• Title/Summary/Keyword: 광방사 세기비

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광방사 세기비를 이용한 공정 플라즈마의 변수 진단

  • Lee, Yeong-Gwang;O, Se-Jin;Lee, Jae-Won;Hwang, Hye-Ju;Lee, Hui-Jin;Kim, Yu-Sin;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.149-149
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    • 2011
  • 아르곤 기체의 방사세기 또는 그 세기 비는 플라즈마 공정 진단에서 일반적으로 사용된다. 본 실험에서는 100 mTorr 압력 조건하의 유도결합 플라즈마(13.56 MHz)에서 E-H 모드 전이 영역, rf 바이어스(12.5 MHz) 전력 인가 및 N2 혼합 시 단순화한 충돌-방사 모델에 기초한 광방사 세기비 방법을 적용하여 플라즈마 변수를 진단하였다. 개발 프로그램 기반의 분광기를 사용하여 아르곤 기체의 특정 파장(750.4, 751.5 그리고 811.5 nm)들을 관측하였고, 동일한 조건하에서 정전 탐침법으을 이용하여 전자 에너지 분포함수의 변화도 측정 하였다. 맥스웰 전자 에너지 분포를 가정하는 일반적인 경우와 비교하여 볼 때 실제적인 전자 에너지 분포함수의 측정은 전자의 가열 메커니즘에 대한 상세한 정보를 제공함과 동시에 플라즈마 재흡수에 대한 보정을 가능하게 해준다. 광방사 세기비법에 의해 측정된 결과에 의하면, 750.4 nm/751.5 nm는 높은 에너지(>13.08 eV)의 전자들의 유효 전자온도에 대한 정보를 나타내는 반면 811.5 nm/750.4 nm는 아르곤 준안정 준위 밀도(1s5)에 대한 정보를 제공하게 된다. 수행된 실험 조건하에서, 측정된 준안정 준위 밀도는 E-H 모드 전이 영역에서 최대값을 나타내었고 바이어스 전압 및 N2 기체 혼합 비율이 증가함에 따라 감소하는 결과를 얻었다. 유효 전자온도의 경우 광방사 세기비법과 정전 탐침법 모두 같은 결과를 보여 주었는데, E-H 모드 전이 영역에서는 전자온도는 거의 일정하였고 바이어스 전압 및 N2 기체 혼합 비율이 증가함에 따라 전자온도는 증가하였다. 이러한 실험 결과는 방전 모드 전이, 바이어스 인가 그리고 혼합 기체 사용하는 공정 플라즈마를 이해하는데 있어 이들 변수의 진단이 중요한 요소임을 보여준다.

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Reducing the Effects of Noise Light in A Visible Light Communication System Using Orthogonal Polarizers (가시 광통신에서 직교 편광기를 이용한 잡음광의 영향 감소)

  • Hwang, Da-Hyun;Lee, Seong-Ho
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.22 no.5
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    • pp.560-567
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    • 2011
  • In this paper, we reduced the optical noise interference using polarizers in a visible light communication system. In a transmitter, two light-emitting diodes(LEDs) are modulated synchronously by the original and the reversed signals of the transmitted data, and the two LED lights are radiated through orthogonal polarizers. In a receiver, two optical signals are detected through orthogonal polarizers and differentially amplified to remove the optical noise. In an environment that noise light from a fluorescent lamp is much stronger than the signal, the receiver with orthogonal polarizers removed the 120 Hz noise, and synchronous light transmission of the original and the reversed signals using two LEDs reduced the illumination flickering to about one-eighth that using one LED.

Electronic Structures of Co-Pd Alloy Films Using Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy (방사광 광전자 분광법을 이용한 Co-Pd 합금박막의 전자구조 연구)

  • 강정수;권세균;하양장;민병일;조용필;이창섭;정인범;구양모;김건호
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.6 no.6
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    • pp.405-410
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    • 1996
  • Valence band photoemission spectroscopy (PES) measurements have been performed for $Co_{x}Pd_{100-x}$ alloy films using synchrotron radiation (x = 0, 25, 40, 65). Then the partial spectral weight distributions (PSW's) of Co 3d and Pd 4d electrons have been determined. The Co 3d PSW's exhibit some structures which are quite different from those of the Co film for x < 25 %, whereas they become very similar to those of the Co film for x > 40 %. For x < 25 %, the peak near the Fermi level ($E_F$) and a shoulder around 2 eV binding energy in the Co 3d PSW reflect large hybridization between Pd 4d and Co 3d electrons, suggesting that the hybridization might play an inportant role in determining perpendicualr magnetic anisotropy. The Pd 4d PSW's in Co-Pd alloy films are found to have larger FWHM's (full widths at half maximum), larger binding energies of the main peaks, and larger spectral intensities at $E_F$ than the PES spectrum of the Pd film. The FWHM of the Pd 4d PSW increases with decreasing Pd concentration, which are considered to reflect the disordering effect in the alloy formation or the change in the Pd 4d electronic structure due to hybridization between Co 3d and Pd 4d electrons.

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Development of Customizable Fluorescence Detection System using 3D Printer (3D 프린터를 활용한 맞춤형 휴대용 형광측정 장치 개발)

  • Cho, Kyoung-rae;Seo, Jeong-hyeok;Choe, Se-woon
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2019.05a
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    • pp.278-280
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    • 2019
  • Flow cytometer is one of the instrument that can measure various optical properties of a single cell or microparticle. These parameters including size, granularity, and fluorescence intensity are determined by the physical and optical interaction of the cells with excitation light source. However, users have some difficulties such as high cost, size of instrument, and limited fluorescence selectivity. In addition, abundant data is also unintentionally acquired even though user wants to have a single optical parameter. For these reasons, the use of flow cytometer is more challenging for researchers to apply their study. Therefore, the proposed study aims to develop a low-cost portable fluorescence acquisition system using a commercially available light-emitting diode and photodiode. It is designed by a 3D printer, and fluorescence selectivities are increased by changing of the light source / optical filter / detection sensor. Various number sets of fluorescently labeled cells were measured, and its feasibility was evaluated through the proposed system. As a result, acquried fluorescence intensities were proportional to the concentration of the cells and showed high linearity.

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