• Journal of the Korean Electrochemical Society
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• v.10 no.2
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• pp.94-103
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• 2007

The transition of interconnection metal from aluminum alloy to copper has been introduced to meet the requirements of high speed, ultra-large scale integration, and high reliability of the semiconductor device. Since copper, which has low electrical resistivity and high resistance to degradation, has different electrical and material characteristics compared to aluminum alloy, new related materials and processes are needed to successfully fabricate the copper interconnection. In this review, some important factors of multilevel copper damascene process have been surveyed such as diffusion barrier, seed layer, organic additives for bottom-up electro/electroless deposition, chemical mechanical polishing, and capping layer to introduce the related issues and recent research trends on them.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.37 no.4
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• pp.31-37
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• 2000

In the case of metal-induced lateral crystallization (MILC) for low temperature poly-Si TFT, offset length between Ni-thin film and the sides of gate could be modified to control the location of MILC boundary. Electrical characteristics were compared to analyze the effect of MILC boundary that was located either in or out of the channel region of the TFT. By removing the MILC boundary from channel region, on current, subthreshold slope and leakage current properties could be improved. When MILC boundary was located in the channel region, leakage current was reduced with electrical stress biasing. The amount of reduction increased as the channel width increased, but it was independent of the channel length.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.10 no.3
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• pp.477-485
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• 1999

The grafting of 2,3-epoxypropylmethacrylate (GMA) onto polypropylene fabric was carried out by the $\gamma$-ray preirradiation grafting technique. Subsequently, the GMA-grafted polypropylene fabric was reacted with iminodiacetic acid (IDA) in different mixed solvents to prepare the fibrous metal adsorbent. The grafting extent was found to be dependent on the reaction time, temperature, preirradiation dose and dose rate. The effects of various mixed solvents on the IDA amination onto GMA-grafted polypropylene fabric were investigated. Compared with other mixed solvents, the extent of amination was highest in the dimethylsulfoxide (DMSO)/water, but the reaction did not occur in the water. The adsorption characteristics of various metal ions by the prepared adsorbent were examined when it was immersed in the 100 ppm metal ion solution. The amount of adsorption followed the order:$Pb^{2+}>Co^{2+}>Fe^{2+}$.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.3 no.4
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• pp.710-716
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• 1992

Ethylphenyl carbarmate(EPC) was synthesized by oxidative CO carbonylation of aniline in the presence of transition metal catalysts and alkali metal halide cocatalysts at $120^{\circ}C$ under the pressure of 79atm. Oxygen gas was used for oxidizing agent. Kinetics of the reaction was studied and activation energies with different catalysts were estimated. About 100% conversion to EPC and 95% selectivity was obtained in 5 hour reaction. 5% Pd/C was more effective than 5% Rh/C. Effectiveness of cocatalysts was in the order of KI>KBr>KCl. As the temperature increased from $75^{\circ}C$ to $120^{\circ}C$, the conversion rate increased. The reaction was apparent first order and the activation energies with 5% Pd/C and 5% Rh/C were 5.647 and 5.780 kcal/mol, respectively.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.349-349
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• 2008

유비쿼터스 시대를 맞이하여 현재의 전자제품은 고주파 환경에서의 소형화된 마이크로파 소자를 요구하고 있다. 현재 구현되고 있는 마이크로파 소자의 형태는 여러 가지 전송선로 중에 하나로서 금속의 그라운드면 위에 유전체 막을 형성하고 그 위에 금속선을 정밀하게 패터닝하여 각 종 소자를 연결하는 microstrip line의 형태가 많이 사용된다. 이러한 microstrip line 형태의 소자를 설계할 시에 소자 자체의 구조나 유전체 막이 그 소자의 성능을 크게 좌우한다. 여기서 유전체 막은 신호선과 그라운드면 간의 전자파를 집중시켜주어 방사손실을 줄여주는 역할을 한다. 유전체 막의 두께는 소자의 전체적인 크기를 결정하는 요인이 된다. 이는 유전체 막의 두께가 감소할 경우 50 $\Omega$ 임피던스 매칭을 위해 막 위에 형성되는 소자들의 선폭도 동시에 줄여야 하므로 소자의 소형화도 가능 하여진다. 하지만 유전체 막의 두께가 감소할 경우 전자파가 유전체 막에 집중되지 못하여 방사손실이 커지게 되고 소자의 성능이 저하된다. 이런 점을 고려할 때 소자의 소형화를 만족시키면서 동시에 소자의 성능을 유지할 수 있는 유전체 막의 최적화 두께에 대한 연구가 필요하다. 볼 연구에서는 유전체 막의 최적화 두께를 제시하기 위해 대표적 마이크로파 소자인 Edge-Coupled Filter에 대하여 3-D Electromagnetic Simulator로 설계하고 유전체 막의 두께와 Filter 성능 간의 관계를 연구하였다. Filter의 성능은 유지하도록 하면서 유전체 막의 두께를 감소시켜 나간 결과, 약 30 ~ 40 ${\mu}m$ 의 최적화 두께를 얻을 수 있었다. 한편 30 ~ 40 ${\mu}m$ 두께의 후막 공정을 고려할 때 기존의 성막공정으로는 성막시간, 공정의 난이도, 공정온도 등의 면에서 난점이 존재하며 이러한 점들을 극복할 수 있는 Aerosol Deposition Method의 적용 가능성에 대해서 연구하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.19 no.3
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• pp.259-263
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• 2008

The catalytic activity of the used catalyst, $V_2O_5/TiO_2$, for MSW incinerators was investigated focusing on its regeneration. As the result of the experimental analysis, the NOx removal efficiency difference between the fresh catalyst and used catalyst is about 60% at $260^{\circ}C$ and 1, 2-dichlorobenzen (1, 2-DCB) removal efficiency difference is about 14% at $200^{\circ}C$, in honeycomb test. And the catalysts, both the fresh and used, were characterized by XRD, TGA, and ICP techniques in order to investigate the deactivation. On the basis of the results, it is found that the used catalyst is deactivated by ammonium-sulfates, heavy metals (Pb, As etc.), alkali metals (Ca), and phase transfer of $TiO_2$. Also calcination treatment under nitrogen and air condition was excellent than washing and calcination treatment.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.13 no.1
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• pp.235-252
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• 2022

This study empirically identified how technological innovation capability and technological commercialization capability affect management performance in the metropolitan area of Ppuri corporation. As results of the research analysis, First the average company performance in the field of new materials and platform processing technology was higher than that of the metal-oriented processing technology field. Second, technological innovation capability variables are included as R&D capability, technological innovation regime, and technological accumulation capability are shown the statistically significant on non-financial performance. Commercialization capability, producing capability, and marketing capability variable are statistically significant on financial performance.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2010.11a
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• pp.113.1-113.1
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• 2010

본 연구에서는 중 소형 SOFC에 적용할 수 있는 연료 변환 시스템으로 자체 기동 및 독립운전이 가능한 천연가스 자열개질(ATR) 반응기를 $10Nm^3/hr$급으로 개발하고자한다. 설계된 천연가스 자열개질기는 자열개질 촉매를 코팅한 금속 모노리스형 촉매체를 반응기 내에 장착함으로써 반응열을 신속하게 제거 또는 공급할 수 있는 시스템으로 구성되었다. 이는 금속 모노리스의 뛰어난 열전도 능력에 의해 반응기 내의 촉매층 전체 온도 분포를 균일하게 유지할 수 있는 저에너지형 자열개질 반응기이다. 또한 빠른 기동 특성을 실현하기 위하여 전기 발열식 촉매체(EHC ; Electically Heated Catalyst)를 장착한 start-up 시스템을 적용하여 천연가스 자열개질 반응기의 신속한 기동과 장치 간편화를 실현하였으며, 합성 syngas의 배열 회수를 위한 최적 열교환 시스템을 설계/적용함으로써 에너지 효율 향상을 도모하였다. 이와 같은 촉매 및 구조 시스템을 가지는 천연가스 자열개질 반응용 소형 연료변환 시스템을 원통형의 이중관 구조로 구성하고, 독립운전 모드로 개발함으로써 소형 SOFC의 연료 변환장치의 적용에 용이하게 하고자 한다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.10 no.7
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• pp.1061-1065
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• 1999

The effect of particle size of coating powder and coating temperature on the thickness of coating layer formed on metal surface was studied by using XRD, SEM and EDXS. Coating powder was separated according to particle size by 3 steps and coating temperatures were varied from $950^{\circ}C$ to $980^{\circ}C$. Calorizing carried out at air and Ar conditions for 5 hrs, respectively. XRD result show that $Al_2O_3$ and AlN were formed during calorizing at air condition. The thickness and Al content of coating layer increased as the particle size of coating powder decreased and coating temperature increased.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.179.2-179.2
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• 2015

오늘날 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)는 대면적화, 고정밀화를 요구하고 있으며, 이에 따라 TCO에 요구되는 사양이 점점 까다로워지고 있다. ITO의 사용량을 절감하면서 동시에 우수한 투과도와 전기전도도를 얻기 위해 산화물/금속/산화물 구조와 같이 금속층을 투명 전도막 재료 사이에 삽입한 다층구조의 투명 전도성 필름에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 산화물/금속/산화물 구조의 다층 박막은 기판상에 Antireflection 코팅으로 사용되어 왔으나 최근 투명 전극 분야에 응용되고 있다. 본 연구에서는 최적의 ZTO/Ag/ZTO 다층박막에 100, 200, $300^{\circ}C$ 열처리와 200W-300, 500, 700 eV 전자빔 조사를 실시하여 특성을 비교하여 보았다. 열처리는 $300^{\circ}C$, 전자빔조사는 200W-700 eV 일 때 가장 좋은 효과가 나타났다. 가장 좋은 두 조건을 비교했을 때 전자빔 조사의 경우 비저항 $7.25{\times}10^{-5}{\Omega}cm$, 투과도 84.2%, Figure of Merit $2.8{\times}10^{-2}[{\Omega}-1]$로 열처리에 비해 좋은 특성을 나타냄을 알수 있었다.