• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.17 no.3
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• pp.285-289
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• 2006

A novel alignment-free micro-optic MZI filter has been demonstrated. The filter is composed of two fiber-pigtailed collimators and a beam-splittingplate with a periodically etched stripe pattern. We fabricated the plate through a standard lithographic formulation process by using a pyrex substrate glass with SU-8 resist coating on its one of the surfaces. The maximum insertion loss of the implemented filter was less than 2 dB over 1000 nm to 1600 nm and the extinction ratio was larger than 33 dB. The measured PDL within the 3-dB pass band of the filter was less than 0.15dB and the maximum extinction ratio variation was less than 2 dB even when the worst alignment error occured.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.28 no.1
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• pp.33-38
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• 2017

The universality of the quasi-linear relation between the order parameter S and the normalized birefringence ${\Delta}n_{rel}$, $S=(1+a){\Delta}n_{rel}-a{\Delta}n^2_{rel}$ is confirmed. It is verified that the refractive index of liquid crystals distributed with regular polyhedral symmetry is isotropic and it is given as $\frac{1}{n^2_{av}}=\frac{1}{3}\(\frac{1}{n^2_e}+\frac{2}{n^2_o}\){\cdot}S$ and ${\Delta}n_{rel}$ of angular weighted liquid crystals that are initially distributed with regular polyhedral symmetry, are numerically calculated. Also ${\Delta}n_{rel}$ and S of liquid crystals that are conically distributed, keeping the rotational symmetry about z-axis are calculated as the apex angle of the cone is varied. Based on these calculated results, it is confirmed that the quasi-linear relation between S and ${\Delta}n_{rel}$ is universal, independent of the details of the distribution function.

• Korean Journal of Crystallography
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• v.17 no.1
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• pp.14-18
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• 2006

MOCVD 공정방법에 의해 수직정렬된 ZnO 나노선을 합성하고 공정조건 제어에 의해 합성되는 나노선의 물리적, 광학적 특성이 어떻게 변화하는지를 고찰하고자 하였다. 온도 및 산소분압제어 등의 공전변수 제어를 통하여 ZnO 나노 구조체는 나노선, 나노로드 뿐만 아니라 나노바늘 (nano-needle) 등 다양한 구조로 변화되었으며 그 직경 및 길이도 제어가 가능하였다. 전체적으로 양호한 특성의 wurzite 구조를 나타내었으며 기판에 수직인 방향으로 [0001] 방향으로 성장하였다. 광학특성에서는 나노선 직경이 작아질수록 주방출 피크의 천이현상이 관찰되었다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.11 no.1
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• pp.150-156
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• 1994

To meet the process requirement of semiconductor device manufacturing, it is necessary to improve the alignment accuracy in exposure equipments. We developed the excimer laser stepper and will describe the methodology for alignment measurement and experimental results. Our wafer alignment system consists of off-axis optics, TTL(Through The Lens) optics and high precision stage. Off-axis alignment utilizes the image processing and /or diffraction from thealign marks of off-centered chip area. On the other hand, TTL alignment can be used for the die-by-die alignment using dual beam interferometry. When only off-axis alignment was used, the experimental alignment error(lml+3 .sigma. ) was 0.26-0.29 .mu. m, and will be reduced down to 0.15 .mu. m by adding TTL alignment.

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.37 no.2
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• pp.164.2-164.2
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• 2012

인공위성레이저추적(SLR, Satellite Laser Ranging) 시스템은 인공위성까지 레이저를 발사하여 되돌아오는 시간간격을 측정함으로서 위성까지의 거리를 측정하는 시스템으로 현존하는 인공위성 궤도결정 시스템으로는 가장 정밀하다. 한국천문연구원은 우주추적 및 감시의 필요성이 증가함에 따라 2008년부터 40cm급 이동형 인공위성레이저추적 시스템을 개발을 시작하였고, 현재 개발을 완료하여 시험운영 중에 있다. 시스템 개발 과정 중에 발생할 수 있는 문제점들을 최소화하기 위해, 설계 단계에서 부품을 포함한 광기계 구조물에 대한 구조해석과, 실험실 프로토타입 구성 등을 실시하였다. 제작된 각 서브시스템별 조립 및 평가는 한국천문연구원이 보유한 광학계 조립 및 평가 시설을 이용하였다. 개발된 이동형 레이저 추적 시스템의 광학부는 추적마운트에 장착되었고, 현장 시험관측을 통해 수신광학계 및 광신호유도계의 정렬 및 제어항목 교정 등을 실시하였으며, 성공적으로 시험 영상 관측을 완료하였다. 이 발표에서는 이동형 레이저 추적 시스템 광학계의 개발 과정과 그 결과에 대해 보고한다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.12 no.5
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• pp.362-370
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• 2001

We prove that 3-D profile mapping using white light interferometry has systematic errors caused by aberrations of the optimal system. The tilt of an object invokes an offset between the object and the reference ray, which eventually makes the aberration cancel incompletely. The fringe peak of a white light interferogram is mainly affected by the aberration effect while the envelope peak remains stable. By the difference between the two peaks, it is easily confirmed how much the error existed in the fringe peak. Experimental results prove that the error caused by aberration is varied by object tilt, microscope NA, optics alignment within the range of $\pm$50nm.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.593-593
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• 2013

나노패턴 제작은 차세대 초고밀도 반도체 메모리기술과 바이오칩 등 나노기술의 핵심 분야로, 나노패턴 구조를 나노-바이오 전자소자 및 반도체 산업분야에 적용할 경우 시장 선점 및 막대한 부가가치 창출 등을 통해 국가경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 기대된다. 하지만 대면적 패턴형성이 어려워 뿐만 아니라 $300^{\circ}$ 이상의 열처리 과정에 의한 생산성이 떨어진다. 또한 나노구조가 잘 이루어진 차원, 표면상태, 결정성, 화학적 조성을 갖도록 하는 합성 및 제조상의 어려움 때문이다. 이에 반해 자기정렬 ITO Dot 형성은 상기 기술한 1차원 나노구조형성을 하는 것에 비하여, 나노구조를 제작하기 위하여 공정이 단순하며, 비용 및 생산성 측면에서 유리 할 것으로 생각된다. 이에 본 연구는 E-beam을 이용하여 형성된 ITO 박막에 HCl solution을 이용하여 자기정렬 ITO Dot 형성 후 n-AlGaInP Vertical LED[VLED] 표면에 nano pillar의 두께에 각기 다르게 형성하였으며, 최종적으로 제작된 VLED의 전기적, 광학적 특성을 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.206-206
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• 2010

1차원 나노 소재 중 ZnO 나노선은 우수한 전기적, 광학적 특성으로 최근 센서, 디스플레이등 다양한 정보전자 소자에 활용 가능성이 높아지고 있다. 현재 보고된 ZnO 나노선 소자는 주로 단일선이나 랜덤 네트워크 형태로 제작되어 소자의 공정성, 재현성 및 균일성 확보가 매우 중요한 이슈가 된다. 본 연구에서는 화학기상증착법으로 성장한 ZnO 나노선을 슬라이딩 트랜스퍼 공정을 통하여 원하는 기판에 정렬된 형태로 전이하여 전계방출소자 (field effect transistor) 어레이를 제작하고 그 특성을 분석하였다. 또한, p-형으로 도핑된 Si 기판을 패터닝하여 정렬된 ZnO 나노선과 pn-정션 소자를 제작하여 정류특성과 electroluminescence 특성을 분석, 설명하였다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.43 no.3
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• pp.265-271
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• 2015

In this study, optical design for small satellite camera equipped with online optical compensation movements has been conducted. Satellite camera equipped with compensation movements at M2 mirror and focal plane can guarantee the MTF performance through the focal plane image stabilization and the on-orbit optical alignment. The designed optical system is schmidt-cassegrain type that has M1 mirror of a diameter 200mm, GSD 3.8m at an altitude of 700km, and 50 % MTF performance. The performance of the designed optical system has been analyzed through the method of ray aberration curve, spot diagram, and MTF. It has been found by the optical performance analysis that the designed optical system satisfies the optical requirements of satellite camera equipped with online optical compensation movements.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
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• v.24 no.1
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• pp.79-90
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• 2007

The AmonRa instrument, the primary payload of the international EARTHSHINE mission, is designed for measurement of deep space albedo from L1 halo orbit. We report the optical design, tolerance analysis and the optical performance of the breadborad AmonRa imaging channel instrument optimized for the mission science requirements. In particular, an advanced wavefront feedback process control technique was used for the instrumentation process including part fabrication, system alignment and integration. The measured performances for the complete breadboard system are the RMS 0.091 wave(test wavelength: 632.8 nm) in wavefront error, the ensquared energy of 61.7%($in\;14\;{\mu}m$) and the MTF of 35.3%(Nyquist frequency: $35.7\;mm^{-1}$) at the center field. These resulting optical system performances prove that the breadboard AmonRa instrument, as built, satisfies the science requirements of the EARTHSHINE mission.