• 제목/요약/키워드: 규소체

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대기압 비평형 플라스마의 발생 및 규소(Si)식각에의 응용 (Generation of Low Temperature Plasma at Atmospheric Pressure and its Application to Si Etching in Open Air)

  • 이봉주
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권4호
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    • pp.409-412
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    • 2002
  • 대기압 하에서 정상적으로 저온 플라스마가 발생 가능한 장치를 개발했다. 개발한 장치는 접지전극을 유전체로 피복한 용량결합형 전극구조로 되어 있다. rf(13.56 M Hz)을 여기 원으로서 사용한 아르곤(Ar) 또는 헬륨(He)은 플라스마 가스로서 사용했다. 발생한 플라스마는 발광분광법, 플로브 진단법에 의해 특성을 검토했다. 그 결과 전자온도>여기온도>가스온도 관계에 있는 비평형 상태의 플라스마였다. 본 장치를 사용하여 발생한 플라스마에 반응가스(CF4)을 첨가해서 대기 개방 계에서 Si(100)식각($1.5{\mu}m$/min)에 적용하여 높은 처리속도를 실현했다.

질화규소에 의한 SiC 소결체의 제조에 관한 연구 (Febrication of $Si_3-N_4$ Bonded SiC Ceramics)

  • 정주희;김종희
    • 한국세라믹학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.63-69
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    • 1983
  • It is know that $Si_3-N_4$ bonded SiC has almost all the valuable properties needed for the high temperature material and thus has bery wide range of applicability. Si powder and two different sized SiC powder were used as the raw mateials. Specimens were prepared by heating the green compact mode of the raw materials with polyvinyl alcohol binder in the nitrogen atmosphere. The bond-ing of SiC particles is brought about with the formation of reaction bonded silicon nitride phase between the particles he influences of the variation of the relative amounts of the raw materials and the amount of the organic binder on the density and the bend strength of the specimens were investigated. It was shown that the calculation of the amount of the nitridation of Si is somewhat complicated matter since some portion of the organic binder reacts with the Si during the firing process. Fixing the Si amount to 20w/o the distributions of the size of the SiC particles that gives the maximum density and the maximum strnegth were obtained through experiments. It was observed that the two distributions were not equal to each other. As the amount of Si increased the amount of Si reacted with nitrogen and the strength increased. The fracture mode was intergranular for the most part and the transgranular fracture was scarcely observed.

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토양 실트의 비정질 실리카 (Amorphous Silica in Soil Silt)

  • 정기영
    • 한국광물학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.287-293
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    • 2018
  • 한반도 일부 토양에서 비정질 실리카($SiO_2$) 실트 입자들이 발견되었다. 토양 연마박편의 주사전자현미경에서 관찰된 비정질 $SiO_2$ 입자는 타원형이며, 1마이크론 이하의 극미세 공극들이 입자 내부에 집중 분포한다. 입자의 비정질성은 투과전자현미경 격자상 관찰과 전자회절로 확인하였다. 이 이질적인 실트 입자들의 풍성기원 가능성을 확인하기 위하여 중국 황토고원의 풍성퇴적물인 뢰스(loess) 내 $SiO_2$ 실트입자들을 조사하였으나 유사 입자를 확인하지 못하였다. 아직 기원이 명확하진 않지만, 식물규소체나 화산재 풍화물일 가능성이 있다. 토양환경에서 비정질 $SiO_2$ 실트 입자의 장거리 이동 광물먼지(황사) 추적자로서 가능성은 낮다.

Si$_3$N$_4$ Whisker의 첨가량과 배열방향이 Si$_3$N$_4$ 복합 소결체의 기계적 특성에 미치는 영향 (Effect of the Whisker Amount and Orientation on Mechanical Properties of the Si$_3$N$_4$ based Composites)

  • 김창원;박동수;박찬
    • 한국세라믹학회지
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    • 제36권1호
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    • pp.43-49
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    • 1999
  • 0~5 wt%의 $\beta$-Si3N4 whisker를 첨가한 질화규소 가스압 소결체를 제작하였다. 첨가된 whisker들은 tape casting을 응용하여 tape 내에서 일방향으로 배열하였으며, 제작된 tape로부터 절취된 sheet들의 적층 과정을 변화하여 다양한 미세구조를 갖는 성형체를 제작하였다. 가스압 소결을 통하여 치밀화된 소결체의 조대결정립은 성형체의 whisker와 같은 방향성을 가졌으며, 소결수축률과 기계적 특성 등도 이러한 다양한 미세구조상의 특징과 일관된 결과를 나타내었다. Whisker를 일방향으로 배열하였을 경우, 소결수축률은 whisker 배열 방향과 평행한 방향보다 수직한 방향으로 크게 일어났을 때, whisker 함량이 증가함에 따라 수축률의 차이가 증가하였다. Indentationi crack length는 whisker 함량이 증가함에 따라 whisker 배열 방향과 수직한 방향의 균열 길이는 더 짧아졌고, 그와 평행한 방향의 균열 길이는 길어졌다. Whisker 첨가에 의해 결정립이 더 크게 성장하였으나 강도는 whisker를 첨가하지 않을을때보다 낮지 않았다. Whisker 배열 방향을 90$^{\circ}$ 및 45$^{\circ}$ 간격으로 엇갈리게 적층하였을 경우에는 특성의 이방성이 나타나지 않았다.

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PECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구 (Study on Characteristics of 4H-SiC MOS Device with PECVD SiON Insulator)

  • 김현섭;이재길;임종태;차호영
    • 전기전자학회논문지
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    • 제22권3호
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    • pp.706-711
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    • 2018
  • 본 논문에서는 플라즈마 화학기상증착 (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 방식을 이용한 산질화규소(Silicon oxynitride, SiON) 절연체를 이용하여 4H-SiC metal-oxide-semiconductor (MOS) 소자를 제작하고 특성 분석을 수행하였다. 제작된 소자는 금속 증착 후 열처리 과정 (post metallization annealing, PMA)을 통하여 트랩 밀도가 크게 감소하는 것을 확인하였으며, 특히 $500^{\circ}C$의 forming gas 분위기에서 열처리 된 소자의 경우 매우 뛰어난 MOS 특성을 나타내었다. 본 연구를 통하여 4H-SiC MOS 구조를 위한 대체 게이트 절연체로써 PECVD SiON의 활용 가능성을 확인 할 수 있었다.

한국산 사초속 왕비늘사초절의 분류학적 연구 (A taxanomic study on section Acutae of Carex L. in Korea (Cyperaceae))

  • 오용자;이현진
    • 식물분류학회지
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    • 제31권3호
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    • pp.183-222
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    • 2001
  • 한국산 사초속(Carex L.) 왕비늘사초절(section Acutae Fries) 11종을 대상으로 외부 형태학적 형질을 재검토하고, 광학현미경과 주사전자현미경을 사용하여 과낭, 수과와 잎의 표피형을 비교분석하였다.그결과 얻어진 정량적 형질(줄기, 잎, 이삭, 비늘조각, 포, 과낭과 수과의 길이와 너비)과 정성적 형질(이삭, 비늘조각, 과낭과 수과의 모양, 엽설의 유무, 줄기단면과 비늘조각 윗부분의 모양) 및 과낭, 수과와 잎의 표피형(기본표피 세포의 모양, 세포벽의 굴곡, 규소체의 수와 모양, 기공복합체의 크기와 빈도, 부세포의 모양)이종을 동정, 식별하는데 유용하였다.또한 왕비늘사초절 11종은 과낭의 가장자리와 부리모양, 과낭의 기본표피세포의 모양에 따라 산뚝사초(C. forficula Fr. & Sav.)는 제1그룹, 애기천일사초(C. subspathacea Worm.), 회색사초(C. cinerascens K$\ddot{u}$k.), 산비늘사초(C. heterolepis Bunge)는 제2그룹, 갈미사초(C. bigelowii Torr.), 구슬사초(c. tegulata H. L$\acute{e}$v. & Van't.), 산꼬리사초(C. shimidzensis Fr.), 뚝사초(c. thunbergii Steud.)는 제3그룹, 쥐방울사초(C. phacota Spreng.), 왕비늘사초(C. maximowiczii Miq.), 이삭사초(C. dimorpholepis Steud.)는 제 4그룹, 모두 4개의 그룹으로 나눌수 있었다.

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한국산 사초속 감둥사초절의 분류학적 연구 (A taxonomic study on section Atratae of Carex L. in Korea (Cyperaceae))

  • 오용자;이창숙;유경진
    • 식물분류학회지
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    • 제31권3호
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    • pp.223-251
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    • 2001
  • 한국산 사초속(Carex L.) 감둥사초절(section Atratae Kunth) 7분류군을 대상으로 외부형태학적 형질을 재검토하고, 광학현미경과 주사전자현미경을 이용하여 과낭, 수과와 잎의 표피형을 비교 분석하였다. 그 결과 얻어진 정량적 형질(줄기, 잎, 이삭, 비늘조각, 포, 과낭과 과낭부리, 수과의 길이와 너비)과 정성적 형질(이삭, 비늘조각, 과낭과 수과의 모양, 줄기와 잎의 횡단면, 비늘조각 윗 부분의 모양) 및 과낭과 수과의 표피세포모양, 잎의 표피구성요소(기본표피 세포의 모양, 세포벽 굴곡의 형태, 규소체의 수와 모양, 기공복합체의 크기와 빈도), 잎의 유두돌기와 가시돌기의 유무가 종을 식별하는데 유용하였다. 감둥사초절 7분류군은 줄기 정단부에 위치하는 이삭의 형태와 과낭부리의 모양, 수꽃이삭의 모양, 줄기의 길이에 따라 2그룹(group)으로 구분되었다. 제 1그룹은 감둥사초(C. atrata L.), 늪사초(C. buxbaumii Wahlenb.: 국명신칭), 덕진사초(C. gmelinii Hook. & Arn.), 해산사초 (C. hancokiana Maxim.)와 백두사초 (C. peiktusani Komarov)이며, 제 2그룹은 북사초(C. augustinowitzii Menish.)와 진들검정사초(C. meyeriana Kunth)이다. 또한 외부형태가 유사한 덕진사초, 해산사초와 백두사초는 비늘조각의 끝부분, 잎표피형, 수과와 과낭의 모양과 표피형에 차이가 있어 각 각을 구분할 수 있었다.

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Nitrided Pressureless Sintering에 의해 제조된 Si3N4의 산화거동 (Oxidation Behavior of Si3N4 by the Nitrided Pressureless Sintering)

  • 한인성;천승호;정용희;서두원;이시우;홍기석;우상국
    • 한국세라믹학회지
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    • 제42권1호
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    • pp.62-68
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    • 2005
  • 질화상압동시소결(NPS) 공정에 의해 제조된 기공율이 다른 질화규소 소결체에 대해 $1300^{circ}C$ 순산소 가스분위기에서 산화거동을 조사하였다. 질화규소 세라믹스 표면에 형성된 산화층의 두께는 산화 시간과 온도에 따라 증가되었으며, $1300^{circ}C$에서 100시간 산화시킨 5A5Y5Si와 5A5Y10Si 시편의 산화층 두께는 각각 10$\mu$m와 20$\mu$m이었다. 5A5YSi와 5A5Y10Si 시편의 산화는 각각 215kJ/mol과 104kJ/mol의 활성화 에너지를 갖고 포물선적 거동을 나타내었다. $1300^{circ}C$에서 500시간 산화시킨 후, 5A5Y5Si 시편에 대해 꺾임 강도를 측정한 결과, 초기의 약 500MPa값을 유지하고 있었으며, 반면 5A5Y10Si의 경우에는 초기의 값에서 약 100MPa의 강도저하를 나타내고 있었다.

상압소결 탄화규소 소결체의 마찰마모특성 (Tribological Properties of Pressureless-sinteed Silicon Carbide)

  • 백용혁;최웅;서영현;박용갑
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권7호
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    • pp.721-725
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    • 1998
  • 본 연구에서는 Boron과 Carbon black이 소결조재로 첨가된 탄화규소 분말을 $1950^{\circ}C$에서 상압소결 방법으로 시편을 제조하고 꺽임강도, 파괴인성, 비마모량을 측정하고 파단면 및 마찰마모면의 미세구조를 SEM으로 관찰하여 마찰마모특성과 미세구조와의 관계를 규명하였다. 또한 마모상대재료로서 SiC pin과 $Al_{2}O_{3}$ pin을 사용하였을때 마찰마모특성과 미세구조와의 관계도 비교 검토하였으며 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. SiC pin을 사용한 경우 소결시편의 비마모량은 $Al_{2}O_{3}$ pin을 사용한 경우보다 많았으나, 가압하중이 증가하면 $Al_{2}O_{3}$ pin을 사용한 경우가 SiC pin을 사용한 경우보다 비마모량의 증가율이 6.5배로 되었다. 2. Pin의 비마모량은 SiC pin의 경우가 $Al_{2}O_{3}$의 경우보다 많았으나 가압하중이 증가하면 $Al_{2}O_{3}$ pin의 경우가 SiC pin의 경우보다 비마모향의 증가율이 약4배로 되었다. 3. 마모상대재료의 마찰계수가 작은 경우에는 마모면의 미세구조가 평활하면서 crack이 나타나지 않았으나, 마찰계수가 큰 경우에는 마모면이 평활치 못하고 crack의 전파현상이 크게 나타났다. 4. 사용된 Pin의 마찰계수가 큰 경우에는 고상소결한 SiC 시편도 액상소결한 시편과 마찰마모 특성이 유사하였다.

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오이 과실 표면의 과분 발생 특성 (Characterization of Blooming on Cucumber Fruits)

  • 최응규;김병수;황운순;도한우;서동환
    • 원예과학기술지
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    • 제31권2호
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    • pp.159-164
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    • 2013
  • 오이는 품종에 따라 과실표면에 과분(果紛) 소위 'bloom'이 발생하는데 이는 외관상 과실의 품질을 저하시키는 요인이 된다. 본 시험은 주관 종자회사에서 수집하여 육성하여 오던 bloomless 대목용 호박재료를 이용하여 'bloomless 대목'을 개발하고 앞으로 새로운 대목육성에 필요한 기초자료를 얻고자 하였다. Bloomless 오이의 표면은 분비모(glandular trichome, 分泌毛)의 낭상세포(bladder cell)가 형성되어 존재하고 있음을 관찰할 수 있었으며, 낭상세포 외의 과실표면은 상각피[epicuticular waxes(EW)] 층이 형성되어 있는 것을 관찰할 수 있었다. 또한 오이의 EW 형태는 둥근 모양의 결정체가 겹쳐진 형태이었으며, 그물 모양의 능선과 능선 안쪽에 고르게 분포하는 것으로 관찰되었다. 이와 다르게 bloom 현상이 나타나는 오이의 과실표면은 낭상세포의 형태가 크게 부풀어 있거나 터져 있었으며, 또한 손상된 낭상세포 주변으로 bloomless 오이에서 관찰되지 않았던 많은 입자들을 볼 수 있었다. Bloom과 bloomless 과실표면의 색도를 조사한 결과 bloom이 발생한 과실과 발생하지 않은 과실의 색도 'a'와 'b' 값의 유의성은 없었고, 'L' 값은 bloom이 발생한 과실에서 높았다. 오이 과실의 규소 함량은 bloomless 대목에 접목한 오이 과실이 일반대목에 접목한 것에 비하여 현저히 낮았다.