LP-MOCVD법으로 합성된 ZnO 나노선의 구조 및 광학적 특성

Structural and Optical Properties of ZnO Nanowires Synthesized by LP-MOCVD Process

  • 최영진 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) ;
  • 박재환 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) ;
  • 박재관 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터)
  • Choi, Young-Jin (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Park, Jae-Hwan (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Park, Jae-Gwan (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology)
  • 발행 : 2006.06.30

초록

MOCVD 공정방법에 의해 수직정렬된 ZnO 나노선을 합성하고 공정조건 제어에 의해 합성되는 나노선의 물리적, 광학적 특성이 어떻게 변화하는지를 고찰하고자 하였다. 온도 및 산소분압제어 등의 공전변수 제어를 통하여 ZnO 나노 구조체는 나노선, 나노로드 뿐만 아니라 나노바늘 (nano-needle) 등 다양한 구조로 변화되었으며 그 직경 및 길이도 제어가 가능하였다. 전체적으로 양호한 특성의 wurzite 구조를 나타내었으며 기판에 수직인 방향으로 [0001] 방향으로 성장하였다. 광학특성에서는 나노선 직경이 작아질수록 주방출 피크의 천이현상이 관찰되었다.

키워드

참고문헌

  1. Xia, Y., et al., Adv. Mat., 15, 353 (2003) https://doi.org/10.1002/adma.200390087
  2. Lee, S. T., J. Mater. Res., 14, 4503 (1999) https://doi.org/10.1557/JMR.1999.0611
  3. Nalwa, H. S., Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology, 10, 327 (2004)
  4. Huang, M. H., et al., Adv. Mater, 13, 113 (2001) https://doi.org/10.1002/1521-4095(200101)13:2<113::AID-ADMA113>3.0.CO;2-H
  5. Park, W. I., Adv. Mater, 14, 1841 (2002) https://doi.org/10.1002/adma.200290015
  6. Yan, H. Q., J. Am. Chem. Soc., 125, 4728 (2003) https://doi.org/10.1021/ja034327m
  7. Dai, Z. R., Pan, Z. W. and Wang, Z. L., Adv. Funct. Mat., 13, 9 (2003) https://doi.org/10.1002/adfm.200390013
  8. Park, J. H., Choi, H. J. and Park, J. G, J. Cryst. Growth, 263, 237 (2004) https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2003.11.106
  9. Park, J. H., Choi, H. J., Choi, Y. J., Sohn, S. H. and Park, J. G., J. Mater. Chem., 14, 35 (2004) https://doi.org/10.1039/b312821k
  10. Huang, M. H., Science, 292, 1897 (2001) https://doi.org/10.1126/science.1060367
  11. Lu, S. G., Microelec. Eng., 66, 171 (2003) https://doi.org/10.1016/S0167-9317(03)00043-1
  12. Katsuyama, T., Jpn. J. Appl. Phys., 34, 224 (1995) https://doi.org/10.7567/JJAPS.34S1.224