Structural and Optical Properties of ZnO Nanowires Synthesized by LP-MOCVD Process

LP-MOCVD법으로 합성된 ZnO 나노선의 구조 및 광학적 특성

  • Choi, Young-Jin (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Park, Jae-Hwan (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Park, Jae-Gwan (Multifunctional Ceramics Research Center, Korea Institute of Science and Technology)
  • 최영진 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) ;
  • 박재환 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터) ;
  • 박재관 (한국과학기술연구원 복합기능세라믹스연구센터)
  • Published : 2006.06.30

Abstract

MOCVD 공정방법에 의해 수직정렬된 ZnO 나노선을 합성하고 공정조건 제어에 의해 합성되는 나노선의 물리적, 광학적 특성이 어떻게 변화하는지를 고찰하고자 하였다. 온도 및 산소분압제어 등의 공전변수 제어를 통하여 ZnO 나노 구조체는 나노선, 나노로드 뿐만 아니라 나노바늘 (nano-needle) 등 다양한 구조로 변화되었으며 그 직경 및 길이도 제어가 가능하였다. 전체적으로 양호한 특성의 wurzite 구조를 나타내었으며 기판에 수직인 방향으로 [0001] 방향으로 성장하였다. 광학특성에서는 나노선 직경이 작아질수록 주방출 피크의 천이현상이 관찰되었다.

Keywords

References

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