Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2000.02a
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pp.53-53
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2000
반도체 산업에서 유기물질의 응용에 많은 관심을 나타내고있으며, 그 응용의 예로는 발광 다이오드(light emitting diode)와 박막트랜지스터(thinfilm transistor)가 주를 이루고 있다. 이러한 유기 물질을 이용하면 소자의 제작 공정의 단순화와 제작 가격을 낮출 수 있는 이점을 기대할 수 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 pentcence 다이오드를 제작하였다. 유리 기판 위에 silicon dioxide를 PECVD으로 성막하였다. 전극으로는 Ohmic contact를 이루기 위해 금(Au)을 사용하였으며 schottky contact을 이루기 위해서 알루미늄(Al), 인듐(In), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Au)을 각각 사용하였다. 소자의 활성 층으로는 pentcene을 가장 단순한 열 증착법으로 성막하였고, 진공도는 10-8Torr를 유지하였으며 성막 속도는 0.3 $\AA$/sec로 성막하였다. 제작된 소자들은 $\alpha$-step, I-V, C-V, AFM, IR등을 이용하여 측정, 분석하였다.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.18
no.11
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pp.88-93
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2017
It is important to develop a simple method oftuning localized surface plasmon resonance(LSPR) properties, due to their numerous applications. In addition, the careful examination of the shape, size and combination of metal nanoparticles is useful for understanding the relation between the LSPR properties and metal nanostructures. This article describes the dependence of theLSPR properties on the arrays of metal nanoparticles obtained from a block copolymer(BCP) micellar thin film. Firstly, two different Au nanostructures, having a dot and ring shape, were fabricated using conventional block copolymer micelle lithography. Then, Ag was plated on the Au nanostructures through the silver mirror reaction technique to obtain Au/Ag bimetallic nanostructures. During the production of these metallic nanostructures, the processing factors, such as the pre-treatment by ethanol, silver mirror reaction time and removal or not of the BCP, were varied. Once the Au nanoparticles were synthesized, Ag was properly plated on the Au, providing two distinguishable characteristic plasmonic bands at around 525nm for Au and around 420nm for Ag, as confirmed bythe UV-vis measurements. However, when a small amount of Au seed nanoparticles, which accelerate the Ag plating speed,was formed by usinga block copolymer with a relatively highmolecular weight, all of the Au surfaces were fully covered by Ag during the silver mirror reaction, showing only the characteristic peak for Ag at around 420nm. The Ag plating technique on Au nanoparticles pre-synthesized from a block copolymer is useful to study the LSPR properties carefully.
Surface plasmon resonance (SPR) which is utilized in thin film refractometry-based sensors has been concerned on measurement of physical, chemical and biological quantities because of its high sensitivity and label-free feature. In this paper, an application of SPR to detection of alcohol content in wine and liquor was investigated. The result showed that SPR sensor had high potential to evaluate alcohol content. Nevertheless, food industry may need SPR sensor with higher sensitivity. Herein, we introduced a nano-technique into fabrication of SPR chip to enhance SPR sensitivity. Using Langmuir-Blodgett (LB) method, gold film with nano-structured surface was devised. In order to make a new SPR chip, firstly, a single layer of nano-scaled silica particles adhered to plain surface of gold film. Thereafter, gold was deposited on the template by an e-beam evaporator. Finally, the nano-structured surface with basin-like shape was obtained after removing the silica particles by sonication. In this study, two types of silica particles, or 130 nm and 300 nm, were used as template beads and sensitivity of the new SPR chip was tested with ethanol solution, respectively. Applying the new developed SPR sensor to a model food of alcoholic beverage, the sensitivity showed improvement of 95% over the conventional one.
Kim, Myeong-Seop;Im, Jeong-U;Go, Yeong-Hwan;Jeong, Gwan-Su;Yu, Jae-Su
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.08a
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pp.338-338
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2012
사파이어 ($Al_2O_3$)는 높은 밴드갭 에너지 (~19.5 eV)를 가진 물질로서 우수한 내마모성, 강도, 전기 절연성 및 안정한 화학적 특성을 갖고 발광다이오드 기판, 보석재료 등 각종 산업 및 기술적 분야에서 널리 사용되고 있다. 특히, 플립칩 발광다이오드 구조의 경우 광추출효율을 향상시키기 위해 높은 투과도를 갖는 사파이어 기판이 요구되어 왔으며, 지금까지 건식/습식식각방법을 이용한 사파이어 표면에 마이크로 크기의 심한 거칠기 또는 요철이 형성된 나노크기의 격자구조를 형성시키는 연구가 진행되어 오고 있다. 그 중, 나노 크기의 격자구조는 공기에서 반도체 기판까지 선형적인 유효굴절률 분포를 갖기 때문에 표면에서 생기는 Fresnel 반사 손실을 줄일 수 있다. 이러한 구조를 형성하기 위해서는 식각 마스크가 필요한데, 형성 방법으로 레이저 간섭 리소그래피, 전자빔 리소그래피, 나노임프린트 리소그래피 등이 있으나, 비싼 가격과 복잡한 공정 절차 등의 단점을 지니고 있다. 따라서 본 연구에서는 식각 마스크 패턴을 위해, 보다 저렴하고 간단한 실리카 나노구 및 열적응집 금 나노 입자를 이용하였다. 양면 폴리싱 c-plane 사파이어 기판을 사용하였고, 단일 층의 주기적인 실리카 나노구를 기판 표면에 스핀코팅에 의해 도포한 후 유도결합플라즈마 식각 장비를 이용하여 식각하여 주기적인 패턴을 갖는 렌즈모양의 격자구조를 형성하였다. 그리고 주기적으로 형성된 격자 위에 열 증착기를 이용하여 금 박막을 증착한 후 급속열적어닐닝(rapid thermal annealing)을 이용하여 열처리함으로써 비주기적인 금 나노입자를 형성시켰다. 형성된 금 나노패턴을 이용하여 동일한 조건으로 식각함으로써 광대역 및 전방향성 높은 투과도를 갖는 원뿔 모양의 사파이어 나노구조를 제작하였다. 제작된 샘플의 패턴 및 식각 형상은 전자현미경을 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR 분광광도계 (spectrophotometer)를 사용하여 투과율을 측정하였다. 렌즈 모양 표면 위에 원뿔모양의 나노구조를 갖는 사파이어 기판은 일반적인 사파이어 기판보다 향상된 투과율 특성을 보였다.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.19
no.5
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pp.251-255
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2009
Nanocomposites based on coupling $TiO_2$ matrix with nanosized noble metals (Pt,Au) particles exhibited promising photoelectrode properties. The $M/TiO_2$ (M=Pt,Au) nanocomposite thin films were deposited on quartz and ITO glass substrates using a co-sputtering method. $TiO_2$ in rutile form is the dominant crystalline phase for as-deposited nanocomposite films. Along with heat treatment up to $600^{\circ}C$, XRD peaks of the rutile phase as well as those of noble metal increased in intensity and decreased in width, indicating the growth of crystallites. The anodic photocurrents of $M/TiO_2$ (M=Au,Pt) thin films were observed not only in the UV range but also in the visible light range. The photocurrent of the nanocomnosite films extended to the visible light region by dispersion of nano-sized noble metal in the $TiO_2$ matrix.
In this work, we developed a Nafion polymer-coated impedance sensor with two gold electrode configurations to measure the ion concentration in solution samples. The gold electrodes were fabricated through the sputtering process, followed by surface modification using Nafion polymer. The resulting sensors enable the prevention of the polarization phenomenon on the electrode surface, resulting in stable measurement of electrochemical signals. Spectroscopy and scanning electron microscopy measurements revealed that the thin film of Nafion was coated uniformly onto the surface of the gold electrode. The Nafion-coated sensor exhibited more stable impedance signals than the conventional gold electrode. It showed a highly reliable calibration curve (R2 = 0.983) of the impedance sensor using a standard sodium chloride solution. In addition, a comparison experiment between the impedance sensor and a commercial conductivity sensor was performed to measure the ion concentration of artificial tears, showing similar results for the two sensors.
본 기고부분에서는 레이저 라만 분광법을 이용하여 나노입자에 흡착된 자기조립박막의 구조를 밝히고 응용성을 모색하는 일을 소개하고자 한다 Au 나노입자는 최근 재료과학과 의학 및 생물학에서 그 쓰임의 폭이 넓어지고 있다. 나노입자가 처음 사용된 예들 중에 가장 잘 알려진 것은 고대 로마 시대의 Lycurgus 컵에 기인한다고 한다. 컵 안에 함유된 미량의 은이나 금 나노입자에 의해서 반사했을 때와 투과할 때의 빛깔이 다르게 보이며 이러한 성질은 중세건축물의 스탠드 글라스에 이용되어 왔다. 근대적인 의미에서 Au 콜로이드의 수용액이 작은 미세입자가 분산되어 있다고 생각한 사람은 전기화학의 창시자라 할 수 있는 영국의 Faraday라 할 수 있다.(중략)
Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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v.9
no.4
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pp.103-111
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2001
In the present study, the internal combustion engine tends to high performance, fuel economy, small-sized. Therefore, it is necessary to solve the problems on thermal load, abnormal combustion, etc in the engine. Thin film instantaneous temperature probe was made, and the measuring system was established. The instantaneous surface temperatures in the constant volume combustion chamber were measured with this system and the heat flux was obtained by Fourier analysis. Maximum instantaneous temperatures were obtained after 55∼60ms from ignition and they increased as equivalence ratio and varied differently as the position of probe. Total heat loss during combustion time was affected by the equivalence ratio and differed widely as the position of probe.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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