• 제목/요약/키워드: 광학상수

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표면 플라즈몬 공명을 이용한 광학 박막의 광학 상수와 두께 결정 (Determination of Optical Constants and Thickness of Optical Thin Films Using Surface Plasmon Resonance)

  • 최철재
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 1991년도 제6회 파동 및 레이저 학술발표회 Prodeedings of 6th Conference on Waves and Lasers
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    • pp.90-93
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    • 1991
  • 일곤 레이저의 두 파장(488 nm, 514.5 nm)을 사용하여 은 박막과 은 박막 위에 덧증착한 ZnS 박막의 유일한 광학 상수와 두께를 Kretschmann 구조의 표면 플라즈몬 공명을 이용하여 결정하였다.

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표면 플라즈몬 공명 측정에 의한 금속 박막의 광학 상수와 두께 결정 (Determination of Optical Constants and Thickness of Thin Metal Films by Measurement of Surface Plasmon Resonance)

  • 황보창권;최철재;최동철
    • 한국광학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.59-66
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    • 1991
  • 표면 플라즈몬 공명이 일어나는 공명각과 최적 두께를 여러 금속 박막에 대해 어드미턴스 다이어그램을 이용하여 계산하였으며, 표면 플라즈몬 공명에서 측정한 반사율과 이론치를 곡선 맞춤하여 은박막과 알루미늄 박막의 광학 상수와 두께를 결정하였다. 한 파장에 대해 두 개의 해가 존재하므로 알곤 레이저의 두 파장에서 같은 두께를 갖는 해를 광학 상수의 유일 해로 선택하였으며, 금속 박막을 공기 중에 노출시킬 경우, 박막의 표면 변화에 의해 이동된 표면 플라즈몬 공명으로부터 변화된 금속 박막의 광학 상수를 결정하였다.

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$As_2S_3$박막의 투과 스펙트럼을 이용한 광학 상수와 특성 조사 (Determination of Optical Constants of Amorphous $As_2S_3$ Thin Film by Transmission Spectrum)

  • 우성용;이상조;김건엽;곽종훈
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 제14회 정기총회 및 03년 동계학술발표회
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    • pp.18-19
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    • 2003
  • 비정질 As$_2$S$_3$박막에 레이저광의 조사에 대한 투과율 변화는 굴절률과 흡수계수 변화 등의 비선형 광학 특성에 대한 많은 정보를 제공해준다. 투과 스펙트럼을 측정하여 비정질 As$_2$S$_3$ 박막의 광학 상수를 결정하는 일은 간단하면서도 신뢰도 높은 값들을 얻을 수있게 한다. 본 실험에서는 비정질 As$_2$S$_3$ 박막을 진공 증착법을 이용하여 제작하고, 스펙트로포터미터를 사용하여 박막이론에 따른 굴절률, 흡수계수, 박막의 두께 및 조사된 레이저광에 의한 광학적 상수의 변화등을 측정하였다. (중략)

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포락선 방법을 이용한 흡수가 작은 박막의 광학 상수 및 두께 결정 (Determination Of Optical Constants and Thickness of Weakly Absorbing Thin Films Using An Envelope Method)

  • 황보창권;진권휘;박대윤;이민희
    • 한국광학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.1-10
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    • 1992
  • 분광 광도계에서 측정한 1/4 파장과 1/2 파장 광학 두께에서의 투과율을 곡선 맞춤한 두 포락선으로부터 흡수가 작은 박막의 광학 상수(굴절률과 소명 계수)와 두께를 결정하는 포락선 방법의 간단한 식을 유도하였다. 기판의 뒷면 효과를 고려한 포락선 방법을 진공 증착한 ZnS와 SiOx박막에 적용하여 증착조건에 대한 광학 상수의 변화를 결정하였으며, SiOx박막의 경우 주입 산소 압력의 증가에 따른 굴절률의 감소와 원소 조성비의 증가가 일치하는 것을 확인하였다.

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극 자외선 리소그래피용 감쇠형 위상 변위 마스크를 위한 ITO 박막의 광학 상수 결정

  • 강희영;김미경;황보창권
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2008년도 동계학술발표회 논문집
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    • pp.279-280
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    • 2008
  • 극자외선 영역(${\lambda}$=13.5 nm)에서 기하학적 그림자 효과를 줄이기 위해 ITO 박막을 RF 스퍼터링을 사용하여 증착하였다. 이를 러더퍼드 후방산란 분석법과 X-선 반사율 분석법을 이용하여 극 자외선 영역에서 ITO 박막의 광학상수를 결정하였다.

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이론적 정밀모형안에 기초한 환산모형안의 광학상수 (Optical constant of the reduced eye based on theoretical finite model eye)

  • 김상기
    • 한국광학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.268-273
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    • 2004
  • 종광선구면수차를 목표값으로 최적화하여 가변동공을 가지는 정밀모형안을 설계하였다. 설계된 모형안에서 종광선구면수차를 이론적으로 동공직경 1 mm에서 8 mm까지 도식화하고, 다른 모형안의 값들과 비교하였다. 또한 파장에 따른 종광선색수차를 계산하고, 다른 값들과 대조하였다. 정밀모형안에서 얻은 유효초점거리 15.842 mm를 사용하여 환산모형안의 광학상수를 결정하였다. 환산모형안의 광학상수들은 등가굴절능 63.12 Diopter, 환산면 곡률반경 5.281 mm, 굴절률 1.33333, 안축길이 21.123 mm이다.

열처리 조건에 따른 이온주입된 실리콘의 재결정화 (Thermal Annealing Condition Dependence of Ion-implanted Silicon Recrystallization)

  • 이창희;이순일
    • 한국진공학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.386-393
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    • 1995
  • 이온주입된 실리콘 시료들의 열처리 조건에 따른 재결정화를 분광 타원해석법(Spectroscopic Ellipsometry, SE)을 사용하여 연구하였다. 열처리 후에도 잔류하는 결함들의 양과 분포를 구하기 위한 시료의 층구조 분석에 있어서 손상층의 유효굴절율은 Bruggeman 유효매질이론을 이용하여 구하였으며 기준 비정질실리콘 데이터로서는 완화된 비정질실리콘의 광학상수와 이온주입에 의해서 만들어진 비정질 실리콘의 광학상수를 함께 사용하였다. 조사된 대부분의 열처리 조건하에서 고체상 적층성장(solid-phase epitaxial growth)과정에 따라 비정질층이 재결정화되는 것이 관측되었다.

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