Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

A Study on Thermal Performance of Porous SiC Ceramic Heat Sink

다공성 SiC 세라믹 히트싱크 방열성능에 관한 연구

  • An, Il-Yong (Dept. of Mechanical Engineering, Graduate School of Kongju National University) ;
  • Lee, Young-Lim (Dept. of Mechanical and Automotive Engineering, Kongju National University)
  • 안일용 (공주대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 이영림 (공주대학교 기계자동차공학부)
  • Published : 2012.05.25
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

본 연구에서는 잉곳을 절삭하여 웨이퍼를 만들 때 발생하는 슬러리로부터 SiC를 분리하고, 이를 재생시켜 다공성 SiC 세라믹 히트싱크를 제작하였다. 또한 제작 된 다공성 SiC 세라믹 히트싱크의 열적물성치를 레이저 플래쉬 방법으로 측정하였고 알루미늄 히트싱크와의 비교실험을 통해 다공성 SiC 세라믹 히트싱크의 방열성능을 검증하였다.

Keywords