• Title/Summary/Keyword: 뇌활

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A Study on Batch-Type Remote Plasma Dry Cleaning Process for Native Oxide Removal (배치식 플라즈마 세정 설비를 이용한 자연산화막 제거 공정)

  • Park, Jae-Young;Yi, Wook-Yeol;Hyung, Yong-Woo;Nam, Seok-Woo;Lee, Hyeon-Deok;Song, Chang-Lyong;Kang, Ho-Kyu;Roh, Yong-Han
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.247-251
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    • 2004
  • 반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

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Functional MRI Study of Changes in Brain Activity by Manual Acupuncture at LI11 or ST36 (곡지, 족삼리 침자극이 뇌활성화에 미치는 영향에 대한 뇌기능적 자기공명영상을 이용한 연구)

  • Cho, Seung-Yeon;Jahng, Geon-Ho;Park, Seong-Uk;Jung, Woo-Sang;Moon, Sang-Kwan;Gho, Chang-Nam;Cho, Ki-Ho;Kim, Young-Suk;Bae, Hyung-Sup;Park, Jung-Mi
    • The Journal of Korean Medicine
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    • v.31 no.1
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    • pp.81-92
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    • 2010
  • Objectives: The objective of this study was to assess bra in activation and difference by LI11 or ST36 acupuncture stimulation using functional MRI (fMRI). Methods: A total of 10 healthy right-handed volunteers were studied. LI11 acupuncture and ST36 acupuncture stimulations were applied in order on the left. The block design paradigm of RARARA was used for the task, with R representing rest and A representing stimulation, and each period lasted 30 seconds. fMRI data were analyzed using SPM2. Results: The left LI11 acupuncture stimulation activated both sides of the inferior parietal lobule, the left side of the extra-nuclear, culmen and inferior semi-lunar lobules. On the right side, the nodule and midbrain regions were activated by the left LI11 acupuncture stimulation. The left ST36 acupuncture stimulation activated the right side of the superior frontal gyrus, middle frontal gyrus, superior parietal lobule, inferior semi-lunar lobule and pyramis. On the left side, the sub-gyral, middle temporal gyrus, fusiform gyrus, supramarginal gyrus, extra-nuclear, cingulate gyrus and fastigium regions were activated by the left ST36 acupuncture stimulation. Besides, both sides of the paracentral lobule, inferior parietal lobule, culmen, cerebellar tonsil and midbrain regions were activated. Conclusions: In conclusion, brain signal activation patterns according to acupoints were observed to differ, and ST36 acupuncture stimulation activated more regions than LI11. It is supposed that LI11 and ST36 acupuncture stimulations have an influence on motor function and sensory aphasia, and these stimulations thus represent potential for ocular motor dysfunction, discriminative touch or position sense disorder. Moreover, ST36 acupuncture stimulation activated the cingulate gyrus of the limbic system, so it seems to have an influence over autonomic functions.

Electro chemical characteristics of $(MnX)O_2$ electrode prepared by thermal decomposition method (열분해법으로 제조된 $(MnX)O_2$ 전극의 전기화학적 특성)

  • Kim, Hyun-Sik;Lee, Hae-Yon;Huh, Jeoung-Sub;Kim, Jong-Ryung;Lee, Dong-Yoon
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.348-351
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    • 2003
  • 산소 과전압이 낮은 $MnO_2$를 촉매로 사용하여 반도체 산화물계의 산소선택성 전극을 제조하고 산화물 coating층의 미세구조와 전기화학적 특성을 분석하였다. Ti 기판에 열분해 법을 이용하여 $MnO_2$ 피막을 형성하였고, 또한 PVDF : $MnO_2$의 함량비를 1 : 1에서 1 : 40까지 정량적으로 변화시키고 DMF의 함량을 각각의 고정된 PVDF : $MnO_2$의 함량비에서 변화시켜 Pb전극에 1.5 mm/sec의 속도로 5회 dipping하여 $MnO_2$ 피막층을 형성 하였다. $450^{\circ}C$에서 1시간 열분해하여 약 $1\;{\mu}m$$MnO_2$ 피막층이 형성되었으나 Ti 기판과의 접착력이 약하여 피막자체에 대한 전기화학적 특성을 관찰할 수 없었다. PVDF : DMF = 4 : 96인 경우 pb 전극의 피막층이 얇기 때문에 박리현상이 일어났으며 이는 산화물 용제의 낮은 점도 때문인 것으로 판단된다. 또한 PVDF : DMF = 10 : 90의 경우는 5회 dipping 하여 약 $150\;{\mu}m$의 피막층을 형성하였다. PVDF : $MnO_2$의 함량비가 1:1에서 1:6 까지는 DMF의 함량에 무관하게 전극 특성이 나타나지 않았지만 $MnO_2$의 양이 상대적으로 증가하면 cycle이 증가하더라도 거의 일정한 전류 값을 갖고 $MnO_2$와 PVDF의 비가 20:1 이상의 조성에서는 균일한 CV 특성을 나타냈다. 이는 $MnO_2$가 효과적으로 촉매 작용을 한 것으로 판단되며 anodic polarization에 의한 산소 발생 과전압도 약 1.4V 정도로 감소되었다.동등한 MSIL 코드를 생성하도록 시스템을 컴파일러 기법을 이용하여 모듈별로 구성하였다.적용하였다.n rate compared with conventional face recognition algorithms. 아니라 실내에서도 발생하고 있었다. 정량한 8개 화합물 각각과 총 휘발성 유기화합물의 스피어만 상관계수는 벤젠을 제외하고는 모두 유의하였다. 이중 톨루엔과 크실렌은 총 휘발성 유기화합물과 좋은 상관성 (톨루엔 0.76, 크실렌, 0.87)을 나타내었다. 이 연구는 톨루엔과 크실렌이 총 휘발성 유기화합물의 좋은 지표를 사용될 있고, 톨루엔, 에틸벤젠, 크실렌 등 많은 휘발성 유기화합물의 발생원은 실외뿐 아니라 실내에도 있음을 나타내고 있다.>10)의 $[^{18}F]F_2$를 얻었다. 결론: $^{18}O(p,n)^{18}F$ 핵반응을 이용하여 친전자성 방사성동위원소 $[^{18}F]F_2$를 생산하였다. 표적 챔버는 알루미늄으로 제작하였으며 본 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확산적 사고의 요소인 유창성, 독창성, 유연성 등에 각각 어떤 영향을 미치는지 20주의 프로그램을 개발, 진행하여 그 효과를 검증하고자

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Comparison of the Mid-term Changes at the Remnant Distal Aorta after Aortic Arch Replacement or Ascending Aortic Replacement for Treating Type A Aortic Dissection (A형 급성대동맥박리증에서 대동맥궁치환술과 상행대동맥치환술 후 잔존 원위부 대동맥의 변화에 대한 중기 관찰 비교)

  • Cho, Kwang-Jo;Woo, Jong-Su;Bang, Jung-Hee;Choi, Pill-Jo
    • Journal of Chest Surgery
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    • v.40 no.6 s.275
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    • pp.414-419
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    • 2007
  • Background: Replacing the ascending aorta is a standard surgical option for treating acute type A aortic dissection. But replacing the aortic arch has recently been reported as an acceptable procedure for this disease. We compared the effects of aortic arch replacement for treating acute type A aortic dissection with the effects of ascending aortic replacement. Material and Method: From 2002 to 2006, 25 patients undewent surgical treatment for acute type A aortic dissection, 12 patients undewent ascending aortic replacement and 13 patients underwent aortic arch replacement. Among the aortic arch group, an additional distal stent-graft was inserted during the operation in 5 patients. 19 patients (11 arch replaced patients and 8 ascending aortic replaced patients) were followed up at the out patient clinic for an average of $756{\pm}373$ days. All the patients undewent CT scanning and we analyzed their distal aortic segments. Result: 4 patients who underwent ascending aortic replacement died, so the overall mortality rate was 16%. Among the 11 long term followed-up arch replacement patients, 2 patients (18.1 %) developed distal aortic dilatation and one of them underwent thoracoabdominal aortic replacement later on. However, among the 8 the ascending aortic replaced patients, 5 patients (62.5%) developed distal aortic dilatation. Conclusion: Aortic arch replacement is one of the safe options for treating acute type A aortic dissection. Aortic arch replacement for treating acute type A aortic dissection could contribute to a reduced distal aortic dilatation rate and fewer secondary aortic procedures.

Surgical Results for Treating Postpneumonectomy Empyema with BPF by Using an Omental Pedicled Flap and Thoracoplasty (전폐절제술 후 기관지 흉막루를 동반한 농흉에서 유경성 대망 이식편과 흉곽성형술을 이용한 수술적 치료에 대한 임상 고찰)

  • Jeong, Seong-Cheol;Kim, Mi-Jung;Song, Chang-Min;Kim, Woo-Shik;Shin, Yong-Chul;Kim, Byung-Yul
    • Journal of Chest Surgery
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    • v.40 no.6 s.275
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    • pp.420-427
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    • 2007
  • Background: Postpneumonectomy empyema (PPE) due to bronchopleural fistula (BPF) can be a surgical challenge for surgeons. We analyzed the follow-up outcomes after performing omentopexy and thoracoplasty for the treatment of PPE with BPF after pneumonectomy. Material and Mehod: Between December 1991 and January 2006, 9 patients underwent BPF closure using an omental pedicled flap for the treatment of PPE with BPF after pneumonectomy. There were 7 males and 2 females (mean age: $45.9{\pm}9$ years). The patients were followed up for a mean of 58 months (median: 28 months, range: $6{\sim}169$). When we performed omentopexy, the surgical procedures for empyema were thoracoplasy for 8 patients and the Clagett procedure for 1 patient. Thoracoplasty was performed for the latter patient due to recurrence of empyema, Result: For the 8 patients who were treated by omentopexy and thoracoplasty, there was 1 operation-related death due to sepsis. During follow up, 1 patient, who was treated by omentopexy and a Clagett procedure, died of acute hepatitis 40 months postoperatively. The early mortality was 11.1% (8/9). Of the 8 patients, including the 1 late death patient, successful closure of the BPF were achieved in all patients (8/9) and the empyema was cured in 7 patients (7/8). Conclusion: The BPF closure using an omental pedicled flap was an effective method for treating PPE with BPF due to 75-destroyed lung, and thoracoplasty with simultaneous omentopexy was effective and safe for removing dead space if the patient was young and in a good general condition.