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우수디자인제품 선정이 창업기업 경영성과에 미치는 영향: 2013년, 2014년, 2015년 우수디자인제품 선정기업들 중심으로 (An Effect of the Selection of Excellent Design Product on the Business Performance in the Start-up: Focusing on 2013, 2014 and 2015 Design Awarded Companies)

  • 유정헌;배병윤;전기석
    • 벤처창업연구
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    • 제13권4호
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    • pp.211-216
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    • 2018
  • 본 연구에서는 한국디자인진흥원의 우수디자인제품 선정이 기업의 경영성과에 미치는 영향에 대하여 분석하고, 상대적으로 경쟁력이 낮은 창업기업을 중심으로 경영성과에 대하여 연구하고자 하였다. KIDP의 2013년 통계에 따르면 제품 판매에 미치는 요소 중 디자인이 27.53%로 가장 큰 비중을 차지하고 있으며, 기업 규모에서는 대기업과 중기업에 비해 소기업이 제품판매에 미치는 요소 중 디자인 요소가 제일 높은 것으로 나타나고 있다. 또한 이번 연구를 위해 수집한 데이터의 업종별 추이를 살펴보면 기술 기반 업종이 도 소매업을 비롯한 기타 업종에 비해 증가율이 상대적으로 높게 나타나고 있는 것으로 나타나고 있다. 본 연구는 어려운 경영여건에서도 디자인의 중요성을 인식하고, KIDP로부터 우수디자인제품 선정을 받은 기업 중 186개(2013년, 2014년, 2015년)를 대상으로 업력이 7년 이하인 창업기업과 업력이 7년 이상인 계속기업의 경영성과에 차이가 있는지를 실증 분석하였다. 또한 우수디자인제품 선정기업 중 디자인의 역할이 상대적으로 크게 나타나는 제조업과 비제조업 간의 경영성과(매출액)의 차이에 대해서도 분석하였다. KIDP의 우수디자인제품 선정이 기업의 경영성과에 효과가 있는지를 선정연도를 전후 비교하여 "창업기업이 계속기업에 비해 경영성과(매출액)에 더욱 긍정적 효과를 미칠 것이다" 라는 가설을 설정하고 실증분석을 한 결과는 창업기업이 경영성과에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 또한 우수디자인제품 선정이 제조업과 창업기업 내의 제조기업 경영성과에도 유의미한 영향으로 나타나고 있다.

근거이론접근법에 기반한 농식품분야 창업교육현상에 관한 탐색적 연구 (Exploratory Study on the Phenomena of Entrepreneurship Education in Food and Agriculture Sectors Based on the Grounded Theory Approach)

  • 설병문
    • 벤처창업연구
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    • 제15권3호
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    • pp.33-46
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    • 2020
  • 농식품분야 창업환경을 보면 국내외 시장상황과 소비자 트렌드의 변화가 심화되는 추세이다. 창업자는 농산물 재배, 가공과 판매, 농식품 제조 전 과정에 걸쳐 경쟁력 강화가 필요하며, 높은 수준의 기업가정신이 절실한 상황이다. 창업자는 창업준비부터 매출확대까지 시장과 고객요구에 대응할 역량을 갖추어야 하며, 교육을 통한 역량강화의 기회들이 필요하다. 이런 환경은 창업자의 교육수요 증가로 이어지고 있으며, 농식품분야에서 창업교육의 양적 증가현상도 보인다. 그러나 교육기회의 확대에도 불구하고 한편으로 농업전문기관을 중심으로 이루어져온 전통적 농업교육에서의 창업교육은 생산중심의 기술교육에 치중되어 있다는 지적이 있었다. 창업교육에서 기술교육의 중요성을 인정하면서도 농업창업인의 소득증대를 위해서는 고객관점의 상품개발과 판매역량 강화를 위한 교육의 필요성이 존재한다. 본 연구는 농창업인의 입장에서 농식품 창업교육 현상을 탐색적으로 분석하여 이 분야에서 창업자가 필요로 하는 교육을 도출하고자 한다. 이를 위하여 본 연구는 농창업분야에서 나타나는 현상을 교육수요자인 농창업자의 입장에서 분석한다. 분석은 농업기술원, 농업기술센터, 대학 등의 창업교육기관에서 농식품분야의 창업교육을 경험한 예비 및 기창업자를 대상으로 하며, 교육생의 교육동기, 교육내용, 강사, 교육방법, 사후관리 등의 현상을 중심으로 분석을 진행한다. 분석은 질적연구를 위하여 Strauss & Corbin(1998)의 근거이론 접근방법을 진행한다. 분석을 위한 개방코딩은 질적 데이터 분석툴인 QSR사(社)의 NVIVO 12 프로그램으로 사용하였다. 연구결과, 농식품분야 창업교육의 중심현상으로 교육정보증가 현상, 초기관리역량교육, 사업화교육이 도출되었다. 농창업교육에서 교육정보 획득노력과 교육기관의 교육정보 제공노력이 증가하여 교육정보측면에서 개선현상이 보인다. 초기관리역량교육은 스마트워킹, 기본역량, 관련 제도 교육을 중심으로 제공되고 있으며, 초기관리 관련 교육이 역량 강화로 연계되는 현상이 보인다. 이와 함께 사업화 성공에 필요한 실무 역량인 비즈니스모델, 고객, 재무 교육이 이루어지고 있다. 교육생의 협업강화, 관계구축, 학습지향, 적극적 태도가 중심현상과 작용하여 매출증대, 경쟁력 강화 등의 교육성과로 이어진다고 교육생들이 인식하고 있다. 농창업자의 경쟁력 강화와 매출강화를 위하여 전문인력양성, 기업가정신 강화, 상품기획역량, 시장확대역량 분야의 교육 강화요구 현상이 분석에서 나타나고 있다. 본 연구는 농식품분야 창업교육을 수요자 관점에서 분석하여 교육 설계에서 운영방식, 교육내용, 교육행정에 관한 개선 논의와 함께 농창업자의 생존력 강화를 위한 정책적 시사점을 도출하고 있다. 연구결과는 교육설계 과정에서 정책기관과 교육기관이 고려해야 할 시사점을 제시하며, 창업농을 위한 지원정책 시행과정에서 중요성 높아진 창업교육설계의 참고자료로서 의미를 가질 수 있다.

창업 인프라 기관의 지역 고용효과에 관한 탐색적 연구: N사 파트너스퀘어를 중심으로 (Exploratory Study on the Effect of the Entrepreneurial Infrastructure Institution on the Regional Employment: Focusing on the Partner Square of N Company)

  • 김종성;심재훈;김도현
    • 벤처창업연구
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    • 제15권3호
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    • pp.223-231
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    • 2020
  • 정부와 민간기업에서는 현재의 청년실업을 극복하고 청년창업 및 지역 고용을 활성화하기 위해 다양한 창업 인프라 기관을 지역 내 구축하고 있음에도 불구하고, 이와 관련한 선행연구는 창업 인프라 기관이 예비창업자들의 창업 의지에 미치는 영향을 중심으로 제한적으로 다루어져 왔다. 본 연구는 이러한 연구 공백을 채우고 지역 창업 인프라 기관이 지역 고용에 과연 어떠한 효과가 있는지 N사의 창업 인프라 기관인 파트너스퀘어를 대상으로 규명해 보고, 향후 창업 인프라 효과성 검증 관련 후속 연구의 기반을 마련하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해 N사 파트너스퀘어의 지역 고용 효과성을 검증하고자 정부통계데이터인 경제활동인구조사(통계청)의 원자료를 계량모형인 이중차분법(Difference-in-Differences)으로 분석했다. 주요 연구 결과는 다음과 같다. 파트너스퀘어 서울의 설립은 서울 청년층의 취업을 통계적으로 유의하게 증가시키지 못하는 것으로 나타났으나, 파트너스퀘어 부산의 설립은 2017년 5월~2019년 7월 기간에 평균 취업자 수(575천 명)의 약 3%를 상승시켜 지역 청년취업자수를 약 1만 7천 명 증가시키는 것으로 나타났다. 파트너스퀘어 광주는 설립된 후 2018년 9월~2019년 7월 기간에 평균 취업자 수(267천 명)의 약 1.7%인 4천 5백 명 증가시키는 것으로 분석되었다. 이는 창업 인프라 기관인 파트너스퀘어 부산과 광주가 지역의 예비창업자 및 창업자를 대상으로 다양한 창업교육프로그램 및 네트워크를 형성할 수 있는 프로그램을 제공하여, 창업자들의 성장에 도움을 주고 있으며, 통계적으로 유의미하게 지역 고용을 활성화시키고 있는 것으로 판단된다. 이러한 연구 결과는 창업 인프라 기관이 지역경제 및 고용 활성화에 도움을 주고 있음을 정부통계데이터를 통해 탐색적으로 실증분석을 했다는 점에서 시사점을 갖는다. 추후 연구에서는 정부의 산업육성정책, 파트너스퀘어 이외 창업 인프라 기관 등 지역 고용효과에 미칠 수 있는 다양한 외생변수를 고려한 연구가 진행되어야 할 것이다.

중국 대학생들의 창업 의도에 미치는 영향에 관한 연구: 창업 태도와 인지된 행동 통제의 매개효과를 중심으로 (A Study on the Effect of Chinese University Students' Entrepreneurial Intention: Focused on the Mediating Effect of Entrepreneurial Attitude and Perceived Behavioral Control)

  • 석수;오근엽;김형준;민태기
    • 벤처창업연구
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    • 제15권3호
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    • pp.175-189
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    • 2020
  • 창업가의 개인 특성이 창업 의도에 중요한 영향을 미친다는 기존 연구 결과가 많은 것에 비하여 이에 대한 내재적 메커니즘에 관한 연구는 상대적으로 부족하였다. 최근의 연구 결과들을 보면 창업자의 개인적 특성 요인이 창업 의도에 직접적으로 영향을 미치기보다 창업 태도와 인지된 행동 통제를 매개로 하여 창업 의도에 영향을 미친다는 연구 결과가 다양하게 나타나고 있다. 따라서 본 연구는 최근 창업 활동을 활발하게 하고 있는 중국 대학생들의 창업 의도를 형성하는 개인 특성이 무엇인지에 대해 233명의 중국 대학생들을 대상으로 한 실증적 연구를 수행하였다. 계획된 행동 이론을 기반으로 창업 태도와 인지된 행동 통제를 창업 의도를 형성시키는 중요한 변수로 설정하고, 잠재적인 창업자의 개인 특성 요인들(리더십, 계획성, 혁신성, 사회성)이 두 변수를 매개로 창업 의도를 형성시킨다는 가설과 모형을 구성하여 회귀분석과 구조방정식 모형을 통하여 검증하였다. 분석 결과, 중국 대학생의 경우 창업 태도와 인지된 행동 통제가 창업 의도를 형성시키는 중요한 선행 변수로 나타났다. 또한 개인적 특성 요인 중 리더십과 혁신성은 창업 태도에 긍정적인 영향을 미치는 반면 리더십과 계획성은 인지된 행동 통제의 수준을 높이는 것으로 나타났다. 결과적으로 리더십은 창업 태도와 인지된 행동 통제를 매개로 창업 의도를 형성하며, 혁신성은 창업 태도, 그리고 계획성은 인지된 행동 통제를 매개로 창업 의도 형성에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 그러므로 잠재적인 창업자로서 중국 대학생에 대한 창업 교육을 수행하는 경우 리더십, 혁신성, 계획성의 요소를 강조하는 창업 교육이 필요하며 잠재적인 창업자의 선택 기준을 설정함에 있어서도 중요한 개인적 특질로 위의 세 요소를 제시할 수 있을 것이다.

정위적 방사선 수술시 3차원적 공간상 단위분포들의 자동계산법에 의한 간접적 병소 근사화 방법의 개발 (Development of Independent Target Approximation by Auto-computation of 3-D Distribution Units for Stereotactic Radiosurgery)

  • 최경식;오승종;이정우;김정기;서태석;최보영;김문찬;정현태
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제16권1호
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    • pp.24-31
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    • 2005
  • 정위적 방사선 수술은 한 번에 두 개내 병소에는 고선량의 방사선을 조사하면서, 주위 정상조직에는 최소한의 방사선이 조사되도록 시술하는 치료기법이다. 본 연구는 정위적 방사선 수술시 자동적 치료계획을 수행하기 위하여, 선형가속기와 감마나이프의 다수의 회전중심점을 이용하는 치료계획에 대한 물리적 격자구조에 기반한 새로운 방법을 개발하였다. 최적의 방사선 수술계획은 많은 빔관련 변수들의 조합으로서 만들어진다. 본 연구에서는 선형가속기와 감마나이프 수술시 빔 측면도의 50% 수준에서의 선량분포가 콜리메이터/헬멧의 구멍 크기와 일치하는 점을 이용하여 하나의 회전중심점을 중심으로 선량분포를 구형으로 모델화시켰다. 그리고, 다수의 회전중심점들은 병소내 위치와 크기를 고려한 정육면체 구조와 1×1×1 ㎣의 체적소 단위의 계산에 의해 자동적으로 배치시켰다. 이 기법에 의한 치료계획 방법은 선량체적히스토그램, 선량의 일치성, 선량의 균질성의 병소내 선량분포로서 평가되었다. 그 결과, 새로운 기법은 불규칙한 병소들에 대하여 프로그램 시스템에 의해 빠르게 다수의 회전중심점들을 배치시켰다. 또한, RTOG의 권고사항에 언급된 병소내 선량분포의 일치성, 균질성이 기준을 잘 만족하였고, 병소들은 50% 이상의 등선량 곡선 내에 포함되었다. 이와 같은 성과는 불규칙하게 형성된 병소와 선형가속기나 감마나이프와 같은 다른 치료 장치 기법들에서 특별한 제약없이 보편적으로 적용이 될 수 있을 것으로 생각된다.

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Megavoltage Cone-beam CT 영상의 변환을 이용한 변환 영상 정합의 정확도 향상 (Enhancement of the Deformable Image Registration Accuracy Using Image Modification of MV CBCT)

  • 김민주;장지나;박소현;김태호;강영남;서태석
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제22권1호
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    • pp.28-34
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    • 2011
  • 적응 방사선 치료(Adaptive Radiation Therapy, ART)를 실행하기 위한 고도의 정확성을 갖는 변형 영상 정합 방법은 필수이다. 본 연구의 목적은 Megavoltage cone-beam CT (MV CBCT)영상의 Intensity 변화를 통한 영상 정합의 정확성의 향상이다. Intensity 변화 값을 도출 하기 위해 kilovoltage CT (kV CT)와 MV CBCT를 이용하여 12 종류의 전자 밀도 바를 제공하는 Cheese 팬텀의영상을 획득하고, 영상들로부터 kV CT와 MV CBCT의 Hounsfield Unit (HU)값들의 관계를 도출하였다. MV CBCT 영상의 잡음을 감소하기 위해 Gaussian smoothing 필터를 적용하였다. MV CBCT영상의 intensity는 마치 동일한 모달리티에서 획득된 영상과 같은 kV CT와 동일한 범위의 intensity로 변화시켰다. 이후 두 영상에 효율적이고 사용하기 쉬운 intensity 기반의 데몬 영상 정합이 적용되었다. 본 연구실에서 인체 내 폐를 모사하도록 제작된 변형 폐 팬텀을 이용하여 위와 같은 방법을 적용하여 영상 정합을 하였다. Cheese 팬텀 영상, 변형 폐 팬텀 영상을 이용한 변형영상 정합 결과는 상관 계수가 각각 6.07%, 18% 향상되었다. 변형 폐 팬텀 영상의 변형 영상 정합 정확성을 평가하기 위해 추가적으로 측정된 팬텀 내부에 삽입한 표적의 중심 좌표를 이용하여vector 차이를 계산하였다. 벡터 차이는 $2.23{\pm}1.19mm$, $1.39{\pm}0.97mm$였다. 본 연구에서 사용한 intensity 변화 방법을 통해 변형 영상 정합의 정확성이 향상됨을 확인 하였고, 본 연구는 영상 정합 정확성을 향상시키기 위한 해결 방법이 될 수 있다. 차후 연구 계획도 본 연구 내용에 의해 제안되었다.

임상표적체적 결정을 위한 기능 영상 기반 생물학적 인자 맵핑 소프트웨어 개발 (Development of the Multi-Parametric Mapping Software Based on Functional Maps to Determine the Clinical Target Volumes)

  • 박지연;정원균;이정우;이경남;안국진;홍세미;주라형;최보영;서태석
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제21권2호
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    • pp.153-164
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    • 2010
  • 혈관분포도(vascularity) 및 세포조밀도(cellularity)와 같은 종양의 생물학적 특성을 고려한 임상표적체적을 결정하기 위하여, 국부혈류용적영상(regional cerebral blood volume map, rCBV map)과 겉보기확산계수영상(apparent diffusion coefficient map, ADC map)의 종양 체적을 해부학적 영상 위에 맵핑 할 수 있는 소프트웨어를 개발하였다. 개발한 프로그램은 해부학적 영상 및 기능 영상 간 mutual information, affine transform, non-rigid registration을 이용한 영상 정합 기능을 제공한다. 영상 정합 후 기준 영상과 정합된 영상에서 획득한 각 segmented bone의 겹치는 체적 비율 및 contour 간 평균 거리를 이용하여 정합도 평가도 가능하다. 잔여 종양이 있는 악성신경아교종 환자의 영상을 이용하여 소프트웨어의 기능을 평가하였을 때, bone segmentation과 contour 간 평균 거리 차이를 이용한 정합도는 각각 약 74%와 2.3 mm였으며, 수동정합을 이용하여 2~5% 정도의 정합도를 향상 시킬 수 있었다. 종양의 생물학적 특성을 치료 계획에 반영할 수 있도록, color map을 이용하여 rCBV map을 분석하였으며, ADC map에서 설정한 관심 영역의 평균 확산 계수와 표준 편차 등을 계산하여 종양의 예후 인자 및 악성도를 평가하였다. 두 기능 영상이 공통적으로 나타내는 종양 체적에서 얻은 생물학적 인자를 평면 위에 맵핑하여 종양의 특성을 쉽게 파악할 수 있는 multi-functional parametric map을 구성하였다. 또한 각기능 인자에 대응되는 악성 종양의 임계값을 적용하여 주변 종양 세포에 비하여 혈관 분포도는 높으면서 확산 계수는 낮아 악성 종양 세포일 확률이 높은 영역을 구분할 수 있었다. 각 기능 영상 위에서 설정한 생물학적 종양 체적 및 악성도가 높은 국소 체적은 해부학적 영상 위에 표시하여 dicom 파일로 출력할 수 있었다. 개발한 소프트웨어는 기능적 다중영상을 이용하여 생물학적 종양 체적을 해부학적 영상 위에 맵핑하는데 적용할 수 있으며, 해부학적 영상에서 파악하기 어려운 종양의 특성 변화들을 치료 계획에 활용할 수 있다. 나아가 개발한 소프트웨어를 이용하여, 한 종류의 영상을 참고하여 종양 체적을 결정했을 때 발생할 수 있는 오류를 줄이고, 치료 전이나 치료 과정에서 나타나는 종양의 조직학적, 생리학적 특성을 치료 계획에 접목하는데 활용할 수 있다.

재하시험에 의한 PHC 매입말뚝의 저항계수 산정 (Estimation of resistance coefficient of PHC bored pile by Load Test)

  • 박종배;권영환
    • 토지주택연구
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    • 제8권4호
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    • pp.233-247
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    • 2017
  • 유럽과 미국에서는 말뚝기초 설계에 한계상태설계법 사용이 거의 정착되었으며, 세계적 추세에 따라 국내에서도 국토해양부가 한계상태설계법에 기반한 교량하부기초 설계기준을 제정하였지만, 국내 말뚝공법 및 지반조건에 대한 저항계수 연구가 부족하여 당장 설계에 반영하기에는 어려운 여건이다. 이에 본 연구에서는 일반적으로 시용하고 있는 PHC 매입말뚝을 국내 지반조건에 고려하여 Meyerhof(LH 설계기준, 도로교 설계기준) 방법과 상재하중을 고려할 수 있는 정역학적 공식 (Terzaghi의 지지력 계수와 Hansen&Vesic의 지지력 계수 적용)으로 산정한 지지력을 정재하시험(9회)과 동재하시험(EOID 9회, Restrike 9회) 결과를 비교 분석하여 저항계수를 산정하였다. LH 연구원의 선행연구(PHC 매입말뚝의 하중저항 설계정수 제안, 2012)에서 동재하극한지지력 (Rut)을 기준으로 했을 때 LH 설계기준에 대한 저항계수는 0.36~0.44를 나타낸 바 있으며, 본 연구에서는 저항계수가 0.39~0.48로 나타나 선행연구의 저항계수보다 약 8%정도 증가하였다. 본 연구에서는 정재하시험 결괴를 위주로 저항계수를 산정하였으며, 극한지지력을 기준으로 했을 때의 저항계수는 0.57~0.69(Meyerhof 방법 : LH 설계기준), Davisson 지지력을 기준으로 했을 때의 저항계수는 0.49~0.60(Meyerhof 방법 LH 설계기준)으로 동재하시험에 의한 저항계수와 차이가 크게 나타났다. 이러한 차이를 줄이고자 수정동재하지지력을 제시하여 저항계수를 제시하였으며 이때의 저항계수는 0.52~0.62(Meyerhof 방법 : LH 설계기준)로 나타나 정재하에 의한 저항계수와 차이가 많이 줄어들었다. 결론적으로 본 연구에서 정재하 및 동재하시험으로 산정한 전체 저항계수는 0.35~0.76으로 도로교 설계기준에서 제시한 저항계수 0.3보다 커서 경제적인 설계가 가능할 것으로 판단된다.

휨 구조의 압전 마이크로-켄틸레버를 이용한 진동 에너지 수확 소자

  • 나예은;박현수;박종철
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.476-476
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    • 2014
  • 서론: 저 전력 소모를 필요로 하는 무선 센서 네트워크 관련 기술의 급격한 발달과 함께 자체 전력 수급을 위한 진동 에너지 수확 기술에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 다양한 구조와 소재를 압전 외팔보에 적용하여 제안하고 있다. 그 중에서도 진동 기반의 에너지 수확 소자는 주변 환경에서 쉽게 진동을 얻을 수 있고, 높은 에너지 밀도와 제작 방법이 간단하다는 장점을 가지고 있어 많은 분야에 응용 및 적용 가능하다. 기존 연구에서는 2차원적으로 진동 에너지 수확을 위한 휜 구조의 압전 외팔보를 제안 하였다. 휜 구조를 갖는 압전 외팔보는 각각의 짧은 두 개의 평평한 외팔보가 일렬로 연결된 것으로 볼 수 있다. 하나의 짧고 평평한 외팔보는 진동이 가해지면 접선 방향으로 응력이 생겨 최대 휨 모멘텀을 갖게 된다. 그러므로 휜 구조를 갖는 외팔보는 진동이 인가됨에 따라 길이 방향과 수직 방향으로 진동한다. 하지만, 이 구조는 수평 방향으로 가해지는 진동에 대한 에너지를 수확하기에는 한계점을 가진다. 즉, 3축 방향에서 임의의 방향에서 진동 에너지를 수확하기는 어렵다. 본 연구에서는 3축 방향에서 에너지를 효율적으로 수확할 수 있도록 헤어-셀 구조의 압전 외팔보 에너지 수확소자를 제안한다. 제안된 소자는 길이 방향과 수직 방향뿐만 아니라 수평 방향으로도 진동하여 임의의 방향에서 진동 에너지를 수확할 수 있다. 구성 및 공정: 제안하는 소자는 3축 방향에서 임의의 진동을 수확하기 위해서 길이를 길게 늘이고 길이 방향을 따라 휘어지는 구조의 헤어-셀 구조로 제작하였다. 외팔보의 구조는 외팔보의 폭 대비 길이의 비가 충분히 클 때, 추가적인 자유도를 얻을 수 있다. 그러므로 헤어-셀 구조의 에너지 수확 소자는 기본적인 길이 방향, 수직방향 그리고 수평방향에 더불어 추가적으로 뒤틀리는 방향을 통해서 3차원적으로 임의의 주변 진동 에너지를 수확하여 전기적인 에너지로 생성시킬 수 있다. 제작된 소자는 높은 종횡비를 갖는 무게 추($500{\times}15{\times}22{\mu}m3$)와 길이 방향으로 길게 휜 압전 외팔보($1000{\times}15{\times}1.7{\mu}m3$)로 구성되어있다. 공정 과정은 다음과 같다. 먼저, 실리콘 웨이퍼 위에 탄성층을 형성하기 위해 LPCVD SiNx를 $0.8{\mu}m$와 LTO $0.2{\mu}m$를 증착 후, 각각 $0.03{\mu}m$$0.12{\mu}m$의 두께를 갖는 Ti와 Pt을 하부 전극으로 스퍼터링한다. 그리고 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 박막을 $0.35{\mu}m$ 두께로 졸겔법을 이용하여 증착하고 상부 Pt층을 두께 $0.1{\mu}m$로 순차적으로 스퍼터링하여 형성한다. 상/하부 전극은 ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용해 건식 식각으로 패턴을 형성한다. PZT 층과 무게 추 사이의 보호막을 씌우기 위해 $0.2{\mu}m$의 Si3N4 박막이 PECVD 공정법으로 증착되고, RIE로 패턴을 형성된다. Ti/Au ($0.03/0.35{\mu}m$)이 E-beam으로 증착되고 lift-off를 통해서 패턴을 형성함으로써 전극 본딩을 위한 패드를 만든다. 초반에 형성한 실리콘 웨이퍼 위의 SiNx/LTO 층은 RIE로 외팔보 구조를 형성한다. 이후에 진행될 도금 공정을 위해서 희생층으로는 감광액이 사용되고, 씨드층으로는 Ti/Cu ($0.03/0.15{\mu}m$) 박막이 스퍼터링 된다. 도금 형성층을 위해 감광액을 패턴화하고, Ni0.8Fe0.2 ($22{\mu}m$)층으로 도금함으로써 외팔보 끝에 무게 추를 만든다. 마지막으로, 압전 외팔보 소자는 XeF2 식각법을 통해 제작된다. 제작된 소자는 소자의 여러 층 사이의 고유한 응력 차에 의해 휨 변형이 생긴다. 실험 방법 및 측정 결과: 제작된 소자의 성능을 확인하기 위하여 일정한 가속도 50 m/s2로 3축 방향에 따라 입력 주파수를 변화시키면서 출력 전압을 측정하였다. 먼저, 소자의 기본적인 공진 주파수를 얻기 위하여 수직 방향으로 진동을 인가하여 주파수를 변화시켰다. 그 때에 공진 주파수는 116 Hz를 가지며, 최대 출력 전압은 15 mV로 측정되었다. 3축 방향에서 진동 에너지 수확이 가능하다는 것을 확인하기 위하여 제작된 소자를 길이 방향과 수평 방향으로 가진기에 장착한 후, 기본 공진 주파수에서의 출력 전압을 측정하였다. 진동이 길이방향으로 가해졌을 때에는 33 mV, 수평방향으로 진동이 인가되는 경우에는 10 mV의 최대 출력 전압을 갖는다. 제안하는 소자가 수 mV의 적은 전압은 출력해내더라도 소자는 진동이 인가되는 각도에 영향 받지 않고, 3축 방향에서 진동 에너지를 수확하여 전기에너지로 얻을 수 있다. 결론: 제안된 소자는 3축 방향에서 진동 에너지를 수확할 수 있는 에너지 수확 소자를 제안하였다. 외팔보의 구조를 헤어-셀 구조로 길고 휘어지게 제작함으로써 기본적인 길이 방향, 수직방향 그리고 수평방향에 더불어 추가적으로 뒤틀리는 방향에서 출력 전압을 얻을 수 있다. 미소 전력원으로 실용적인 사용을 위해서 무게추가 더 무거워지고, PZT 박막이 더 두꺼워진다면 소자의 성능이 향상되어 높은 출력 전압을 얻을 수 있을 것이라 기대한다.

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극성 (0001) 및 반극성 (11-22) n-ZnO/p-GaN 이종접합 발광 다이오드의 광전 특성 분석에 대한 연구

  • 최낙정;이재환;한상현;손효수;이성남
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.310-310
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    • 2014
  • ZnO박막은 넓은 밴드갭 (3.37 eV), 높은 여기 결합 에너지 (60 meV)를 가지는 육방정계 우르자이트(hexagonal wurtzite) 결정구조를 가지는 II-VI족 화합물 반도체로, 가시광선 영역에서의 높은 광학적 투과도 특성과 자외선 파장에서 발광이 가능한 장점을 가진다. 최근, ZnO박막 성장 기술이 상당히 발전하였지만, 아직까지도 p-형 ZnO박막 성장 기술은 충분히 발전하지 못하여 ZnO의 동종접합 LED는 아직 상용화되지 않고 있는 실정이다. 따라서, 많은 연구 그룹에서 p-GaN, p-SiC, p-diamond, p-Si 등과 같은 p-type 물질 위에 n-type ZnO를 성장시킨 이종접합 다이오드가 연구되고 있다. 특히, p-GaN의 경우 ZnO와의 격자 불일치 정도가 1.8 % 정도로 작다는 장점이 있어 많은 연구가 이루어 지고 있다. 일반적으로 c-축을 기반으로 한 극성ZnO 발광다이오드에서는 자발 분극과 압전 분극 현상에 의해 밴드 휨 현상이 발생하고, 이로 인해 전자와 정공의 공간적 분리가 발생하게 되어 발광 재결합 효율이 제한되고 있다는 문제가 발생한다. 따라서, 본 연구에서는 극성 (0001) 및 비극성 (10-10) n-ZnO/p-GaN 발광다이오드의 성장 및 발광 소자의 전기 및 광학적 특성에 대한 비교 연구를 진행하였다. 금속유기 화학증착법을 이용하여 c-면과 m-면 위에 각각 극성 (0001) 및 반극성 (11-22) GaN박막을 $2.0{\mu}m$ 성장시킨 후 Mg 도핑을 한 p-GaN을 $0.4{\mu}m$ 성장시켜 각각 극성 (0001) 및 반극성 (11-22) p-GaN템플릿을 준비하였다. 이후, N2분위기 $700^{\circ}C$에서 3분동안 열처리를 통하여 Mg 도펀트를 활성화시킨 후 원자층 증착법을 이용하여 동시에 극성 및 반극성 p-GaN의 위에 n-ZnO를 $0.11{\mu}m$ 성장시켜 이종접합구조의 발광소자를 형성하였다. 이때, 극성 (0001) p-GaN 위에는 극성의 n-ZnO 박막이 성장되는 반면, 반극성 (11-22) p-GaN 위에는 비극성 (10-10) n-ZnO 박막이 성장됨을 HR-XRD로 확인하였다. 극성 (0001) n-ZnO/p-GaN이종접합 발광다이오드의 전계 발광 스펙트럼에서는 430 nm 와 550 nm의 두 피크가 동시에 관찰되었다. 430 nm 대역의 파장은 p-GaN의 깊은 준위에서 발광하는 것으로 판단되며, 550 nm 피크 영역은 ZnO의 깊은 준위에서 발광되는 것으로 판단된다. 특히, 10 mA 이하의 저전류 주입시 550 nm의 피크는 430 nm 영역보다 더 큰 발광세기를 나타내고 있다. 하지만, 10 mA 이상의 전류주입 하에서는 550 nm의 영역보다 430 nm의 발광세기가 더욱 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 이것은 ZnO의 밴드갭이 3.37 eV로 GaN의 밴드갭인 3.4 eV다 작기 때문에 우선적으로 ZnO의 깊은 준위에서 발광하는 550 nm가 더욱 우세하지만, 지속적으로 전류주입 증가에 따른 캐리어 증가시 n-ZnO에서 p-GaN로 전자가 넘어가며 p-GaN의 깊은 준위인 430 nm에서의 피크가 우세해지는 것으로 판단된다. 반면에, 비극성 (10-10) n-ZnO/반극성 (11-22) p-GaN 구조의 이종접합 발광다이오드로 전계 발광 스펙트럼에서는 극성 (0001) n-ZnO/p-GaN에 비하여 매우 낮은 전계 발광 세기를 나타내고 있다. 이는, 극성 n-ZnO/p-GaN에 비하여 비극성 n-ZnO/반극성 p-GaN의 결정성이 상대적으로 낮기 때문으로 판단된다. 또한, 20 mA 영역에서도 510 nm의 깊은 준위와 430 nm의 발광이 관찰되었다. 동일한 20 mA하에서 두 피크의 발광세기를 비교하면 430 nm의 영역은 극성 n-ZnO/p-GaN에 비하여 매우 낮은 값을 나타내고 있다. 이는 반극성 (11-22) p-GaN의 경우 극성 (0001) p-GaN에 비하여 우수한 p-형 특성에 기인한 것으로 판단된다.

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