Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Optical throughput enhancement on a near-field apertured tip by the use of bird's beak effect

Bird's beak 효과에 의한 근접장 광 탐침의 투과율향상

  • 송기봉 (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소) ;
  • 김은경 (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구) ;
  • 이성규 (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구) ;
  • 김준호 (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구) ;
  • 박강호 (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소)
  • Published : 2002.07.01
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Abstract

근접장광학현미경(Near-field Scanning Optical Microscope： NSOM)은 회절한계의 분해능으로 표면미소구조의 광학적 특성을 분석할 수 있기 때문에 여러 가지 용도로 응용되고 있다 그러나 NSOM 광 탐침의 경우, 탐침 끝 100nm크기의 구멍으로 출력되는 광 투과율(Throughput)은 거의 10＾-5이하의 Throughput을 나타내기 때문에 NSOM의 응용 범위 확대의 제약조건이 된다. 특히 고밀도 즉 , 나노 크기 정도의 광 정보를 저장할 수 있는 한 방법으로 대두되는 광 탐침을 이용한 근접장 기록의 경우 광투과율 증대는 필수적으로 해결되어야할 부분이다. (중략)

Keywords