• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.311-311
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.08a
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• pp.413-413
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.94.2-94.2
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• 2016

플라즈마 분광진단 기술은 기존 프로브와 달리 플라즈마에 섭동을 일으키지 않고, 전자온도, 밀도와 같은 플라즈마의 물리적 특성 진단과 함께 라디컬의 밀도와 같은 플라즈마의 화학적 특성을 진단할 수 있는 기술로 각광을 받고 있다. 본 발표에서는 레이저진단의 고급 진단을 제외한 플라즈마 변수 측정을 위한 플라즈마 방출 스펙트럼을 이용하는 방출분광진단과 흡수 스펙트럼을 이용한 흡수분광 진단에 대한 소개와 함께, 이를 이용한 플라즈마의 전자여기온도, 전자밀도, 전자회전온도, 기체온도 및 중성종의 절대밀도 온도 측정에 대한 기술과 실례를 소개한다.

• Proceedings of the Korean Society of Crop Science Conference
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• 2005.10b
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• pp.150-151
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• 2005

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.131-131
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• 2010

원자의 여기 및 천이에 의한 플라즈마에서의 빛 방출은 일차적으로 여기를 위한 특정 문턱값 이상의 에너지 공급이 전제 된다. 진공 플라즈마에서 대부분의 에너지 전달 과정은 전자와의 물리적 충돌에 의해 일어나므로 충돌 여기의 결과 발생한 광신호 세기는 전자 에너지 분포에 대한 정보를 내포하고 있다. 전자는 입자들 간의 에너지 전달 매개가 되는 동시에 플라즈마 구성 입자 중 가장 가벼워 빠르게 주변 환경 변화에 응답하여 열평형을 이루므로 EEDF는 플라즈마의 미세한 변동까지도 보여줄 수 있는 인자가 된다. 플라즈마의 열평형 이동에 관한 정보를 광신호로부터 EEDF의 형태로 추출해내기 위해 BEB (Binary - Encounter - Bethe) 모델을 근거로 충돌 반응 단면적을 함수로 나타내어 신호를 분석하였다. EEDF의 꼴을 $f(E)=AEexp(-E^b)$의 임의의 형태로 두고 아르곤의 427nm, 763nm 두 빛의 세기 비를 BEB 모델을 적용하여 전개한 결과 b factor 의 값을 구할 수 있었다. b factor 가 1인 경우는 Maxwellian, 2인 경우는 압력이 높은 조건에서 잦은 충돌에 의한 에너지 손실 때문에 고에너지 전자군이 현격하게 감소된 Druyvesteyn 분포를 의미하므로 광신호에 모델을 적용하여 얻은 b factor의 변화는 EEDF의 형태 자체의 변화가 감지되었음을 보여준다. 실제로 13.56MHz - 1kW ICP 장치에서 아르곤 플라즈마를 발생시켰을 때, 압력이 낮아 Maxwellian 분포가 예상되는 10mTorr 조건에서는 b=1.13, Druyvesteyn 분포에 가까워지는 100mTorr 조건에서는 b=1.502 로 관측되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.31-31
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• 2011

식각, 증착 등의 플라즈마 활용 공정에서 공정 결과들이 예상치 못한 편차를 보이거나 시간에 따른 공정 결과의 드리프트가 발생하는 등의 문제는 공정 수율 향상 뿐 아니라 공정 결과 생산하게 되는 제품의 성능을 결정짓는다는 점에서 중요하다. 그 결과 공정의 이상이 발생 되는 것을 감지하기 위한 다양한 장치 및 알고리즘들이 등장하고 있으나, 현재 공정 상태 변화를 진단하는 것은 공정 장치에서 발생된 신호 변동을 통계적으로 처리하는 수준에 머무르거나 플라즈마 인자들의 값 자체를 진단하는 정도에 그치고 있다. 본 연구에서는, 향후 물리적 해석을 기반으로 한 공정 진단을 위한 알고리즘을 세우는 것을 목표로 하여 공정 결과에 민감하게 영향을 주는 플라즈마 내부 전자의 열평형 상태의 미세한 변동을 감지하고 이를 통하여 공정 결과에 영향을 주게 되는 장치 내 물리적, 화학적 반응들의 변동 메커니즘을 이해하고자 하였다. 외부에서 감지하기 힘들기 때문에 장치 상태에 변동이 없는 것으로 보이지만 실제로는 변동하고 있는 플라즈마의 미세한 상태 변화를 보여줄 수 있는 물리 인자로는 잦은 충돌로 인하여 빠르게 변동에 대응할 수 있는 전자들의 열평형 특성을 살펴보는 것이 적합하다고 판단하여 광신호를 통해 전자 에너지 분포함수를 진단할 수 있는 모델을 수립하였다. 이 모델의 적용 결과를 활용하면 전자들의 열평형이 주변 가스 종의 반응율 변동에 주게 되는 영향을 해석할 수 있다. 실제로 ICP-Oxide Etcher 장치에서 장치 내벽 오염물질 유입 및 공정 부산물의 장치 내 잔여로 인하여 식각율로 표현되는 공정 결과에 최대 6%의 편차가 발생하게 되는 메커니즘을 해석할 수 있었다.

• KOREAN JOURNAL OF CROP SCIENCE
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• v.50 no.spc1
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• pp.175-180
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• 2005

This study was carried out to determine total contents of phenol and flavonoid in common and tartary buckwheat for the purpose of developing new kind of functional food with buckwheat materials. Total content of phenol and flavonoid in seeds of tartary buckwheat were higher than that of common buckwheat. It showed same tendency in groats and hulls. Total content of phenol and flavonoid in groats showed higher than hulls in tartary buckwheat while those of hulls was a little higher than groats in common buckwheat seed. Rutin content in common buckwheat was higher in odor of the hulls (25.2 mg/100 g)>dehulled seed(19.8 mg/100 g)>groats (12.8mg/100 g). But tartary buckwheat was higher in oder of the groats(2042.1 mg/100 g)>dehulled seed (1375.8 mg/100 g)>hulls(138.7 mg/100 g). Flavanol content in dehulled seeds of the tartary and common buckwheat did not show the difference. However, flavanol contents in leaf, stem and spouts of tartary buckwheat were respectively higher than in those of common. Among the flavanols, catechin content was highest in all plant parts of their buckwheat and also was higher in odor of epicatechin>epicatechingallate. However, epicatechingallate content in sprouts of both buckwheat species was about 30-40 times higher than seeds.

• The Korean Journal of Applied Statistics
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• v.17 no.1
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• pp.89-103
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• 2004

If the given information is exact, though it is the little, we had better use it than not use in analysis. In this article, the problem of independence test in a contingency table is considered when two marginal distributions of a population are given exactly. For that case, a likelihood-ratio chi-squared test statistic and its Pearsonian type chi-squared test statistic are derived. By Monte Carlo Simulations the traditional chi-square tests and the derived tests are compared. And the related some testing problems are synthetically explained on a geometrical viewpoint.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2004.10a
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• pp.205-209
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• 2004

The configuration and arrangement of injector in LRE gas generator and combustor have a great impact on combustion process and heat exchange because of affecting atomization, vaporization, mixing and chemical reaction. A relation between injector array and mixing distribution of propellants based on a physical approach was investigated in this study. Programming method of this relation is used to predict mixing distribution of propellants. Simplicity of physical approach and various assumptions make it reduce the accuracy and application of the results of present study. But, this method is very useful to predict the mixing distribution of full scale combustor due to difficulties in cold flow testing.

• The Korean Journal of Applied Statistics
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• v.10 no.2
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• pp.275-291
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• 1997

In the case that an abstract concept was measured indirectly by using its indicators, many researcher have obtained its score by using the simple mean, the first principal component, or the first factor, etc. In this paper, an scoring method named as the representative component scoring system was suggested as an alternative and its validity and applicability were studied.