We have studied the factors influencing the growth rate of TiN deposited from TDEAT using a bubbler. The growth rate of TiN was primarily dependent on the bubbler temperature, deposition temperature, gas delivery line conductance and carrier gases. In addition, the heating of the gas line through which carrier gas was delivered to the bubbler increased the growth rate slightly. Also heating of the delivery gas line between the bubbler and the chamber caused the increase of the growth rate of TiN, Showing the Arrehenius behaviour with the activation energy of 0.2 eV.
Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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2002.12a
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pp.149-152
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2002
본 연구에서는 밸브의 입출력 류량 검출 센싱 장치 및 류량 성능 특성 곡선을 측정하는 소프트웨어를 개발하였다. 본 개발품은 기체 또는 액체의 양을 조절하는 밸브의 정밀한 제품을 생산할 수 있는 시스템이다. 멤버쉽함수의 최적한 폭을 자기동조에 의해 선정할 수 있었으며, 이를 이용하여 밸브의 압력 제어 성능을 보다 정밀하게 보정 할 수 있었다. 기체 또는 액체의 유량을 조절하는 감압 자동 조절밸브의 성능을 온라인으로 시험 할 수 있는 소프트웨어를 국산화하였다. 본 제품의 개발 결과 우수한 성능을 가진 감압 밸브 성능자동 보정 시험 검사용 소프트웨어임을 확인하였다.
Kim, Tae-Woan;Hwang, Oh-Sik;Ko, Young-Sung;Jung, Se-Yong
Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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v.13
no.3
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pp.50-57
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2009
A gas mechanical pulsator is developed for the study of combustion instabilities in various combustors such as LRE combustor. First, it shows that the mass flow rates and the perturbation frequencies can be successively controlled by the inlet pressure and the rotating speed of a rotating disk with many holes. Second, the device is used as an acoustic amplification source as a substitute for the speaker in the previous acoustic tests and its results show almost the same resonant frequency and damping characteristics compared with the previous results. In conclusion, the result shows that it can be used as a substitute for a speaker in the studies of LRE combustion instabilities, which has a flow and no limitation of amplification, and a device for making a perturbation source in gas flow.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2016.02a
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pp.359.2-359.2
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2016
붕소의 높은 융점과 비점으로 인하여 일반적인 합성법으로는 제조가 어려운 붕화금속 나노물질을 효과적으로 합성하기 위하여 열플라즈마의 특성을 전산해석 하였다. RF (Ratio Frequency, 고주파) 열플라즈마 발생기는 일반적인 직류 열플라즈마 발생기와 비교해 볼 때, 전극 침식에 의한 수명 문제나 불순물의 오염 없이 고온의 열플라즈마를 안정적으로 발생시킬 수 있기 때문에 고순도의 나노입자 합성공정에 좋은 조건을 가지고 있다. 그러나 열플라즈마의 고온 부분은 10,000 K 이상의 높은 온도를 가지고 있기 때문에 직접적인 측정으로는 나노입자 합성에 최적의 조건을 찾기가 어렵고, 전산해석을 통하여 여러 변수들에 대한 열플라즈마의 특성을 분석하여야 한다. 해석조건으로 RF 플라즈마의 입력전력은 25 kW로 고정하고 발생기 직경 20~35 mm, 유도코일 감은 수 4~6 회, 첫 번째 코일으로 부터 분말 주입구까지의 길이 10~30 mm, 방전 기체 유량 30~70 L/min에 대한 변수들에 대하여 붕화금속 나노입자 합성에 최적의 조건을 가진 RF 플라즈마의 온도 및 속도분포를 파악하였다. 전산모사 결과 RF 열플라즈마 발생기의 직경 25 mm, 분말주입구 까지의 길이 10 mm, 유도코일 감은 수 6 회, 방전 기체 유량 50 L/min 일 때, 고온영역이 중심부에 넓게 분포하여 붕화금속 나노입자를 합성하는데 최적의 조건이라 파악되었다. 방전 기체 유량 증가에 따라 고온영역의 중심부 분포를 넓게 할 수 있었으나 유량이 증가할수록 플라즈마 속도가 증가하여 붕소를 기화시키기 위한 가열시간이 짧아지므로 방전기체 유량을 조절하여 적절한 속도를 가진 플라즈마를 발생시켜야 한다. 그리고 코일의 감은 수가 증가할수록 10,000 K 이상 고온영역이 출구 쪽으로 확장되어 붕화금속 나노입자를 합성하는데 좋은 조건이 형성되었다. 본 전산해석 결과를 바탕으로 붕화금속 나노입자를 합성하는 RF 플라즈마 발생장치의 설계 및 운전조건을 적용하여 실험과의 비교연구를 통해 붕화금속 나노입자의 합성공정을 최적화 시킬 수 있다.
기체, 액체 고체상(相)이 섞여서 함께 흐르는 유동을 다상유동(multiphase flow)이라고 하며, 그 중 2개의 상이 섞여서 흐르는 경우를 2상유동(two-phase flow)이라고 일컫는다. 다상유동의 현상은 일상적인 생활에서도 많이 접하며(예컨대, 눈, 비가 내리는 현상, 안개, 황사, 스모그 현상 등) 특히 열전달과 관련하여 비등 및 응축을 수반하기도 한다. 특히 기계공학적 시스템에의 응 용측면에서는 다상유동의 전문지식이 증발기, 응축기 등 각종 열교환기기의 설계에 적용되므로 본 해설에서는 기체-액체(gas-liquid) 2상유동으로 그 내용을 한정하기로 한다. 2상(two-phase) 유동은 동일한 화학적 성분을 가진 물질이 서로 다른 상을 유지하면서 공존하여 흐른다는 점에서 2개의 다른 화학성분으로 구성된 2성분(two-component) 유동(예컨대 공기-물의 혼합유동)과는 엄밀하게는 다르나, 두 유동은 제반 형상이 유사하고, 해석 및 실험방법면에서도 많은 유사성이 있어서 총괄적으로 두 유동을 모두 2상유동이라고 칭하고 있다(1). 본 해설에서는 이러한 기체 -액체 2상유동분야에서 다루는 연구내용을 개괄적으로 소개하고자 한다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.08a
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pp.86-86
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2011
첨단 공정이 필요한 반도체와 LCD, PDP, LED 등의 디스플레이 및 IT 부품을 제조하는데 필요한 장비의 고성능화와 작업환경의 고청정화에 따른 초고진공펌프의 수요 확대와 앞으로 전개될 한-미 FTA에 따른 시장 확대로 인해 크라이오펌프의 국산화가 시급한 실정이다. 고성능 크라이오펌프를 만들기 위해서는 냉각판을 극저온으로 냉각하기 위한 극저온 냉동기 개발도 중요하지만 냉각판(cryoarray)에 최대한 많은 분자를 포획시키는 것 또한 최우선적으로 고려되어야 할 사항 중 하나이다. 이에 본 논문은 크라이오펌프용 냉각판의 기체분자 포획능력에 대하여 연구하였다. 냉각판의 분자포획능력의 해석은 형상계수법(view factor method)을 이용해 수행하였다. 해석에 이용한 냉각판은 현재 상용화된 모델들 중 원형 중앙판에 45$^{\circ}$ 하향 skirt가 달린 형태이며 8장의 냉각판이 일정한 간격을 두고 아래쪽으로 적층되어있고 이를 기본 모델로 하여 skirt의 형상이 다른 3장의 냉각판을 가진 네 가지 모델을 해석하였다. 해석에 이용한 냉각판의 기체분자 포획능력이 구속된 형상에서 얼마나 우수한가를 알아보기 위해 크라이오펌프의 입구 직경과 냉각판 중앙 원판의 직경비, 냉각판 사이의 거리, 그리고 skirt의 길이를 변화시켜가며 극저온 냉각판에 직접 응축되는 typeII가스와 흡착제가 도포된 부분에 의해 흡착되는 typeIII가스로 분류하여 해석을 수행하고 그 결과를 비교, 분석하였다. 크라이오펌프의 입구 직경과 냉각판 중앙 원판의 직경비가 증가함에 따라 typeII가스와 typeIII가스 모두 기체분자 포획능력이 증가하며 극저온 냉각판 사이 거리의 변화에 따른 기체분자 포획능력은 typeII가스의 경우 극저온 냉각판 사이의 거리가 증가할수록 증가한다. 하지만 typeIII가스는 모델 A, C의 경우 증가하고 모델 B, D의 경우 증가하다가 다시 약간 감소한다. skirt 길이 변화에 따른 기체분자 포획능력은 두 가스 모두 skirt 길이가 증가함에 따라 점점 급격하게 증가하고 모델 B, D는 나머지 두 모델에 비해 큰 값을 갖는다. 기체분자 포획능력을 해석한 결과를 실제 배기속도와 비교할 경우 절대적 수치로써의 비교는 어려우나 각 모델의 형상의 차이에 의한 상대적인 비교는 가능하다.
Ammonia nitrogen can be effectively recovered from livestock manure waste, etc. by using the gas permeable membrane technology. In this case, ammonia gas in the waste passes through the pores in one-side of membrane, impregnated in waste, and then reach the opposite side of the membrane. The permeated ammonia gas molecules are captured and recovered by acid (such as sulfuric acid) in the solution existing on the opposite side of the membrane. In order to improve ammonia nitrogen removals in the inlet part, high pH should be maintained in the feed waste including ammonia nitrogen to recover, which requires the cost of the chemical. To resolve this issue, previous studies tested various methods, for example, utilization of cheap calcium hydroxide or aeration together with inhibition of unwanted nitrification. The gas permeable membranes used for the recovery of ammonia nitrogen may be characterized, not only by proper heat and chemical resistance, but also by hydrophobicity, allowing selective ammonia gas permeation through the hydrophobic membrane pores. Future research should consider the relevant pilot or upscale processes using on-site wastes with various properties, and identify the optimal design/operation conditions as well as economic feasibility improvement plans.
It is important to study on the combustion instability to develop liquid rocket engines for preventing lower combustion efficiency and destruction of combustion chamber. There are many researches on simplex injector with liquid pulsation to solve this problem. In real rocket engine system, however, they use coaxial injectors. Therefore, research on coaxial injector with liquid pulsation is essential. In this study, we investigate dynamic characteristics of gas centered swirl coaxial injector varying tangential inlet diameter. A mechanical pulsator was used to generate an excitation in the liquid flow, and the response characteristics of the injector were confirmed. As tangential inlet diameter increased, mass flow rates increased and spray angle decreased. As tangential inlet diamter decreased, gain decreased because the pressure fluctuation in the injector manifold rarely passed through the inlet. Additionally, it was confirmed that a sufficiently small tangential inlet served as a damper.
Kim, Se-Hee;Kwak, Dong-Il;Jung, Se-Un;Choi, Jong-Ho;Kim, Joung-Hun
Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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v.41
no.6
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pp.495-501
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2013
Korean Utility Helicopter (KUH) has been designed to avoid the blade passing frequency and any instability due to a coupling of dynamic characteristics between the main rotor and the airframe in ground operation. For these design objectives, the vibration analysis and the ground resonance analysis were performed to analyze the dynamic characteristics of the airframe and the main rotor. Then, the whirl-tower test was conducted to identify the dynamic characteristics of the main rotor and the ground vibration test (GVT) was conducted to identify the dynamic characteristics of the airframe. The GVT for KUH was conducted with the test conditions and test articles established in consideration of each flight and ground condition. This paper shows the method and technique for performing the GVT for KUH and presents the correlation technique and the results for the correlated analysis model.
Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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1997.10a
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pp.77-78
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1997
1. 서론 : Polyimide는 내열성과 기계적, 화학적 특성이 다른 고분자막에 비해 뛰어나며 선택도 또한 비교적 높기 때문에($\alpha$= 3-7) 최근 많은 연구가 대상이 되고 있다. 그러나 trade-off현상으로 알려진 바와 같이 선택도가 우수한 고분자 재료는 투과계수가 떨어지고 투과계수가 높은 고분자 재료는 낮은 선택도를 갖고 있기 때문에 보다 광범위한 분야에 실용적인 막으로 사용하기 위해서는 이를 개선하는 연구가 필요하다. 최근의 연구는 높은 투과계수와 선택도를 가진 새로운 고분자 재료의 합성에 관한 연구, 뛰어난 투과계수를 가지고 있지만 선택도가 낮은 고분자막을 대상으로 여러가지 수식방법을 이용하여 투과계수를 감소시키지 않으면서 동시에 선택도를 향상시키기 위한 연구, 우수한 화학적 특성과 선택도를 가진 물질을 대상으로 복합막이나 비대칭막으로 만들어 투과 저항을 극소화시키기 위한 연구 등의 방향으로 진행되고 있다. 본 연구는 Polyimide중 가장 큰 투과계수를 가진 것으로 보고된 6FDA-p-TeMPD막(P$_{O_2}$ = 122Barrer, $\alpha$$_{O_2/N_2}$ = 3.4)을 제조하여 분리 투과 특성을 향상시키려는 목적으로 UV처리를 하고 UV조사 시간과 강도(Intensity)를 변수로 투과 특성을 조사하여 가장 뛰어난 투과 특성을 나타내는 최적조건을 찾고자 하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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