• Title/Summary/Keyword: 넓은 속도 범위

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다중 Mult-hole 전극을 이용한 RF Capcitively Coupled Plasma에서의 위치 별 밀도 제어에 관한 연구

  • Lee, Heon-Su;Lee, Yun-Seong;Jang, Hong-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.176-176
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    • 2012
  • 다수 홀 전극을 이용한 RF Capcitively Coupled Plasma는, 평판 전극을 이용할 때에 비해, 전자 밀도를 향상시키는 것으로 알려져 있다. 이와 같은 전자 밀도의 증가는 일반적으로 공정의 속도를 증가시키며, 박막 태양전지의 Microcrystalline Silicon 증착 공정등 공정의 속도가 중요시되는 공정에서는 공정속도를 향상 시키는 것이 중요한 공정의 요구사항으로, 이와 같은 방법으로 전자 밀도를 향상시켜 공정의 속도를 향상시키는 연구가 진행되어 왔다. 그러나 공정에 사용하는 RF 전력의 파장의 유한성으로 인해, 공정의 면적을 증가시킬 경우, 방전의 균일도가 하락하게 되며 넓은 면적에 일정한 공정이 이루어지지 않게 되어 공정의 품질이 하락하게 된다. 이러한 문제에 대한 해결책의 하나로 본 발표에서는 다중 Multi-hole 전극을 이용한 방전을 제시하고자 한다. 다중 Multi-hole 전극은, 복수의 구획으로 나뉘어진 다수의 홀이 있는 전극으로 각각의 구획은 분리되어, 각 구획 별로 서로 다른 복수의 홀이 10 mm 깊이로 뚫린 전극 구획으로 나누어지며, 각 구획을 결합하여 하나의 전극을 이루도록 한 전극이며 이를 이용하여 위치 별 플라즈마 밀도를 제어하고자 하는 목적으로 설계되어진 전극 구조이다. 본 학회에서 발표하는 실험에서는 가장 단순한 형태인, 두 개의 구획으로 나뉘어진 전극을 이용하여 내부와 외부에, 평 전극 구획 혹은 5 mm 지름의 다수 홀이 존재하는 전극 구획을 조합하여 다양한 전극 구조를 만들었으며 이를 통해, 다중 Multi-hole 전극을 이용하는 위치 별 플라즈마 밀도의 제어 방법의 가능성을 확인하고자 하였다. 위치 별 플라즈마 밀도의 측정을 위해, 전극에 대해 수평하게 이동하는 RF compensated Single Langmuir Probe를 이용하여, 전자 밀도를 측정하였으며 50 mTorr의 낮은 압력 범위 및 500 mTorr의 높은 압력 범위에서 위치 별 플라즈마 밀도를 측정하여, 압력에 따라 달라지는 홀 방전의 특성을 이용하고자 하였다.

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The Kinetics and Mechanism of Nucleophilic Addition of n-Propylmercaptan to $\alpha$-Cyano-$\beta$-piperonylacrylic Acid ($\alpha$-Cyano-$\beta$-piperonylacrylic Acid에 대한 n-Propylmercaptan의 친핵성 첨가반응에 관한 연구)

  • Kim, Tae-Rin;Huh, Tae-Seong
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.17 no.5
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    • pp.363-370
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    • 1973
  • The rate constants of the nucleophilic addition of n-propyl-mercaptan to $\alpha$-cyano-$\beta$-piperonylacrylic acid were determined at various pH and a rate equation which can be applied over wide pH range is obtained. The rate equation reveals that below pH 4.5 the reaction is initiated by the attack of n-propylmercaptan to $\alpha$-cyano-$\beta$-piperonylacrylic acid. At pH 4.5~6.5, however, n-propylmercaptan is added to $\alpha$-cyano-$\beta$-piperonylacrylate ion; at pH 7.04~9.5 the competitive reaction between n-propylmercaptan and n-propylmercaptide ion is anticipated to occur. Above pH 10 the addendum is n-propylmercaptide ion and the acceptor is $\alpha$-cyano-$\beta$-piperonylacrylate ion.

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A Study on a Fast and High Precision Measuring Algorithm of Wavefront Using the Shack-Hartman Sensor (하트만 센서를 이용한 정밀 고속 파면측정 알고리즘에 관한 연구)

  • 박승규;백성훈;서영석;김철중;박준식;나성웅
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.28-29
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    • 2002
  • 하트만 센서를 이용한 파면 왜곡 측정에서 측정 정밀도와 측정 속도는 왜곡을 실시간으로 보정하고자 하는 적응광학 기술에서 중요한 요소이다. 파면왜곡을 측정하고 보정하는 실제 환경에서 적응광학장치는 전기적으로 안정된 시스템의 구성이 요구된다. 본 논문에서는 하트만 센서를 이용한 파면 측정과정에서 넓은 측정 범위를 가지면서도 고속 정밀한 파면 정보를 추출할 수 있는 알고리즘을 연구하였고 적응광학 부품들을 제어함에 있어 전기적으로 안정된 하드웨어 장치들을 구성하였다. (중략)

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기획시리즈 - 화단 및 지피용 수호초 재배 이용

  • Song, Jeong-Seop
    • Landscaping Tree
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    • s.108
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    • pp.31-33
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    • 2009
  • 화단이나 정원. 공원 등 외부 생활공간의 그늘이나 반 그늘진 곳에 심는 종으로 수호초(秀好草)가 많이 쓰이고 있다. 맥문동과 함께 상록성이면서 키가 크지 않고 심어두면 생장속도가 꽤 빨라 조기에 지면을 덮어주기 때문이다. 특히 우리나라 전역에서 겨울에도 상록으로 월동함으로 사계절 볼거리를 주어 활용범위가 넓은 식물이다. 문헌상 한국에 자생한다고 되어있으나 아직 자생지에서 확인된 경우는 없는 듯 하며 우리나라에 심겨진 것은 대부분 일본에서 들어온 종이 아닌가 싶다. 영명이 Japanese spurge이다. 키가 작아 분화용으로 가능할 것으로 보이지만 반덩굴성으로 옆으로 깔리며 자라기 때문에 나무 밑이나 건물 그늘진 곳의 화단용으로 적합하다. 요즘 점차 수요가 늘고 있는 옥상정원용으로 우수할 것으로 생각된다.

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A Study for J-V Characteristics of OLED (OLED의 J-V 특성에 관한 연구)

  • 임성운;정인우;황순재;임광수;윤태훈;김재창
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.302-303
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    • 2003
  • 고도의 정보화 사회로의 움직임이 더욱 가속화됨에 따라 이동성이 용이한 정보표시장치의 필요성이 급격히 증대되고 있으며, 이에 따라 평판 디스플레이의 비중이 커지고 있다. 특히 소형 평판 디스플레이의 경우 OLED를 이용한 디스플레이는 TFT-LCD, PDP, FED 등 다른 디스플레이 보다 낮은 구동 전압으로 구동할 수 있고, 자체 발광하기 때문에 인식성이 뛰어나며, 얇고 가벼우며 응답속도가 빠르고 넓은 시야각을 가져 차세대 평판 디스플레이 중의 하나로 차츰 그 응용범위가 넓어지고 있다. (중략)

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A Velocity-Adaptive Channel Estimation Scheme Using the Simple Zero-forcing Technique in the Frequency Domain (주파수 영역에서의 간단한 zero-forcing 기법을 이용한 속도 적응형 채널 추정 기법)

  • Yu Takki;Park Goohyun;Hong Daesik;Kang Changeon
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.31 no.1A
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    • pp.38-47
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    • 2006
  • In this paper, we propose a velocity-adaptive channel estimation scheme using the simple zero-forcing technique in the frequency domain. Channel estimation is performed by removing frequency components that are higher than the maximum Doppler frequency in the received signal. The proposed scheme can be extended to the combined estimation scheme for channel coefficients and mobile velocity using one FFT/IFFT module. Simulation results show that the proposed scheme outperforms conventional schemes for a wide range of mobile velocities($3{\sim}300\;Km/h$). Finally, the MSE for the proposed channel estimation scheme is analyzed.

An Improvement of Sensorless Driving Performance for Brushless DC Motor with Trapezoidal Back EMF (제형파 역기전력을 갖는 브러시리스 DC모터의 센서리스 운전특성 향상)

  • 우혁재;송명현;박규남;김경민;정회범
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.6 no.4
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    • pp.582-588
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    • 2002
  • This paper presents a efficient sensorless driving strategy for brushless dc motor(BLDCM). By varying PWM switching frequency(4KHz, 6KHz, 8KHz) properly according to the rotating speed, the improvement of the efficiency and the operating characteristics through the wide speed are obtained.. The experimental results show that the proposed method can efficiently improve the sensorless driving performance for BLDCM with trapezoidal back emf.

Shape Design for Improving the Characteristics of Interior PM Synchronous Motor (매입형 영구자석 동기전동기의 특성 향상을 위한 형상설계)

  • Kim, Sung-Il;Lee, Geun-Ho;Hong, Jung-Pyo;Lee, Sung-Ho
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.814-815
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    • 2008
  • 매입형 영구자석 동기전동기의 경우 고효율, 고출력 그리고 넓은 속도 범위와 같은 많은 장점에도 불구하고 상대적으로 큰 코깅토크와 토크 리플로 인하여 정밀한 위치 제어용 전동기로 사용하는데 있어 한계가 있다. 이는 flux barrier와 치 사이의 불연속적인 자기저항의 변화가 주요한 원인 중의 하나로 이를 최소화 할 수 있는 형상 설계가 필요하다. 따라서 본 논문에서는 초기 설계된 매입형 영구자석 동기 전동기의 특성을 향상시키기 위한 형상 설계를 제시하고 실험 결과를 통하여 제안된 설계 방법의 유용성을 증명하고자 한다.

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Sensorless control of PMSM in high speed with sliding mode observer (슬라이딩 모드 관측기를 이용한 고속 영구자석형 동기 전동기의 센서리스 제어)

  • Kim, Jong-Moo;Lee, Suk-Gyu
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.964-965
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    • 2008
  • 본 논문은 고속 영구자석형 동기전동기의 센서리스 제어에 관한 것이다. 정지상태에서 초기 기동시 부터 고속영역까지 센서리스 알고리즘을 구현하기 위하여 슬라이딩 모드 관측기를 적용하여 회전자의 회전각을 실시간으로 관측하여 벡터제어 알고리즘을 구현하였다. 슬라이딩 모드 관측기의 채트링을 개선하고 넓은 속도 범위에서 안정된 응답을 얻기 위하여 속도에 따른 가변 이득 알고리즘과 관측기의 수렴을 여부를 판별하여 제한된 PWM 주기 내에서 관측기를 반복수행 관측기의 성능을 개선하는 알고리즘을 제안 하였다. 또한 제안된 알고리즘을 실험을 통하여 검증을 하였다. 초기 기동시 및 고속 영역에서 우수한 성능의 센서리스 알고리즘 구현되었을 확인하였다.

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Sliding Mode Control of DC Servo Motor in Electrohydraulic Ventricuar Assist Devices (전기유압식 좌심실보조기에 사장된 직류서보모터의 슬라이딩모드 제어)

  • An, Yun-Ho;Choi, Jae-Soon;Chung, Chan-Il;Min, Byung-Goo
    • Proceedings of the KOSOMBE Conference
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    • v.1995 no.05
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    • pp.78-81
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    • 1995
  • 본 연구에서는 슬라이딩 모드를 전기유압식 심실보조기의 직류모터제어기의 속도와 위치제어에 적용하였다. 슬라이딩 모드 컨트롤은 가변구조시스템(varaiable sturucture system)의 일종으로 적절한 내부스위칭 논리를 갖는 연속적인 부시스템(subsystem)의 모임으로 구성된다는 접에서 고정된 제어구조를 갖는 일반적인 제어시스템과 다르다. 이 시스템은 불연속적인 동적시스템이나 시변적인 요소를 갖는 시스템등에서 사용되고 있다. 이 논문에서는 슬라이딩 모드 제어를 적용하여 좌심실보조기를 제어하는 경우에 넓은 작동범위에서도 시스템이 안정적이며 혈류역학적인 외란에 대해서도 기준입력에 대한 속도의 추종이 잘 이루어지는지의 여부를 실제의 구현에 앞서 컴퓨터모델을 통해 검증하고 문제점들을 조사하였다.

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