세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD $Si_3N_4$ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석
(A comparative investigation of pH-sensing properties of LPCVD $Si_3N_4$ sensors configured in three different structures)
-
- 대한전기학회:학술대회논문집
- /
- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- pp.1694-1696
- /
- 2004