Plasma를 이용한 기판전처리에 따른 $TiO_2$ thin film의 orientation 특성연구
(The orientation characteristics of the $TiO_2$ thin film pretreated with plasma)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.93-93
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- 2002