• 제목/요약/키워드: 광도측정

검색결과 337건 처리시간 0.034초

고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석

  • 추성중;정재욱;정의석;박정호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
    • /
    • pp.121-122
    • /
    • 2011
  • 광도파로 기반 센서의 성능을 개선시키기 위해서는 코어와 클래딩 층의 굴절률 차를 크게 하여 표면감도를 향상시켜야 한다. 이를 위해 센서용 광도파로 코어 층을 위한 고굴절률 SiNx 박막을 플라즈마 화학기상증착(PECVD, plasma enhanced chemical vapor deposition)법을 이용하여 성장한 후 그 표면특성을 분석하였다. 이 때 플라즈마 화학기상증착 공정 조건 중 NH3 가스를 제외하여 Si 성분이 많은 고굴절률 SiNx 박막의 성장을 유도하고 He/SiH4 가스유량비를 0에서 100까지 변화시켜 SiNx 박막의 표면거칠기를 제어하였다. Si기판 위에 SiNx 박막을 10분 성장 후 BOE(buffered oxide etchant)로 선택식각하여 그 박막두께를 alpha step으로 측정하는 방법으로 He/SiH4 가스유량비 조건별 박막성장률을 계산하였다. 그 결과 He/SiH4 가스유량비 증가함에 따라 박막성장률이 33 nm/min에서 19 nm/min으로 선형적인 감소함을 알 수 있었다. 박막두께가 190 nm가 되도록 He/SiH4 가스유량비 조건별 SiNx 박막을 성장한 후 그 표면특성을 AFM (atomic force microscope)으로 관찰하였다. 이를 통해 He/SiH4 가스유량비가 50일 때 SiNx 박막의 표면거칠기가 최소가 됨을 알 수 있었다.

  • PDF

1.55 $\mu\textrm{m}$ 광증폭기용 Er/Al 첨가 광도파막의 제조 (The Fabrication of Er/Al Co-doped Silica Films for 1.55 $\mu\textrm{m}$ Optical Amplifier)

  • 노성인;김재선;정용순;신동욱;송국현
    • 한국세라믹학회지
    • /
    • 제38권12호
    • /
    • pp.1144-1149
    • /
    • 2001
  • 본 연구에서는 화염가수분해증착법(Flame Hydrolysis Deposition : FHD)을 이용하여 실리콘(Si)/실리카(SiO$_2$) 광도파막을 제조하고, 이 박막에 Solution Doping 법을 이용해 Er/Al을 복합 첨가하여 광증폭 매질을 제작하는 연구를 수행하였다. 형광 측정을 통해 Al의 복합첨가에 의한 형광효율의 감소 방지 및 형광 스펙트럼의 반치폭 증가를 확인할 수 있었다. 즉, Al가 0.48wt%가 첨가된 경우, Er가 0.14wt% 첨가되는 경우에도 형광세기가 감소하지 않음을 확인하였으며, $1.5mu extrm{m}$ 대역의 형광스펙트럼의 대역폭이 약 5nm 정도 증가됨을 관찰하였다.

  • PDF

효소면역측정법을 이용한 스파르가눔증의 혈청학적 진단 (Serological Diagnosis of Human Sparganosis by means of micro-ELISA)

  • Hyuck Kim;Suk-Il Kim;Seung-Yull Cho
    • Parasites, Hosts and Diseases
    • /
    • 제22권2호
    • /
    • pp.223-228
    • /
    • 1984
  • 외과적으로 충체를 적출하여 진단한 스파르가눔증 환자 7명으로부터 혈청을 수집하고 혈청내 스파르가눔 특이 IgG 항체가를 호소면역 측정 법으로 측정하였다. 스파르가눔 항원은 유혈목이에 자쳔 감염된 충체를 갈아 생리 식염수로 추출한 것으로 단백질 함량은 Smgyxnl이었다. 효소면역측정법은 McLaren 등(1978)의 방법에 따라 실시하였다. 스파르가눔중 환자 혈청이 폐흡충 항원 또는 유구낭미충 항원에 교차반응이 있는지 여부도 측정하였다. 또한 스파르가눔 항원에 대해서 정상인, 케흡충중 환자, 간홉충 감염자, 유구낭미충증 환자와 무구조충 감염자 등 모두 71명에 대해서도 교차반응을 나타내는지 를 관찰하고자 효소면역 측정 법을 실시하였다. 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 스파르가늠증 환자 7명중 석회화한 스파르가눔에 감염되어 있었고 수술후 1개월에 혈청을 수집한 1례를 제외하면 모두 홉광도 0.3 이상을 나타내었다. 양성판정기준을 흠광도 0.25로 하였을 때 효소면역 측정 법의 민감도(sensitivity)는 85.7이 었다. 2. 기타 기생충 감염자와 정상인 71명중에서 스파르가눔 항원에 대한 특이항체 양성자는 무구조충감염자 3명으로 특이도(specificity)는 97.5%이었다. 3. 스파르가눔중 환자 혈청은 폐흡충 항원 및 유구낭미충 항원에 대해서 항체가는 낮은 값을 보이고 있어 교차 반응은 발견할 수 없었다. 4. 중추신경계를 침범한 스파르가눔중 환자 2례에서 뇌척수액을 희석하지 않은 상태로 효소면역 측정 법을 실시하였던 바 1례는 폐흡충 및 유구낭미충 항원에 대해 교차반응 없이 스파르가눔항원에 대해 높은 항체가를 보인데 비해 다른 1례에서는 스파르가눔 항원 및 유구낭미충 항원에 대해 비슷한 항체가를 나타내고 있었다. 이상의 결과에서 효소면역 측정 법을 이용하여 스파르가눔중을 혈청학적으로 진단하는 경우 매우 특이하고 민감한 결과를 얻을 수 있을 것으로 생각하였다. 스파르가눔중의 수술전 진단이 실제로 어려운 것이 현실이므로 혈청학적 잖단은 역학적 유해조사나 형태학적으로 감별이 어려운 병리소견을 보인 경우 등에서 보조적인 진단법으로 이용할 수 있을 것으로 생각한다.

  • PDF

광도전체 필름 상부 전극크기에 따른 전기적 신호 특성 비교 (Comparison of Electrical Signal Properties about Top Electrode Size on Photoconductor Film)

  • 강상식;정봉재;노시철;조창훈;윤주선;전승표;박지군
    • 한국방사선학회논문지
    • /
    • 제5권2호
    • /
    • pp.93-96
    • /
    • 2011
  • 현재 광도전체 물질을 이용한 직접변환방식의 방사선 검출기 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 광도전체 물질 중 상용화된 비정질 셀레늄(a-Se)에 비해 요오드화수은($HgI_2$) 광도전체 화합물은 고에너지에 대한 높은 흡수율과 민감도를 가지는 것으로 보고되고 있다. 또한 이러한 광도전체 필름은 발생된 신호의 검출효율은 상하부 전극크기에 의한 전기장의 세기 및 기하학적 분포에 많은 영향을 미치는 것으로 보고되고 있다. 이에 본 연구는 $HgI_2$ 광도전체 필름에서 상하부 전극의 크기에 따른 X선 검출특성을 조사하였다. 시편제작은 기존의 진공 증착법이 두꺼운 대면적 필름제조가 어렵다는 문제점을 해결하고자 페이스트 인쇄법을 이용하여 인듐전극이 코팅된 유리기관위에 제작하였으며, 시편의 두께를 $150{\mu}m$, 면적크기를 $3cm{\times}3cm$ 크기로 제조하였다. 상부전극은 마그네틱 스퍼터링법을 이용하여 $3cm{\times}3cm$, $2cm{\times}2cm$, $1cm{\times}1cm$의 크기로 ITO(indium-tin-oxide)를 진공 증착하였다. 특성평가를 위해 X선 선량에 대한 민감도와 누설전류, 신호대잡음비를 측정하여 필름의 전기적 검출 특성을 정량적으로 평가하였다. 그 결과 상부전극의 크기가 증가함에 따라 검출된 신호의 크기가 다소 증가하는 경향을 보였다. 하지만, 전극크기의 증가에 따른 누설전류 또한 증가함으로써 신호대잡음비는 오히려 감소하는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 결과로부터 향후 광도전체를 적용한 X선 영상검출기 개발에 있어 상부전극의 최적크기와 구조설계가 고려되어야 할 것으로 사료된다.

전반사 미러와 방향성 결합기를 이용한 직사각형 링 레이저 (Rectangular ring laser based on total internal reflection mirror and directional coupler)

  • 김두근;최영완
    • 대한전자공학회논문지SD
    • /
    • 제45권8호
    • /
    • pp.17-23
    • /
    • 2008
  • 본 연구에서는 InP 물질의 능동과 수동 광도파로를 포함하는 신개념의 직사각형 링 레이저를 제작하여 그 특성을 측정하고 분석하였다. 직사각형 링 레이저의 구성은 작은 광 손실을 갖는 네 개의 전반사 미러와 세 개의 수동 광도파로로 구성된 방향성 결합기로 되어 있다. 제작된 두 개의 서로 다른 직사각형 링 공진기의 능동 영역의 길이는 250과 $350{\mu}m$이고, 전체 공진기 길이는 각각 580과 $780{\mu}m$이다. 측정된 링 레이저의 문턱 전류는 상온에서 연속 전류를 인가했을 때 38 mA를 얻을 수 있었다. 이때 20 dB 이상의 인접모드 억압비를 갖는 단일 모드 발진 특성을 확인하였다.

반 링과 전반사 미러를 이용한 다중모드 간섭기로 결합된 링 공진기 (Multimode interference coupled ring resonator using half ring and total internal reflection mirrors)

  • 김두근;최영완
    • 대한전자공학회논문지SD
    • /
    • 제44권2호
    • /
    • pp.46-54
    • /
    • 2007
  • 본 연구에서는 WDM 시스템의 집적화를 위해서 InP 기반의 신개념의 마이크로 링 공진기 필터를 제안하고, 제작을 통해서 그 특성을 측정 분석하였다. 전반사 미러가 삽입된 구조는 자동 정렬 (Self-Aligned) 공정을 통해서 구현 하였고, 측정된 전반사 미러의 손실은 한 개의 미러당 0.71 dB를 얻을 수 있었다. 마이크로 링 공진기의 결합기로는 다중모드 간섭기를 이용하여 빛이 광도파로를 따라 진행할 때 링으로 결합되는 파워를 높였다. 다중모드 간섭기의 주변을 깊게 에칭을 하여 간섭기의 길이와 폭을 $119{\mu}m$$9{\mu}m$로 하였다. 링 공진기 내부의 광도파로와 전반사 미러에서의 손실을 보상하기 위해서 링 공진기 내부에 길이가 $190{\mu}m$인 반도체 광 증폭기를 집적하였다. 이때 얻어진 FSR는 대략 1.333 nm (162 GHz)이고 소광비는 13 dB이다.

Ti:LiNbO3 비대칭 Mach-Zehnder 간섭기와 분할 전극구조를 이용한 집적광학 전계센서의 감지부에 관한 연구 (A Study on the Sensing Part of Integrated-Optic Electric Field Sensor Utilizing Ti:LiNbO3 Asymmetric Mach-Zehnder Interferometer and Segmented Electrode Structure)

  • 정홍식;김영주
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
    • /
    • 제12권1호
    • /
    • pp.165-172
    • /
    • 2012
  • $1.3{\mu}m$ 파장에서 동작하는 비대칭 Mach-Zehnder 간섭기에 분할전극 구조를 배열하여 전계 측정시스템의 감지부를 설계, 제작하였다. BPM 전산모사를 통해서 소자를 설계하였고, $LiNbO_3$에 Ti 확산방법으로 구현된 채널 광도파로에 집중 전극구조를 배열하여 집적광학 칩을 제작하였다. ${\pi}/2$ 위상차를 갖도록 설계된 비대칭 구조에서는 DC 0V에서 측정된 출력 광세기가 최고치에 약 1//2에 해당됨을 확인하였으며, 1KHz 전기신호를 인가해서 ${\pi}/2$ 위상차 때문에 나타나는 전기적 현상들을 확인하였다.

새로운 지시약 반응에 의해 극미량 수준의 망간 측정을 위한 촉매 반응의 분광 광도 측정법 (Catalytic Spectrophotometry for the Determination of Manganese at Trace Levels by a Novel Indicator Reaction)

  • Gurkan, Ramazan;Caylak, Osman
    • 대한화학회지
    • /
    • 제54권5호
    • /
    • pp.556-566
    • /
    • 2010
  • 새로운 동적 분광 광도 측정법은 천연의 물 샘플에서 망간(II)의 측정을 위해 개발되었다. 그 방법은 620 nm에서 활성화제로서 nitrilotriacetic acid (NTA)를 사용하면서 $KIO_4$에 의한 갈로시아닌(Gallocyanin)의 산화와 함께 망간(II)의 촉매 효과에 기초했다. 최적조건은 갈로시아닌(Gallocyanin) $4.00{\times}1^{-5}\;M$, $KIO_4$ $1.00{\times}10^{-4}\;M$, NTA $1.00{\times}10^{-4}\;M$, pH = 3.50인 0.1 M HAc/NaAc 완충용액, 5분의 반응시간 그리고 $30^{\circ}C$의 온도에서 얻어졌다. 최적조건 하에서 제안된 방법은 $0.1\;-\;4.0\;ng\;mL^{-1}$의 범위에서 망간(II)의 측정을 허용했고 $0.025\;ng\;mL^{-1}$이하의 검출한계를 가지고 있다. 표준 망간(II) 용액을 측정하는 것에서 회수율은 98.5 - 102% 범위에 있다. 그리고 상대표준편차(RSD)는 0.76 - 1.25%의 범위에 있다. 새롭게 개발된 동적 방법은 약간의 주위의 물과 만족할 만한 결과를 갖는 JAC-0031의 공인된 표준 기준 강물 샘플 둘 다에서 망간(II)의 측정에 성공적으로 응용되었다. 또한, 얼마 안 되는 양이온과 음이온은 망간(II)의 측정을 방해한다. 다른 촉매-동적 방법과 기기적 방법과 비교했을 때, 제안된 동적 방법은 상당히 좋은 선택성과 감도, 낮은 가격, 저렴함, 낮은 검출한계와 신속함을 보인다. 상대적으로 낮은 염분을 갖는 진짜 물 샘플과 병으로 된 마시는 물, 차갑고 뜨거운 용천수, 호수, 강물 샘플 같은 복잡한 모체들에 적용하는 것은 쉽고 성공적으로 적용될 수 있다.

광도, CO2 농도 및 정식 후 생육시기에 따른 식물공장 재배 상추의 군락 광합성 모델 확립 (Development and Validation of a Canopy Photosynthetic Rate Model of Lettuce Using Light Intensity, CO2 Concentration, and Day after Transplanting in a Plant Factory)

  • 정대호;김태영;조영열;손정익
    • 생물환경조절학회지
    • /
    • 제27권2호
    • /
    • pp.132-139
    • /
    • 2018
  • 작물의 생산량은 광합성과 밀접한 관계가 있으며, 광합성 속도는 다양한 환경 요인에 의해 변화한다. 광합성 속도는 작물의 생육 상태나 생육 속도를 판단하는 지표로 사용되며, 작물 재배 시설을 구축하는 데 고려해야 하는 중요한 요인이다. 이 연구의 목적은 광도, $CO_2$ 농도 및 생육 단계에 의해 변화하는 로메인 상추의 군락 광합성 속도 모델을 개발하는 것이다. 군락 광합성 속도는 정식 후 5, 10, 15, 20 일차에서 5단계의 $CO_2$ 농도($600-2,200{\mu}mol{\cdot}mol^{-1}$)와 5단계의 광조건($60-340{\mu}mol{\cdot}m^{-2}{\cdot}s^{-1}$)이 처리된 3개의 밀폐 아크릴 챔버($1.0{\times}0.8{\times}0.5m$) 내에서 측정하였다. 먼저 세 가지 환경 요인을 사용하는 식들을 곱하여 만든 단순곱 모델을 구성하였다. 이와 동시에 생육 시기에 따라 변화하는 광화학 이용효율과 카르복실화 컨덕턴스, 호흡에 의한 이산화탄소 발생 속도를 포함하는 수정 직각쌍곡선 모델을 구성하여 단순곱 모델과 비교하였다. 검증 결과, 단순곱 모델의 $R^2$는 0.923이었으며, 수정 직각쌍곡선 모델의 $R^2$는 0.941을 나타내었다. 따라서 수정 직각쌍곡선 모델이 광도, $CO_2$ 농도, 생육 단계의 3 변수에 따른 군락 광합성 속도를 표현하는 데 더욱 적합한 것으로 판단하였다. 본 연구에서 개발된 군락 광합성 모델은 식물공장에서 상추 재배를 위해 생육 단계별로 설정해야 할 최적의 광도와 $CO_2$ 농도를 결정하는 데 도움이 될 것으로 생각된다.

X선 영상센서 적용을 위한 광도전체 필름의 전기적 응답특성 연구 (A study on electrical response property of photoconductor film for x-ray imaging sensor)

  • 강상식;김찬욱;이미현;이광옥;문용수;안성아;노시철;박지군
    • 한국방사선학회논문지
    • /
    • 제3권4호
    • /
    • pp.29-33
    • /
    • 2009
  • 최근 디지털 방사선 영상획득을 위한 평판형 X선 검출기에 이용되는 광도전체(a-Se, $HgI_2$, PbO, CdTe, $PbI_2$ 등)에 대한 관심이 증대되고 있다. 본 연구에서는 $HgI_2$ 와 a-Se 필름 변환체에 대해 X선에 대한 전기적 신호검출 특성을 조사하였다. 수백 마이크로의 두꺼운 광도전체 필름 제작을 위해 $HgI_2$는 입자침전방법을 이용하였고, a-Se은 종래의 진공열증착법을 이용하였다. 제작된 시편에 대한 전기적 특성 실험은 누설전류, 신호응답 특성, 민감도 등을 측정하였다. 실험결과로부터, $HgI_2$는 상용화된 a-Se에 비해 낮은 동작전압특성과 우수한 신호 발생율을 보임을 알 수 있었다.

  • PDF