• The Korean Journal of Rheology
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• v.4 no.2
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• pp.148-160
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• 1992

폴리프로필렌(PP)과 폴리에틸렌(PE)혼합물의 용융방사에 있어서 불안정성을 연구하 였으며 혼합물의 유변학적 성질, 혼합물의 형태학적 특성과 연신공명과의 관계를 고찰한 것 이다. 신장점도는 spinline rheometer를 사용하여 측정하여 섬유직경은 광센서를 이용하여 방사공정에서 on-line 측정하였고 연신공명의 주기는 Fourier 변환을 이용하여 분석하였다. PP와 PE혼합물의 용융방사에 있어서 PP 함유량이 많을수록 연신공명이 발생하는 임계연신 비가 줄어들고 그 주기는 길어진다. 정상상태에서 구한 유변학적 성질을 이용하여 Shah와 Pearson의 이론식과 Fisher와 Denn의 이론식으로부터 구한 임계연신비값이 실험치와 많은 차이를 보여주었다. 연신공명에 의하여 형성된 섬유의 가는 부분의 배향도는 굵은 부분에 비하여 크게 향상되었으며 PP 함유량이 많을수록 배향도가 크게 증가하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Rheology Conference
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• 2002.11a
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• pp.93-96
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• 2002

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.3
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• pp.331-336
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• 1994

Electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition (ECRPCVD) 장치에서 공정변 수에 따른 수소플라즈마 특성을 조사하였다. 균일한 플라즈마 밀도를 얻기 위하여 전자공명층이 기판과 평행하게 형성되도록 정자장 코일을 설계하였으며 기판근처에 부가적으로 형성된 multicusp field 에의 해서 기판 근처에서의 플라즈마 균일도를 개선시킬수 있었다. 또한 절연된 공진실과 기판에의 독립적인 DC bias에 의해서 기판으로 입사하는 하전입자들이 에너지와 유량을 조잘할 수 있었다. 이러한플라즈마 특성을 갖는 ECRPCVD장치를 다양한 특성을 갖는 박막 합성에 응용할 수 있으리라 사료된다.

• Proceedings of the Korean Society of Rheology Conference
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• 2002.05a
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• pp.37-40
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• 2002

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.83-83
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• 2018

최근 의료, 보건, 헬스케어 분야에 대한 관심이 증가함에 따라 질병의 조기 진단 연구가 각광 받고 있다. 특히 표면증강 라만 산란 (Surface Enhancement Raman scattering)은 고분자 검출을 위해 가장 유용한 물리 화학적 기법으로 SERS를 활용한 특정물질 검출 기술 개발에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 나노구조의 국부적 표면 플라즈몬의 공명조건 (Surface Plasmon Resonance, SPR)으로 유도된 전자기장은 우수한 SERS 신호를 나타낸다. 따라서 표면 플라즈몬 공명 효과는 귀금속 나노입자의 종류, 크기 및 형태, 기판의 형상 및 구조 등에 의해서 달라지게 되므로 이들을 조절하여 보다 민감한 SERS 신호를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 고감도 SERS-Active 기판을 제작하기 위해 SERS 기판 표면의 나노구조를 최적화 하였다. SERS 기판 표면을 제어하기 위해 공정파워, 공정압력, 기판의 온도 등의 증착공정 변수에 변화를 주어 표면의 나노구조를 형성하였다. 이를 분석하기 위해 SEM 분석을 통해 피라미드형 실리콘 기판 표면의 Au 나노구조 금속 박막을 확인하였고, XRD를 이용하여 결정성 및 결정크기를 확인하였다. Rhodamine 6G를 이용한 라만 분석을 통해 SERS 신호의 강도를 알 수 있었다. 금속 나노구조의 형태, 온도 제어를 통해 SERS 신호강도가 우수한 나노구조 기판을 제조 할 수 있었다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.25 no.5
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• pp.149-155
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• 2015

The ECR (Electron Cyclotron Resonance) Ar ion milling was manufactured to fabricate the device of thin film. The ECR ion milling system applied to the device etching operated by a power of 600W, a frequency of 2.45 GHz, and a wavelength of 12.24 cm and transferred by a designed waveguide. In order to match one resonant frequency, a magnetic field of 908 G was applied to a cavity inside of ECR. The Ar gas intruded into a cavity and created the discharged ion beam. The surface of target material was etched by the ion beam having an acceleration voltage of 1000 V. The formed devices with a width of $1{\mu}m{\sim}9{\mu}m$ on the GMR-SV (Giant magnetoresistance-spin valve) multilayer after three major processes such as photo lithography, ion milling, and electrode fabrication were observed by the optical microscope.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 1997.10a
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• pp.158-161
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• 1997

소일정 부하조정 방법에는 대상기간을 결정하여 대상기간에 속하는 공정들에 국한시켜 부하조정을 하는 방법과 현재 기준일을 설정후 현재기준일 이후에 속하는 전체 공정에 대하여 부하조정을 하는 방법이 있으며 이들은 각각 장단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 전자의 경우에 대하여 고찰하였으며 특히 소일정 부하조정 루틴, 주요 처리 모듈 및 전제 조건 등에 대하여 구체적인 실례를 들어 분석, 고찰하였다.

• IE interfaces
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• v.10 no.3
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• pp.155-166
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• 1997

기초자료는 시스템 구축과정에서 시스템 테스트 및 운영을 위한 가장 기본이 되는 원시자료(source data)로서 프로그램 개발과 병행하여 구축해야 한다. 이러한 기초자료의 구축없이 시스템 운영은 어려우며, 따라서 기초자료 구축 및 검증기간을 단축시키는 것은 결국 시스템 개발 기간을 단축시키는 하나의 효과적인 방법이 된다. 이러한 측면에서 본 연구에서는 공정관리 시스템 개발시 필요한 기초 자료 구축 및 이에 따른 검증 방안을 제시하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2006.05a
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• pp.201-202
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• 2006

To analyze the dynamic characteristics of the bundle drawing process, we employed a Random Phase Spectrum method to generate stochastic test signals that had a given autocorrelation function. And the spectra of the dynamics of the process outputs were obtained, based on the dynamic model of the bundle drawing process. Results showed that the RPS method was very effective to generate stochastic signals that had an exponential function form. The drawing process had the traits that there existed a special frequency range, incurring the process resonance.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.99.2-99.2
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• 2016

본 발표에서는 공중에 떠있는 그래핀 기반 나노전기역학 시스템 (NEMS)의 기본 물성과 응용 방법에 대해 소개하고자 한다. 단겹 그래핀을 리본형태로 패턴하고 마이크로 전사기술을 통해 공중에 띄우는 공정을 이용한 그래핀 NEMS 소자 제작 방법을 먼저 소개하고 우리 연구그룹에서 지금까지 측정한 이 구조의 기본 역학적 물성 연구 결과를 소개한다. 미세 질량이 공중에 매달린 그래핀에 더해짐에 따라 역학적 공명 주파수가 줄어드는 현상을 이용하여 그래핀 기반 초미세 질량 센서 응용 방법에 대해 먼저 말하고 이후 같은 구조로 역학적 공명주파수를 이용한 RF 소자 응용 가능성에 대해서 이야기 하고자 한다. 마지막으로 다시 같은 구조를 통해 그래핀 자체에서 강한 가시광선이 발광되는 현상을 처음으로 발견한 내용에 대해 소개하고 이 현상에 대한 물리적 분석과 함께 응용 가능성을 제안하며 발표를 마무리하고자 한다.