• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.02a
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• pp.91.1-91.1
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• 2009

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.10a
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• pp.45-45
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• 2003

• The Science & Technology
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• no.2 s.441
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• pp.40-42
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• 2006

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2006.08a
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• pp.61-61
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• 2006

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2002.07a
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• pp.130-131
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• 2002

근접장광학현미경(Near-field Scanning Optical Microscope： NSOM)은 회절한계의 분해능으로 표면미소구조의 광학적 특성을 분석할 수 있기 때문에 여러 가지 용도로 응용되고 있다 그러나 NSOM 광 탐침의 경우, 탐침 끝 100nm크기의 구멍으로 출력되는 광 투과율(Throughput)은 거의 10＾-5이하의 Throughput을 나타내기 때문에 NSOM의 응용 범위 확대의 제약조건이 된다. 특히 고밀도 즉 , 나노 크기 정도의 광 정보를 저장할 수 있는 한 방법으로 대두되는 광 탐침을 이용한 근접장 기록의 경우 광투과율 증대는 필수적으로 해결되어야할 부분이다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.06a
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• pp.169-170
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• 2007

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2004.02a
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• pp.224-225
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• 2004

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.264-265
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• 2003

광 회절한계를 극복한 기록밀도 향상 기술로 대두된 근접장 응용 정보저장기술은 차세대 광 정보저장의 핵심기술로 간주되고 있다. 근접장을 응용한 기술에는, 근접장 헤드구조의 관점에서, 근접장 효과 렌즈(SIL), 탐침형, 미소구멍레이저, 안테나 구조 등 나노크기 Aperture를 가지는 구조 등이 있다. 그러나 각각의 근접장 헤드구조에 적합한 특히, 탐침형 근접장 방식에 적합한 근접장 매체에 대한 활발한 연구는 아직 진행되고 있지 않다. (중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.273-273
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• 2012

컷오프 진단법은 두 개의 탐침 형태로 제작된 마이크로 웨이브 진단법으로, 간단한 수식을 통해 전자밀도, 전자온도 등을 측정할 수 있다. 컷오프 탐침은 방사 안테나, 측정 안테나와 네트워크 분석기로 구성되어 있다. 네트워크 분석기는 두 안테나 사이의 플라즈마 투과 스펙트럼을 만드는데 쓰이며, 스펙트럼 분석을 통해 플라즈마 변수들을 측정할 수 있다. 이 진단법은 장치나 분석방법이 매우 간단한 장점을 지니며, 약 1 mW 정도의 적은 파워를 사용하여 플라즈마 상태를 거의 변화시키지 않는 측정이 가능하다. 또한 CF4와 같은 공정 가스를 이용한 플라즈마에서도 사용이 가능하다. 그러나 컷오프 진단법을 사용한 측정은 다른 종류의 진단법과 마찬가지로, 약 1초 정도의 긴 시간을 필요로 하는 단점이 있어, 펄스 플라즈마나 토카막과 같이 빠르게 변하는 플라즈마를 측정하기에는 무리가 있다. 최근에 개발된 푸리에 컷오프 탐침(Fourier Cutoff Probe, FCP)는 기존의 컷오프 탐침의 느린 시간분해능을 개선하기 위해 개발되었다. [1] 펄스 형태의 단일신호를 플라즈마를 투과하기 전후로 비교하면 투과 스펙트럼 및 플라즈마 변수들을 얻을 수 있으며, 기존 연구에서 구한 시간 분해능은 약 15 나노초였다. 이 값은 펄스 발생장치의 스펙에 따라 변하게 된다. 펄스폭이 짧을수록 시간분해능이 좋아지지만, 무한정 좋아질 수는 없다. 이 논문에서는 FCP 측정의 시간 분해능을 이론적으로 구하고, 시간 분해능의 이론적 한계를 구했다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.10a
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• pp.501-504
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• 2004

This paper describes the fabrication method for atomic force microscopy(AFM) tip with multi-walled carbon nanotube(MWNT). For making a carbon nanotube (CNT) modified tips, AC electric field which cause the dielectrophoresis was used for alignment and deposition of CNTs in this research. By dropping the MWNT solution and applying an electric field between an AFM tip and an electrode, MWNTs which were dispersed into a diluted solution were directly assembled onto the apex of the AFM tips due to the attraction by the dielectrophoretic force. In this case, we investigate the effect of the angle between a tip axis and an electrode. Experimental setup were presented, and then CNT attached AFM tips are successfully shown in this paper.