• Title/Summary/Keyword: 공정률

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SiNx의 Substrate temperature와 gas ratio의 변화에 따른 특성

  • Baek, Gyeong-Hyeon;Jang, Gyeong-Su;Lee, Won-Baek;Lee, Jun-Sin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.250-250
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    • 2010
  • Flexible display의 발전에 따라 점차 고온 공정에서 plastic 기판에 영향을 주지 않는 저온 공정으로 변화해 가고 있다. 이러한 발전에 따라 공정온도에 따른 SiNx의 특성 분석을 위해 우선 150C~300C에서 SiNx의 박막을 증착하였다. gas ratio (SiH4:NH3=4:60)와 Power (50W), 공정시간(25min)을 고정하고 온도만을 가변하여 박막의 특성을 분석하였다. 이후에 150C로 온도를 고정 후 gas ratio를 가변하고 Power (40W)와 온도(150C)는 고정 후 실험을 진행하여, 150C에서 최적화된 gas ratio를 알아내도록 하였다. 위의 실험은 p-type 실리콘 웨이퍼 위에 SiNx 박막 증착 후 굴절률과 증착률을 측정하였고, Al 전극을 증착하여 MIS구조를 구현하여, gate voltage에 따른 capacitance를 측정하였다. 이번 논문에서는 SiNx의 Substrate temperature와 gas ratio의 변화에 따른 다양한 특성을 확인하고 이를 체계적으로 분석하였다.

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머신비전을 이용한 자동차부품 자동검사/계측 시스템

  • Jeong, Won;Park, Seok-Hwan;Lim, Gyeong-Su;Park, Jong-Rak
    • Proceedings of the Korea Society for Industrial Systems Conference
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    • 1997.11a
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    • pp.489-501
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    • 1997
  • 국내에서 생산되는 자동차부품이 국제적으로 경쟁력을 갖춘 제품이 되기 위해서는 불량률이 적어도 100 ppm 이하가 되어야 한다. 본 연구의 목적은 검사와 계측이 동시에 필요한 자동차 부품 제조 공정에 불량률 최소화 달성을 위한 산업체의 필요에 맞도록 머신비전을 이용하여 검사/계측 자동화시스템을 개발하는 것이다. 이 시스템은 생산부품을 전수검사하고 불량품을 100% 발견하는 것은 물론 데이터를 통계적으로 분석하여 이상원인이나 공정의 변화가 있을 때 이를 빨리 발견하여 많은 불합격품이 만들어지기 전에 공정을 조사하고 수정할 수 있는 조치를 취할 수 있도록 하였다. 이는 정확한 최신 데이터로 신속한 경향관리가 가능하도록 하는 것이며, 품질의 예방관리를 실현하는 것이다. 털 논문에서는 구체적 응용사례로서 자동차 Door inner panel의 프레스 공정에 대한 검사/계측시스템을 예시하였다.

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An Effective Threshold based Call Admission Control in ATM Networks (ATM망에서 효율적인 문턱 값 기반 호 수락 제어)

  • 김상철;고성택
    • Proceedings of the Korea Institute of Convergence Signal Processing
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    • 2000.08a
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    • pp.33-36
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    • 2000
  • ATM 트래픽 제어를 위해서 효과적인 호 수락 제어 방법이 필요하다. 이것은 호 수락 과정에서 서로 다른 종류의 서비스들에 대해서 높은 이용률과 공정성을 제공하여야 한다. 본 논문에서는 호 수락의 공정성과 대역폭 이용률을 높이기 위하여 링크에 문턱 값을 적용한 새로운 CST(Complete Sharing with Threshold)알고리즘을 제안하였으며 부하와 문턱 값의 변화에 따른 성능을 분석하였다.

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A study on etching of SiON films using $C_2F_6$ inductively coupled plasma ($C_2F_6$ 유도 결합 플라즈마를 이용한 질산화막 식각공정에 관한 연구)

  • Lee, Duk-Woo;Kim, Byung-Whan;Lee, Byung-Taek
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.155-158
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    • 2004
  • 질산화 (SiON) 막은 메모리와 광통신 소자 제조를 위해 활발한 응용이 기대되는 중요한 재료이다. SiON막 증착특성에 관해서는 많은 연구보고가 있었으나, 식각특성에 대해서는 그 발표가 매우 미미하다. 이에 본 연구에서는 PECVD를 이용하여 증착한 SION 박막을 Ni 마스크를 이용하여 식각하였다. 공정변수에는 소스 전력, 바이어스 전력, 압력, 그리고 $C_2F_6$ 유량 등이며, 각 변수의 실험범위는 400-1000 W, 30-90 W, 6-12 mTorr, 그리고 30-80 sccm이다. 식각률은 소스전력의 증가에 따라 233 에서 444 nm/min으로 거의 선형적으로 증가하였다. 비슷한 경향성이 바이어스 전력의 증가에 따라 관찰되었다. 이는 식각률이 플라즈마 밀도와 이온충돌 에너지에 강하게 영향을 받고 있음을 의미한다. 6-10 mTorr의 압력범위와 30-50 sccm의 $C_2F_6$ 유량범위 내에서의 식각률의 변화는 매우 미미하였다. 그러나 고압 (12 mTorr)과 고 유량 (60 sccm)에서 식각률은 크게 상승하거나 감소하였다. 전체 실험범위에서 관측된 식각률의 범위는 233-444 nm/min이었다.

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PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

  • Jeong, Jae-Uk;Chu, Seong-Jung;Park, Jeong-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.123-124
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    • 2011
  • 플라즈마 화학적 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition)공정 중 NH3 gas flow rate, RF power, SiH4 gas flow rate을 고정시키고 N2O gas flow rate을 0 sccm부터 250 sccm까지 변화시키는 조건 하에 SiON박막을 증착한 후 그 투과율, 굴절률을 측정하고 분석하였다. N2O gas flow rate조건별 시편들은 증착율을 계산하여 350 nm 두께로 동일하게 SiON을 증착하였고, borofloat위에 SiON을 증착한 샘플은 투과율을, 실리콘기판 위에 SiON을 증착한 샘플로는 굴절률을 측정하였다. 투과율의 경우는 UV/Vis spectrometer를 이용해 633 nm, 1550 nm 두 가지 파장 대 모두에서 N2O gas flow rate이 가장 큰 250 sccm일 때 가장 높은 것을 알 수 있었고 N2O gas flow rate이 낮아질수록 투과율 또한 작아지는 경향을 보였다. 굴절률은 ellipsometer를 이용해 측정하였으며 633 nm 파장에서 N2O gas flow rate가 가장 낮은 0 sccm일 때 굴절률이 가장 큰 값을 가지고 N2O gas flow rate이 커질수록 굴절률은 지수함수적으로 감소되었다(n=1.837~1.494). 이는 N2O gas flow rate이 낮을수록 SiN계열에 커질수록 SiO2계열에 가까워지는 현상으로 이해된다. 이러한 실험분석 결과는 향후 실리카 도파로의 설계 및 최적화를 위해 사용될 수 있다.

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The fuzzy transmission rate control method for the fairness bandwidty allocation of ABR servce in ATM networks (AYM망에서 ABR 서비스의 공정 대역폭 할당을 위한 퍼지 전송률 제어 기법)

  • 유재택;김용우;김영한;이광형
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.22 no.5
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    • pp.939-948
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    • 1997
  • In this paper, we propose the new rate-based transmission rates control algorithm that allocates the fair band-width for ABR service in ATM network. In the traditional ABR service, bandwidth is allocated with constant rate increment or decrement, but in the proposed algorithm, it is allocated fairly to the connected calls by the fuzzy inference of the available bandwidth. The fuzzy inference uses buffer state and the buffer variant rate as the input variables, and uses the total transmission rate as a output variable. This inference a bandwidth is fairly distributed over all ABR calls in service. By simmulation, we showed that the proposed method improved 0.17% in link effectiveness when RIF, RDF is 1/4, 38.6% when RIF, RDF 1/16, and 82.4% when RIF, RDF 1/32 than that of the traditional EFPCA.

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The Effect of Strain Rate and Temperature on Plastic Deformation of a Metal (변형률 속도와 온도가 금속의 소성변형에 미치는 영향)

  • 김기태;조윤호;백응율
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.15 no.5
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    • pp.1486-1494
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    • 1991
  • 본 연구에서는 분말단조 공정의 유한요소 컴퓨터 시뮬레이션을 위한 기초연구 로 다공질예비성형체의 기지(matrix)인 합금강의 변형률 속도와 온도에 따른 일축 압 축하의 열-점소성 거동을 조사하였다. 변형률 속도와 온도의 영향을 동시에 고려하 기 위하여 변형률 속도 .epsilon.=$10^{-4}$, $10^{-2}$$10^{-1S-1}$과 온도범위 800~ 1200.deg. C에 대하여 실험하였다.

An Estimating Model for Job-Site Overhead Costs according to Progress Rate (공정률에 따른 아파트 건설공사 현장관리비 산정모델)

  • Jeong, Kichang;Lee, Jaeseob
    • Korean Journal of Construction Engineering and Management
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    • v.19 no.5
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    • pp.43-52
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    • 2018
  • Generally, research on construction cost has been done mostly regarding its direct cost, thus model regarding indirect cost lacks attention. This research seeks to introduce a model to predict on-site overhead cost for apartment construction projects, which constitutes a big portion in Korean construction industry. We devised an equation of 9th degree via curve-fitting, using multiple on-site actual expense data, which can be used to calculate per-progress rate, per-day on-site overhead cost. We further show prospective usage of the model by applying it on construction projects sizing about 30 billion won. Regarding the fact that previous studies could not recognize pattern changes of a total on-site overhead cost, this model is worthy of its conveniency and thoroughness, as well as providing reasonal ground for its derivation in predicting on-site overhead cost of apartment construction projects.

A Study on Shrinkage Variation according to Temperatures of Dry and Wet Heat Treatments(III) (습.열 열처리 온도 변화에 따른 PET 絲의 수축률 변화(III))

  • 서봉기;김승진;홍성대;김소연;김태훈
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2002.04a
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    • pp.167-170
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    • 2002
  • 일반적으로 합섬filament絲를 이용하여 제품을 제조 할 때 많은 부가공정들을 거치게 되며, 이들 각 공정과 공정 사이에는 항상 열과 장력을 받게 된다. 전보$^{ 1).2)}$ 에서 설명 된 것과 같이 이들 열과 장력은 각각의 공정에서뿐만 아니라 후공정에서의 제품의 품질에도 영향을 미친다. 이러한 요인으로 인한 제품의 불량은 상품가치저하뿐만 아니라 cost 상승, 수출 경쟁력 저하등에 까지 영향을 미치므로 일선 산업라인에서는 심각한 사항이 아닐 수 없다. (중략)

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POY 물성과 가연조건이 가연사 습ㆍ건열수축률에 미치는 영향

  • 박경순;김승진;정기진;강지만
    • Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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    • 2003.04a
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    • pp.167-171
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    • 2003
  • 최근 다양화된 합섬소재의 등장으로 인해 원사가 다양화되고 그에 따른 가공기술 등의 공정이 복잡해짐에 따라 이들 소재의 기본이 되는 원사의 물성이 중요시되고 있는 실정이다. 또한 고부가가치의 직물을 생산하기 위해서는 이들 원사의 특성뿐만 아니라 원사 이후의 공정 특히 사가공공정에서의 각 공정에 따른 사의 물성을 파악하는 것도 중요하다. 합섬 필라멘트의 경우 원사제조 후 제작준비와 제직, 염색ㆍ가공공정을 거치면서 여러 가지 습ㆍ건열 열처리 온도변화를 받게된다. (중략)

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