성이 언급되어져 왔지만, 취성이 매우 크다는 등의 단점이 있었다. 이러한 이유로 연성을 가지는 폴리머와 세라믹을 합성한 복합체 기판에 대하여 많은 연구가 되고 있다. 그러나 세라믹 제작을 위해서는 높은 공정온도가 요구되고 있고 이러한 높은 공정상에서의 온도는 3차원 실장에 있어서 문제점이 되고 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 상온에서 치밀한 세라믹 후막을 제작할 수 있는 공정인 Aerosol Deposition Method (ADM)방법으로 세라믹-폴리머 후막의 제조를 시도하였다. 일반적으로 ADM은 수백 나노의 출발 파우더를 사용하여 치밀한 세라믹 막을 형성하는데 사용된다. 본 연구에서는 ADM으로 100 nm미만의 나노 세라믹 파우더를 사용하여 다공성의 세라믹 후막을 제조한 후 resin을 함침시키는 방법으로 세라믹-폴리머 후막의 제조를 시도하였다. 그 결과 운송가스, aerosol 농도 등의 공정조건을 변화시켜 다공성의 $Al_2O_3$ 후막을 제조하였고, 이 다공성 후막은 반투명의 특성을 보이며 고충전율로 형성되었다. 이렇게 제조된 나노 다공성 $Al_2O_3$ 후막에 cyanate ester resin을 함침시키는 방법을 사용하여 $Al_2O_3$-cyanate ester 복합체 후막을 제조하였으며, 이의 비유전율 및 품질계수는 각각 1 MHz에서 6.7, 1000으로 우수한 유전특성을 보임이 확인되었다.

• 기계와재료
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• v.22 no.4
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• pp.22-35
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• 2010

저에너지 소모를 위한 대책으로 장치설비의 고효율화를 이루어 나가고 있으나, 고온 고압 등의 극한환경 하의 공정이 증가하면서 상기의 조건 하에서도 안정적으로 작동 가능한 다공질 세라믹스를 이용한 촉매기술 또는 포집 분리기술에 대한 필요성이 부각되고 있다. 본 고에서는 다공성 세라믹 소재가 특별히 유효하게 대응 가능한 대기오염과 관련하여 오염원 물질 및 오염의 실태를 살펴보고, 각종 다공성 세라믹스의 제조방법과 이에 따른 소재특성을 소개하고 시장의 현황과 전망을 정리하였다. 또한 다공성 세라믹 소재의 가장 대표적인 활용 형태인 하니컴 구조체의 제조방법 및 특성에 대하여 기술하고, 다공성 세라믹 소재의 실제 활용과 관련해서는 오염물질을 입자상물질과 가스상물질로 대별하여 대표적인 사용처와 소재를 수록하였으며, 차세대 신개념 필터로 연구 중인 반응소결 질화규소에 대해 언급하였다.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.31 no.4
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• pp.182-189
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• 2021

Porous ceramics were manufactured using the foaming method for the development of inorganic insulating materials. Silica fume and SiO₂ were used as main raw materials, and bentonite was used as a rapid setting agent for uniform structure formation of porous ceramics. The porous ceramics were sintered at 1200℃, and porosity, density, compressive strength, microstructure and thermal conductivity were analyzed. As the content of silica fume to SiO₂ of the porous ceramics increased 70 to 90 %, the specific gravity increased from 0.63 to 0.69, and the compressive strength increased from 9.41 Mpa to 12.86 Mpa. But, the porosity showed a tendency to decrease from 72.07 % to 70.82 %, contrary to the specific gravity. As a result of measuring the thermal conductivity, the porous ceramic with a silica fume content of 70 % showed a thermal conductivity of 0.75 to 0.72 W/m·K at 25 to 800℃, respectively, and, another that a silica fume content of 90 % showed a 0.66~0.86 W/m·K. So the lower the silica f ume content, the lower the thermal conductivity, which was conf irmed to be consistent with porosity result. As a result of microstructure analysis using SEM (Scanning Electron Microscope), pores in the range of tens to hundreds ㎛ were observed inside and outside the porous ceramic, and it was confirmed that the pore distribution was relatively uniform.

• Ceramist
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• v.4 no.6
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• pp.40-46
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• 2001

• Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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• 2004.04b
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• pp.43.2-43.2
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• 2004

• Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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• 2004.04b
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• pp.43.1-43.1
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• 2004

• Proceedings of the KSEEG Conference
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• 2002.04a
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• pp.224-226
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• 2002

• Proceedings of the KSEEG Conference
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• 2002.04a
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• pp.227-229
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• 2002

• Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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• 2002.10a
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• pp.204.1-204
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• 2002