• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.204-204
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• 2010

본 연구에서는 Glass 기판 위에 우수한 광 투과도를 갖는 ZnO 기반의 Thin Film Transistor (TFT)를 제작하였으며, 이에 대한 전기적 및 광학적 특성을 분석하였다. 소자 구조의 제작은 Maskless Aligner를 이용한 Optical lithograph법을 이용하였다. 채널층은 ZnO로 하였고 Source/Drain 영역은 GaZnO로 하여 전체구조가 ZnO 기반의 homogeneity를 유지하게 하였다. 이때 Gate 절연막은 Bi1.5Zn1Nb1.5O7와 SiO2 두가지 종류로 하여 각각의 특성을 비교하였다. 본연구에서 TFT구조의 각 층은 모두 r. f. 마그네트론 스퍼터법으로 증착하였다. 제작된 TFT들은 채널층 및 절연막 형성 등에 관여된 세부적 실험변수의 변화에 관계없이 약 75% 이상의 우수한 광투과도 특성을 보였다. 전기적 특성 평가에서, 제작된 TFT들은 전반적으로 비교적 낮은 문턱전압과 높은 이동도를 보였다. 하지만, 트랜지스터의 전기적 전송 특성의 주요 인자들인 채널-이동도, 스위칭, 누설 및 이력 등은 ZnO 채널층 혹은 Bi1.5Zn1Nb1.5O7 절연막 형성 시 주입되는 O2 가스의 분압에 의존하는 것이 관측되었다. 이를 통하여 트랜지스터의 각 세부 영역의 구조 및 형성 조건이 트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향과 상관관계에 대하여 논의한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.201-201
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• 2010

본 연구에서는 RF magnetron co-sputtering을 이용하여 Zn-O-Ga 구성비에 따른 광투과도 및 전기적 특성을 연구하였다. 타겟으로 ZnO 및 $Ga_2O_3$ 소결체를 이용하였으며, 두 개의 RF magnetron sputter의 RF power를 동시에 조절하여 타겟의 구성비를 조절하였으며, 기판과 타겟의 거리를 25 mm~75 mm 범위 내에 조절하여 거리에 따른 Zn-O-Ga 박막의 광투과 특성 및 전기적 특성을 관찰하였다. $Ga_2O_3$ 소결체의 magnetron sputter의 RF power를 30 watt에서 100 watt로 증가함에 따라 박막내의 Ga 성분은 0.5%에서 7.4%로 증가하였으며 Zn 성분은 46.3%에서 40.9%로 O성분은 53.2%에서 51.6%로 각각 줄어들었다. 이에 따라 ZnO의 우선방위 (002) 결정각($2{\theta}$)은 34.24에서 33.87로 줄어들었으며, 이동도 $5.5\;cm^2/Vs$ 에서 $1.99\;cm^2/Vs$ 정도로 감소하는 경향을 보였다. 광투과도는 가시광선 영역에서 85% 이상 보였으며, carrier 밀도는 $0.5\;{\sim}\;4.0^*10^{20}/cm^3$로 증가함에 따라 이동도는 $1.5{\sim}5.5\;cm^2/Vs$로 투명전도막의 특성을 보였다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.46 no.4
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• pp.70-76
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• 2009

We proposed the device to control a computer mouse with only head movements and eye blinks so that disabilities by car or other accidents can use a computer. The mouse position were estimated from a gyro-sensor which can measure head movements, and the mouse events such as click/double click were from opto sensors which can detect the eyes flicker, respectively. The sensor was mounted on the goggle in order not to disturb the visual field. There was no difference in movement speed between ours and a general mouse, but it required 3$\sim$4 more times in the result of the experiment to evaluate spatial movements and events detection of the proposed mouse because of the low accuracy. We could eliminate cumbersome work to periodically remove the accumulated error and intuitively control the mouse using non-linear relative point method with dead zones. Optical sensors are used in the event detection circuitry designed to remove the influence of the ambient light changes, therefore it was not affected in the change of external light source.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.73-73
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• 2011

Zn-Sn-O (ZTO) 다성분계 산화물 박막은 일반적인 rf 스퍼터법으로 성막할 경우 비정질상으로 성장하여 결정질 산화물 박막에 비해 우수한 표면평탄도와 식각 단면을 제공한다. 비정질임에도 불구하고 넓은 자유전하 농도 범위에서 높은 Hall 이동도를 제공할 수 있는 것으로 보고되어 있어 비정질 산화물의 투명도전성 박막에 대한 관심이 높아지고 있다. 투명 TFT에 적용되는 또 다른 비정질계 산화물 박막인 In-Zn-O (IZO) 박막에 비해 ZTO 박막은 상대적으로 제한된 연구가 이루어졌으나, In의 함유되지 않아 경제적으로 유리하고, 특히 SnO2의 우수한 기계적 및 화학적 특성과 ZnO의 내환원성 특성을 잠재하고 있는 유망한 투명도전성 박막재료이다. 본 연구에서는 Zn-Sn-O계 박막을 통상의 rf 스퍼터법으로 성막하여 조성, 증착 온도, 그리고 열처리 온도에 따른 ZTO 박막의 구조적인 특성 변화와 이에 따른 전기적 및 광학적 특성 변화에 대하여 고찰하였다. ZnO 타겟과 SnO2 타겟을 사용하여 co-sputtering하여 ZnO의 부피 분률을 13~59 mol%까지 변화되도록 조절하여 증착하였다. 증착 온도는 상온, 150 및 $300^{\circ}C$로, 그리고 성막가스 중의 산소분률은 0%, 0.5% 및 1% 로 변화시켰다. 40 mol% 이상의 ZnO를 함유한 ZTO 박막은 가시광 영역에서의 평균 광투과도는 좋으나 전기적인 특성이 열악하였으며, ZnO 분율이 낮은 ZTO 박막은 10-2~10-3 ohm-cm 정도의 비교적 낮은 비저항을 나타내었으나 광투과도 면에서 떨어지는 단점을 보였다. 평균 광투과도는 증착 온도가 증가할수록, 그리고 산소의 양이 증가할수록 향상 되었다. 자유전하농도가 1017~1020 cm-3 정도의 넓은 범위에서 10 cm2/Vs 을 넘는 홀 이동도를 가지는 ZTO 박막의 증착이 가능함을 확인하였으며, 이로부터 투명 TFT 소자로 적용이 가능성이 있음을 보였다. EPMA를 이용한 정량분석 및 XRD를 이용한 구조분석과 연계한 ZTO 박막의 물성 및 최적 조건에 대한 논의가 이루어질 것이다.

• Journal of Satellite, Information and Communications
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• v.9 no.2
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• pp.85-90
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• 2014

In this paper, we propose a novel UE(User Equipment) position tracking algorithm of visible light signals, and analyze BER performance when optical beamforming scheme is applied in VLC(Visible Light Communications) system. The optical beamforming scheme as an interference mitigation method provides good optical channel conditions between UE(Rx) and LED light(Tx), and lead to better BER performance because UE is able to get a better RSSI(Received Signal strength indication) value. For the system BER, the proposed UE position tracking method for optical beamforming transmission demonstrates the performance enhancement compared to a system not applied the optical beamforming transmission scheme, and up to about 5~6dB SNR performance gain is achieved. The results of the paper can be applied to design of various VLC and LBS applications for ubiquitous home network systems.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.14 no.3
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• pp.43-49
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• 2014

This paper presents a theoretical study of transmission performance for an optical duobinary transmitter employed a Mach-Zehnder modulator and a electrical low pass filter at 40Gbps optical communication links. It depends on the bandwidth of the low pass filter in the transmitter, the optical filter and the filter in the receiver. Also, each filter affected to the various parts of the optical power spectrum. By optimizing the bandwidth of each filter, we could control the side robes and the ripples and improve the dispersion tolerance of the transmission system.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2010.05a
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• pp.53.2-53.2
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• 2010

지금까지 능동 구동 디스플레이의 TFT backplane에 사용하고 있는 채널 물질로는 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)과 저온 폴리실리콘(low temperature poly-Si)이 대표적이다. 수소화된 비정질 실리콘은 TFT-LCD 제조에 주로 사용되는 물질로 제조 공정이 비교적 간단하고 안정적이며, 생산 비용이 낮고, 소자 간 특성이 균일하여 대면적 디스플레이 제조에 유리하다. 그러나 a-Si:H TFT의 이동도(mobility)가 1 cm2/Vs이하로 낮아 Full HD 이상의 대화면, 고해상도, 고속 동작을 요구하는 UD(ultra definition)급 디스플레이를 개발하는데 있어 한계 상황에 다다르고 있다. 또한 광 누설 전류(photo leakage current)의 발생을 억제하기 위해서 화소의 개구율(aperture ratio)을 감소시켜야하므로 패널의 투과율이 저하되고, 게이트 전극에 지속적으로 바이어스를 인가 시 TFT의 문턱전압(threshold voltage)이 열화되는 문제점을 가지고 있다. 문제점을 극복하기 위한 대안으로 근래 투명 산화물 반도체(transparent oxide semiconductor)가 많은 관심을 얻고 있다. 투명 산화물 반도체는 3 eV 이상의 높은 밴드갭(band-gap)을 가지고 있어 광 흡수도가 낮아 투명하고, 광 누설 전류의 영향이 작아 화소 설계시 유리하다. 최근 다양한 조성의 산화물 반도체들이 TFT 채널 층으로의 적용을 목적으로 활발하게 연구되고 있으며 ZnO, SnO2, In2O3, IGO(indium-gallium oxide), a-ZTO(amorphous zinc-tin-oxide), a-IZO (amorphous indium-zinc oxide), a-IGZO(amorphous indium-galliumzinc oxide) 등이 그 예이다. 이들은 상온 또는 $200^{\circ}C$ 이하의 낮은 온도에서 PLD(pulsed laser deposition)나 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리적 기상 증착법(physical vapor deposition)으로 손쉽게 증착이 가능하다. 특히 이중에서도 a-IGZO는 비정질임에도 불구하고 이동도가 $10\;cm2/V{\cdot}s$ 정도로 a-Si:H에 비해 월등히 높은 이동도를 나타낸다. 이와 같이 a-IGZO는 비정질이 가지는 균일한 특성과 양호한 이동도로 인하여 대화면, 고속, 고화질의 평판 디스플레이용 TFT 제작에 적합하고, 뿐만 아니라 공정 온도가 낮은 장점으로 인해 플렉시블 디스플레이(flexible display)의 backplane 소재로서도 연구되고 있다. 본 실험에서는 rf sputtering을 이용하여 증착한 a-IGZO 박막에 대하여 열처리 조건 변화에 따른 a-IGZO 박막들의 광학적, 전기적 특성변화를 살펴보았고, 이와 더불어 a-IGZO 박막을 TFT에 적용하여 소자의 특성을 분석함으로써, 열처리에 따른 Transfer Curve에서의 우리가 요구하는 Threshold Voltage(Vth)의 변화를 관찰하였다.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.39B no.11
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• pp.755-762
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• 2014

In recent year, along with the rapid development of LED technology, many applications using LEDs with Visible Light Communication(VLC) have been researched. Since it is easy to provide LOS communication environment along with cheap deployment cost, the indoor positioning system based on VLC has been actively studied. In this paper, we propose an accurate indoor positioning algorithm using a stereo image sensor and white-light LEDs with the visible light communication. Indoor white-light LEDs are located at the ceiling of a room and broadcast their position information by VLC technology. Mobile receiver with stereo image sensor receives LED position information by VLC and estimates its position and angle information. Simulation results are given to show the efficiency of proposed indoor positioning algorithm.

• Polymer(Korea)
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• v.26 no.1
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• pp.18-27
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• 2002

Poly(ο-hydroxyamide)s as polybenzoxazoles precursors were synthesized by polycondensation from 2,2'-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane and various bis-acids. And the polymers were modified to acid-sensitive polyamides by introducing tetrahydropyran in order to impart photosensitivity. A study of optical transmittance at 365 nm, according to the chemical structure of bis-acid, revealed that the polymer derived from 4,4'-oxydibenzoic acid showed better optical transparency than those from other bis-acids. This tendency of optical transmittance could be explained by formation of charge transfer complex. In case of the polymer derived from 4,4'-oxydibenzoic acid, the electron accepting characteristic of bis-acid is reduced by introduction of electron donating group, -O-. Thus, optical transmittance increased due to the diminished formation of intramolecular charge transfer complex. In addition, the optical transmittance increased with increasing the THP content in the polymer. This is attributed to the reduced intermolecular interaction by the loosening of the packing density of the polymer chain.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.8 no.3
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• pp.189-193
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• 1997

Aspheric pick-up lenses are increasingly used in consumer products such as computer and multimedia, as their mass production has become possible owing to the injection molding process. However still much work needs to be done for more effective manufacture of aspheric lenses, one area of which is the in-line inspection of produced lenses. In this paper, we present a lateral-shearing interferometer that has specially been designed to have a high immunity to external vibration and atmospheric disturbance. The interferometer comprises four prisms. They are directly attached to each other using an immersion oil so that relative sliding motions between the prisms are allowed. Their relative displacement can readily generate necessary lateral-shearing and phase-shifting to determine the wavefront of the beam collimated by the lens under inspection. A special phase-measuring algorithm of arbitrary-bucket is adopted to compensate the phase-shifting error caused by the thickness reduction in the immersion oil. Zernike polynomial fitting has done for determinating quantitative aberration of aspheric pick-up lenses. The interferometer built in this work is robust to external mechanical vibration and atmospheric disturbance so that experimental results show that it has a repeatability of less than λ/100.