• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.141.2-141.2
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• 2014

크라이오 펌프는 반도체 임플란타 공정, OLED 분야, 신소재 개발, 표면분석 및 처리, 의료분야, 입자가속기, 핵융합 등 다양한 진공분야에 응용되는 고진공용 극저온펌프이다. 특히 향후 디스플레이 분야에서 OLED가 시장을 주도할 것으로 예상되는 가운데, 점점 대형화 되어가는 OLED 장비에 가장 적합한 고진공 펌프로써 크라이오 펌프가 주목을 받고 있다. OLED 디스플레이 제조공정 중에서도 화소형성 공정을 위한 챔버는 특별히 진동특성에 민감하다. 유기물 증착공정을 진행하기 위해서 글라스 전단에 쉐도우 마스크를 설치하는데, 글라스의 크기가 증가하면서 초래된 처짐문제 그리고 장비의 진동특성과 글라스와 마스크 사이의 간섭문제 등이 제품의 수율에 큰 영향을 미치면서 향수 시급히 해결해야 할 필수 과제로 주목 받고 있다. 그러나 대부분의 상용 크리이오 펌프는 G-M형식의 냉동기를 장착하기 때문에 그 원리 상 제조사에 관계없이 일반적으로 큰 진동특성을 가진다. 이에 GVT에서는 OLED 공정에 적합한 보다 정숙하고 진동특성이 개선된 550 mm구경의 크라이오 펌프 개발을 진행하였다. 그 결과 펌프의 성능은 동종 경쟁모델과 동등 이상의 수준을 유지하고 진동성분은 동종모델 대비 50%이상 개선된 펌프를 개발할 수 있었다. 그리고 시장에 보다 좋은 제품을 출시하기 위해서 현재 성능과 진동특성을 계속해서 튜닝 중에 있다. 진동개선은 크게 2가지 방향으로 진행되었는데, 첫째는 펌프 측면에서 진행한 것이고 둘째는 냉동기 측면에서 진행한 것이다. 후자는 현재 대외비로 개발을 진행 중에 있으며 본 발표에서는 전자에 관한 것으로 펌프 측면에서 진동특성을 개선한 부분이다. 결국 크라이오 펌프의 진동은 진동원인 냉동기에서 발생하는 것이므로 냉동기와 펌프를 구조적으로 고립시키는 방법을 사용하였다. 즉, 냉동기와 펌프 사이에 댐핑 시스템 플랜지를 장착하여 진동원인 냉동기로부터 진동성분이 펌프 측으로 전달되는 것을 차단한 것이 본 기술의 핵심이다. GVT에서는 당 기술로 국내특허등록을 완료하였다(특허-10-1289394_진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오 펌프).

• 한국정보통신설비학회:학술대회논문집
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• 2003.08a
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• pp.180-182
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• 2003

200m 이하의 전송거리를 가지며 송신기와 수신기가 일체화된 단거리 무선 광통신용 트랜시버를 제작하고, 그 성능을 평가하였다. 이러한 단거리 무선 광통신 트랜시버는 가격이 저렴한 저출력의 레이저를 광원으로 사용할 수 있고, 능동 정렬이 필요 없을 뿐만 아니라, 작은 구경의 렌즈를 사용할 수 있기 때문에 크기가 작고, 가벼우며, 설치가 쉽다는 장점을 가진다. 특히 패키징 개념을 사용하여 송신기와 수신기의 광축을 미리 수평으로 정렬한 후 영구고정함으로서 기계공작이 최소화되고, 송신기 부분의 정렬만으로 수신기가 정렬되므로 링크의 정렬이 매우 간단하며, 저렴한 무선 광통신 시스템의 구성이 가능하다.

• Journal of the KSME
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• v.29 no.4
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• pp.414-425
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• 1989

본 연구를 통하여 원하는 감도와 부착 공진 주파수가 주어질 때 실제로 이러한 성능을 갖는 압 축식 압전형의 가속도계를 이론적으로 설계하여 제작할 수 있었으며 보정 실험을 통하여 실험 가속도계는 실제 설계값에 가까운 성능을 나타내었다. 설계, 제작된 실험 가속도계의 특성 실 험을 통하여 다음과 같은 결론을 얻었다. (1) 가속도계의 감도는 압전 소자의 압전 상수가 일 정할 때 관성 질량에 따라서만 지배되는 것이 아니라 압전 소자의 크기에 따라서도 달라진다. (2) 높은 감도의 가속도계를 설계하기 위해서는 단일 압축식의 설계보다는 이중 압축식의 설계를 행하는 것이 바람직하며 감도가 큰 가속도계 일수록 0.1g 이하의 낮은 가진 레벨에서의 특성도 아주 좋다. (3) 높은 주파수에서의 특성이 좋은 가속도계를 설계하기 위하여서는 단일 압축식 으로 설계하는 것이 좋으며 압전 소자의 두께는 얇은 것이 좋다. (4) 압전 소자와 관성 질량의 접착시에 전도성 접착제를 사용하지 않아도 기포를 제거한 양호한 에폭시계통의 접착제를 사용 하여 접착층의 두께를 최대한 얇게 하면 설계값에 가까운 감도를 가진 가속도계를 제작할 수가 있다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1993.04a
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• pp.123-127
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• 1993

소음방사의 이해 및 효과적인 소음제어를 위해서는 소음원의 특성, 음장의 공간상 방사 특성 등을 아는 것이 중요하며, 이를 위해 많은 연구가 진행되 어 왔다. 특히 다수의 마이크로폰 어레이를 이용한 음향 홀로그래피 방법에 의한 실험적 음장 예측 방법이 소개되었고 연구가 진행됨에 따라 많은 실용 가능성을 보여 주었다. 음향 홀로그래피 방법에는 측정상 제한이 필연적으로 존재할 수밖에 없는데, 이에 따른 오차가 존재하며 결국 예측음장의 신뢰도 를 떨어뜨리는 요인이 된다. 본 연구의 목적은 측정조건에 따른 오차의 요인 을 고찰하고 이를 정량적으로 표현함으로써 음향 홀로그래피 방법의 적용에 도움을 주고자 한다. 평면 음향 홀로그래피에 나타나는 오차는 둘러 싸기 오 차(wraparound error), 앨리애싱(aliasing), 창문영향(window effect)으로 나 눌 수 있는데, 오차는 측정구경의 크기와 마이크로폰 사이의 간격등의 측정 조건 뿐만 아니라 음원의 특성, 홀로그램 평면의 위치 등에 직접적인 영향을 받게 된다. 본 연구에서는 오차해석을 위한 기본 연구로써 점음원(monopole) 과 쌍극자(dipole)음장의 파수 스펙트럼을 해석적으로 구하고 이를 기본으로 평면 음향 홀로그래피 적용시 존재하는 앨리애싱에 대해 고찰하고 전산기 모의 실험 (computer simulation)을 통해 오차를 최소화하는 측정조건을 제 시하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.225-225
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• 2012

국내에서 크라이오펌프를 생산한 지 여러해가 지나 냉동기 및 활성탄 어레이를 비롯한 대부분의 핵심 부품들을 가공하고 펌프를 조립하는 것을 자체적으로 해결하고 있지만 지금까지 펌프의 구조설계는 외국 제휴 회사에서 전수받은 것을 큰 수정없이 고수해 온 것이 현실이다. 따라서 펌프의 성능에 관한 별도의 시험과정 없이도 제공받은 성능값을 그대로 제시하는 것으로 충분했다. GVT(주)는 국내의 선도적인 크라이오펌프 전문생산 업체로서 독자적인 냉동기와 어레이 및 배플 설계에 기초한 신규 모델들을 정립하고 펌프를 생산하기 시작하였으며 다양한 크기의 표준용기를 마련하여 전 모델에 대해서 엄격한 시험검사를 시행하고 있다. 본 발표에서는 특별히 구경 200 mm UHV형 크라이오 펌프의 배기속도, 배기용량, cross-over 등 주요 배기성능 지표들을 측정한 결과 및 몬테카를로 계산을 통한 예측치와 비교한 결과를 소개한다.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.21 no.5
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• pp.27-32
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• 1984

In SAW filters with a small aperture, diffraction effect is not negligible and degrades the frequency response near the trap. A computer simulation program for diffraction analysis is developed, and an effective diffraction compensation method is proposed to compensate the diffraction effect. A TV-lF SAW filter was designed with the diffraction taken account by the proposed method, which satisfies given frequency specifications.

• Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
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• 2011.05a
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• pp.7-10
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• 2011

In this study, evaluation system of impact resistance performance is proposed. Compressive strength of concrete is 40, 60 and 80MPa. It evaluate impact resistance performance to use projectile 6, 7 and 8mm size. As a result, safety performance is more higher when the compressive strength is increased in. Compared with Hughes's formula, evaluation system of impact resistance performance is appropriated.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2000.11a
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• pp.429-432
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• 2000

본 논문의 정수기는 영동산 일라이트를 필터의 주된 재료로 사용하였다. 구조는 여과필터를 교체하여 사용할 수 있도록 된 정수기의 필터 케이스 및 여과 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 필터 케이스가 분리, 결합이 간편한 본체와 마개로 구성되어 있다. 이 본체는 1차 여과부와 2차 여과부로 분리되어 물이 1차 여과부의 상부를 통해 인입되어 2차 여과부의 상부로 연결되도록 되어 있어 동일한 크기 내에서 여과구간이 2배로 길어져 여과 효율이 우수한 동시에 물인입구와 물배출구가 동일한 방향에 위치하여 다수 개의 필터 케이스를 연결할 때 필터 케이스의 간격을 좁힐 수 있어 필터 케이스의 설치면적이 좁다. 본체와 마개의 체결방식은 볼트 체결방식으로 되어 있으며, 마개는 플라스틱 재질이어서 본체에 마개를 단단히 체결하면 누수가 방지되도록 되어있다. 즉, 정수기의 필터하우징 성능과 영동산 일라이트가 가지고 있는 기능성을 이용한 필터를 사용함으로써 정수기에서 요구되어지는 정수능력을 가진 정수기를 개발 보고한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.929-930
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• 2007

박막재료 및 반도체의 면저항 측정에는 주로 Four Point Probe(FPP) 원리를 이용한 측정기를 사용하고 있다. FPP에 의한 측정방식은 single 및 dual configuration method가 있으며, dual configuration은 single configuration에 비해 probe spacing 변화나 시료의 가장자리 효과 등에서 측정편차가 적은 장점이 있어서 dual configuration 기술을 사용하는 추세이다. 개발된 휴대용 면저항 측정기는 dual configuration원리를 적용하여 제작되었으며, 박막재료의 면저항을 누구나 쉽고 정확하게 측정할 수 있도록 설계되었다. 또한 시료의 크기가 핀 간격에 비해 5배 이상 크면 보정계수를 거의 무시할 수 있는 장점이 있어 작은 시료라도 정확한 면저항을 측정할 수 있다. 이측정기의 측정 불확도는 지시값의 1 % 이하이고, 측정범위는 (2$\sim$2000)$\Omega/sq$이다.

• Korean Journal of Medicinal Crop Science
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• v.4 no.2
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• pp.139-144
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• 1996

This research was carried out to clarify effects of cultural condition on the content of Alisol B-monoacetate, whose function is antihypercolesterol in blood, and yield in Alisma Rhizomes. When the corm part of Alisma Rhizomes was extracted by shaking extraction at $25^{\circ}C$ and reflux extraction at $40^{\circ}C$ to $100^{\circ}C$ four times, the total content of Alisol B-monoacetate was 0. 402%, 0. 425% and 0. 402% at $25^{\circ}C$, $40^{\circ}C$ and $60^{\circ}C$ respectively. The recovery rate was 97% by three times extraction at $25^{\circ}C$, and 96% and 97% by three times extraction at $40^{\circ}C$ and $60^{\circ}C$ respectively. When the corm was harvested on Oct. 30, the content of Alisol B-monoacetate was 0. 46% but it was increased to 0. 71% on Nov. 30. In the case of Oct. 30, the corms of $S(4{\sim}14g\; FW)$ size were determined to contain the highest level of Alisol B-monoacetate (0. 53%), and the content was decreased as the corn size was increased. This tendency was also adopted on Nov. 30. On the other hand, the content of crude protein and starch was changed rarely by the period of harvest. When the planting depth was $0{\sim}1cm$, the yield was the highest as 206kg/10a, and the yield was decreased as the planting depth was deep. The variation of the content of Alisol B-monoacetate was small as 0. 33% to 0. 39% by planting depth. From the above results it could be concluded that the optimum time for harvest of Alisma Rhizomes is Nov. 30 and the optimum planting depth is $0{\sim}1cm$.