• Title/Summary/Keyword: 극저온 펌프

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Measurement of the Ar Recovery Time of a Cryopump and Analysis on the Ar Instability (크라이오펌프 알곤 회복시간 측정과 알곤 불안정성 분석)

  • In, Sang Ryul;Lee, Dong Ju
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.22 no.5
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    • pp.225-230
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    • 2013
  • Cryopump removes gas molecules by condensation and adsorption. Therefore, cryo-surface temperature and corresponding vapor pressure influence directly the pumping performance. If the surface temperature of any part is neither low nor high, there occurs the desorption of gas molecules condensed or adsorbed, and the emitted molecules can be captured again, which leads to a time-consuming and fluctuating change of the pressure. Though every gas can show such a pressure instability at a specified temperature range, the instability generated in a sputter system using Ar as a working gas and operating with a cryopump is especially undesirable. In this paper the cause of the argon instability is analyzed and corrective is provided through the measurement of the Ar recovery time.

KSTAR 중성입자빔 입사장치의 크라이오 배기계통 설계 개념

  • 인상렬;박미영;오병훈
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.36-36
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    • 2000
  • KSTAR 토카막은 보조가열 장치로 2005년까지 1대(최종적으로는 2대)의 중성입자빔 입사장치(NBI)를 설치하여 장치의 기본 설계값에 도달할 예정이다. KSTAR NBI는 3개의 이온원을 가지고 있으며 총 수소 유입량은 70 Torr.L/s인 반면 고속 중성 입자빔량은 모두 11 Torr.L/s로 기체 배기량은 59 Torr.L/s에 달하고 압력은 장소에 따라 10-5~10-6 Torr로 유지되며 총배기속도가 1~2$\times$106 L인 펌프가 필요하다. 이때 크라이오 펌프(cryopump) 방식이 거의 유일한 해결책이라고 할 수 있다. 크라이오 펌프는 고속 입자빔 수송로의 양편에 각각 설치되는데 총면적 30m2 내외의 극저온 냉각판(cryo-pnael)들과 이를 상온 열복사로부터 보호하기 위한 열차폐(thermal shield) 및 흡기구 배플(baffle), 그리고 적절한 냉각장치로 구성된다. 시운전 단계에서는 15K GM 냉동기와 활성탄이 부착된 냉각판을 사용하는 방식과 4K GM 냉동기로 냉각하는 방식이, 최종 운전단계에서는 3.7K 액체 헬륨을 사용하는 방식이 고려되고 있다. 크라이오 펌프의 구조설계에 앞서 우선 배기속도, 흡?량, 작동압력, 냉각판 온도, 열손실량 등 설계사양을 확정하고 정리하는 일이 진행되고 있다. 또 냉각방식과 상관없이 동일한 개념으로 만들어지는 배플과 열차폐의 최적설계를 위한 몬테카를로 계산과 열전도 계산을 병행하고 있다. 이 곳에서는 KSTAR NBI 장치의 주배기계로서 사용될 크라이오 펌프의 설계방향과 전반적인 구조 및 예상성능 등에 대해 발표하려고 한다.

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Experimental Investigation on the Freezing Condition of Printed Circuit Heat Exchanger for Cryogenic Liquid Hydrogen Vaporizer (극저온 액체수소 기화기용 인쇄기판 열교환기의 동결 조건에 관한 실험적 연구)

  • WOOKYOUNG KIM;BOKYEM KIM;SANGHO SOHN;KONG HOON LEE;JUNGCHUL KIM
    • Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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    • v.35 no.2
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    • pp.240-248
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    • 2024
  • The purpose of this study is to investigate the freezing phenomena in printed circuit heat exchanger (PCHE) for cryogenic liquid hydrogen vaporizer. Local freezing phenomena in hot channels should be avoided in designing PCHE for cryogenic liquid hydrogen vaporizer. Hence, the flow and thermal characteristics of PCHE is experimentally investigated to figure out the conditions under when freezing occurs. To conduct lab-scale PCHE experiment, liquid nitrogen is used as a working fluid in cold channels instead of using liquid hydrogen. Glycol water is used as a working fluid in hot channels. Based on the experimental data, ratio between mass flow rates of cold channels and that of hot channels is proposed as contour map to avoid the freezing phenomena in PCHE.

위성광학탑재체 궤도시험을 위한 진동차단장치

  • Lee, Sang-Hun;Jo, Hyeok-Jin;Seo, Hui-Jun;Mun, Gwi-Won;Choe, Seok-Won
    • Bulletin of the Korean Space Science Society
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    • 2009.10a
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    • pp.46.4-47
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    • 2009
  • 인공위성은 지상에서 설계 제작된 후에 발사체에 탑재되어 궤도에 진입되어 위성에 부여된 고유임무를 수행하게 된다. 위성체가 임무를 수행하는 우주공간은 고진공 환경과 태양 복사열에 의한 고온 환경 및 극저온이 반복되는 가혹한 환경으로 특징지어진다. 때때로 위성체는 이러한 가혹한 우주환경의 영향으로 인해 주요 부품의 기능장애가 초래되기도 하며 이는 결국 임무의 실패로 이어지도 한다. 따라서 고진공과 극저온 환경으로 일컬어지는 우주환경을 지상에서 모사하여 위성체의 안정성 및 신뢰성을 시험하기 위해서 열진공 시험장비를 이용한 열진공시험을 수행한다. 한국항공우주연구원에서는 인공위성의 탑재체인 광학카메라의 국산화 개발을 위하여 우주공간의 고진공과 극저온 상태를 모사할 수 있는 $\varphi4m\timesL10m$ 규모의 광학탑재체 전용 열진공챔버를 국산화 제작하였다. 관측 위성용 광학카메라는 초고정밀 장비로서, 이를 테스트하기 위한 광학탑재체용 진공챔버는 특히 진동환경에 매우 민감한 하여 10-7 grms 이하의 진동레벨을 허용하고 있다. 그러나 진공용기는 지진 및 외부 환경으로부터의 시스템외부진동과 진공펌프 및 기타 장비들로부터의 내부 진동환경에 항상 노출되어 있으며, 가진 주파수가 구조물 자체의 고유진동수와 일치될 경우 공진이 발생하여 시스템에 큰 영향을 미칠 수 있으므로, 외부 진동 및 챔버 자체 진동이 광학계에 전달되지 않도록 진동차단장치가 필요하다. 이 논문에서는 광학탑재체 궤도환경시험용 챔버에 대한 진동차단장치의 개발 및 활용 예를 논의하고자 한다.

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맥동관 냉동기 크라이오펌프 기술 개발 연구 및 상용화

  • Gang, Min-Jeong;Gang, Sang-Baek;Yu, Jae-Gyeong;Go, Deuk-Yong;Park, Seong-Je;Go, Jun-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.223-223
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    • 2012
  • 최근 선진국의 산업구조는 반도체, 디스플레이, IT 제품 등 고부가가치 산업으로 재편되고 있으며, 이에 따라 핵심 공정장비인 고진공펌프의 수요가 급격히 증대하고 있다. 고용량/대면적/초정밀 제품을 지향하는 개발추세에 따라 핵심 공정 장비로서 크라이오펌프의 활용도가 크게 증가하며 LCD 분야 등과 같이 수소 분자와 물 분자 등의 배기가 중요한 응용분야에 크라이오펌프의 수요가 대부분을 차지하고 있다. 또한 도래하는 한미FTA 체결에 따라 반도체, IT, 디스플레이 제조 장비용 고진공펌프의 수입이 급증할 것으로 예상되어 국내 진공업체에서도 크라이오 펌프의 개발이 진행되고 있다. 국내에서는 크라이오펌프 뿐만 아니라 핵심부품인 극저온 냉동기에 대한 기반 기술이 낙후되어 있는 실정이다. 본 연구에서는 지식경제부 지원 사업인 제조기반산업원천기술개발사업에 참여기관으로 수행하여 한국기계연구원과 급속 재생형 저진동 크라이오펌프의 기술 개발을 통해 전량 수입하는 고진공 펌프인 크라이오펌프를 국산화를 도모하고자 한다. 또한, 맥동관 냉동기는 기계적 구동부가 없어 구조가 간단하여 운전이나 보수가 용이하고, 장시간 운전에 신뢰성이 높으며 제조비용이 저렴하다. 이에 (유)우성진공에서는 연구 개발을 통해 상용화 단계에 있는 맥동관 냉동기 크라이오펌프를 소개하고자 한다.

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크라이오 펌프용 맥동관 냉동기 개발

  • Park, Seong-Je;Go, Jun-Seok;Hong, Yong-Ju;Kim, Hyo-Bong;Go, Deuk-Yong;Gang, Min-Jeong;Yu, Jae-Gyeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.112-112
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    • 2012
  • 최근 선진국의 산업구조는 반도체, 디스플레이, IT 제품 등 고부가가치 산업으로 재편되고 있으며, 이에 따라 핵심 공정장비인 고진공펌프의 수요가 급격히 증대하고 있다. 고용량/대면적/초정밀 제품을 지향하는 개발추세에 따라 핵심 공정 장비로서 크라이오펌프의 활용도가 크게 증가하며 LCD 분야 등과 같이 수소분자와 물 분자 등의 배기가 중요한 응용분야에 크라이오펌프의 수요가 대부분을 차지하고 있다. 또한 도래하는 한미FTA 체결에 따라 반도체, IT, 디스플레이 제조 장비용 고진공펌프의 수입이 급증할 것으로 예상되어 국내 진공업체에서도 크라이오펌프의 개발이 진행되고 있다. 국내에서는 크라이오펌프 뿐만 아니라 핵심부품인 극저온 냉동기에 대한 기반 기술이 낙후되어 있는 실정이다. 본 연구에서는 지식경제부 지원 사업인 제조기반산업원천기술개발사업에 참여기관으로 수행하여 한국기계연구원과 급속 재생형 저진동 크라이오펌프의 기술개발을 통해 전량 수입하는 고진공 펌프인 크라이오펌프를 국산화를 도모 하고자 한다. 또한, 맥동관 냉동기는 기계적 구동부가 없어 구조가 간단하여 운전이나 보수가 용이하고, 장시간 운전에 신뢰성이 높으며 제조비용이 저렴하다. 이에 (유)우성진공에서는 연구 개발을 통해 상용화 단계에 있는 맥동관 냉동기 크라이오펌프를 소개하고자 한다.

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Cryogenic Performance Test of a Turbopump Inducer (터보펌프 인듀서에 대한 극저온 성능시험)

  • Kim, Jin-Sun;Kim, Jin-Han;Hong, Soon-Sam
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.11 no.1
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    • pp.64-70
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    • 2007
  • A test facility was developed where an inducer for a liquid rocket engine turbopump can be tested using liquid nitrogen as a working fluid. At the facility, a hydrodynamic performance test and a cavitation performance test for an oxidizer turbopump were carried out. Head-flow relation at liquid nitrogen test was similar to the case at water test. However, cavitation performance at the liquid nitrogen was superior to the case at water test, which results from the thermodynamic effect of cavitation.

Cryogenic Performance Test of a Turbopump Inducer (터보펌프 인듀서에 대한 극저온 성능시험)

  • Hong Soon-Sam;Kim Jin-Sun;Kim Jin-Han
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.93-99
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    • 2006
  • A test facility was developed where an inducer for a liquid rocket engine turbopump can be tested using liquid nitrogen as a working fluid. At the facility, a hydrodynamic performance test and a cavitation performance test for an oxidizer turbopump were carried out. Head-flow relation at liquid nitrogen test was similar to the case at water test. However, cavitation performance at the liquid nitrogen was superior to the case at water test, which results from the thermodynamic effect of cavitation.

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A Study on the Impeller Design of a Submerged Cryogenic Pump (초저온 산업용 액중펌프 임펠러 설계에 관한 연구)

  • Kweon, Byung Soo;Lee, Chi-Woo;Yi, Chung-Seob
    • Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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    • v.15 no.6
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    • pp.136-141
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    • 2016
  • The purpose of this study is to examine the basic design of a submerged cryogenic pump, which is a two stage impeller pump. We limited this study to the impeller design of the submerged pump. We calculated its velocity triangle based on the impeller blade configuration and, in order to check its natural frequency, we carried out a modal test using a finite element method (FEM) analysis. Basically, modal test results had quite similar to FEM analysis.

Analytical Investigation on Temperature Rise of Liquid Oxygen in Propellant Tank (추진제 탱크내의 액체산소 온도상승에 대한 해석적 고찰)

  • Cho Namkyung;Jeong Yonggahp;Kim Youngmog;Jeong Sangkwon
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.9 no.3
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    • pp.25-37
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    • 2005
  • For pump-fed rocket propulsion system, the temperature of LOX to be supplied to turbopump inlet should be satisfied with pump inlet temperature requirement during all operating stages, as excessive temperatures can result in cavitation due to reduction in NPSH, thus either damaging the pump or adversely affecting pump performance rise. So exact estimation of LOX temperature rise is absolutely needed for developing reliable propulsion system. This paper presents systematic analysis scheme for estimating inner process of cryogenic propellant tank which is needed for LOX temperature rise. And this paper presents LOX temperature rise and thermal stratification for all rocket operating stages including cooling, filling, waiting, pre-pressurization and firing, with the application of buoyancy driven boundary layer theory.