• 제목/요약/키워드: 공압밸브

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반도체 제조장비용 챔버의 가스 누출 방지 모듈 개발 (A Study of protecting module of chamber gas leakage for semiconductor manufacturing process)

  • 설용태;박성진;이의용
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2005년도 춘계학술발표논문집
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    • pp.132-135
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    • 2005
  • 본 연구에서는 반도체 제조 공정에 이용되는 가스의 흐름을 감지하고 제어하는 장치를 제안하였다 압력센서를 MFC(Mass Flow Controller)에 의해 제어되는 다음 단의 파이널밸브(Final Valve)와 챔버사이의 가스관에 부착시켜, 이 압력센서의 신호와 공압밸브의 동작 신호를 디지털 회로를 이용하여 실시간으로 제어하도록 하였다. 이로써 반도체 제조 공정 중에 발생할 수 있는 2차 소성물로 인한 가스의 흐름 제어와 관련된 시스템 고장을 LED를 통해 실시간으로 확인 가능하다. 또한 가스누출고장발생 시 반도체 제조 공정의 프로세스를 중단시켜 장비의 손상 및 안전사고를 예방하는 기능도 있다. 본 연구에서 개발된 모듈을 이용함으로써 가스밸브의 오동작에 의한 반도체/디스플레이 제조장비의 신뢰성 향상을 기할 수 있다.

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3/2 WAY 공압밸브의 유동-구조적 특성을 고려한 최적설계 (DESIGN OPTIMIZATION OF AN INDUSTRIAL 3/2 WAY PNEUMATIC VALVE CONSIDERING FLOW-STRUCTURE CHARACTERISTICS)

  • 양설민;백석흠;김태우;정일선;강상모
    • 한국전산유체공학회:학술대회논문집
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    • 한국전산유체공학회 2011년 춘계학술대회논문집
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    • pp.605-607
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    • 2011
  • A Study on the flow-structure characteristics of a 3/2 way pneumatic valve is essential for optimizing the performance of ship engines. It is important for the valve to have desirable safety factor am reduced weight from the safety and economic point of view. In this study, we capture flow-structure characteristics of 3/2 way pneumatic valve. This is optimized based on the proper design criteria. The air at a pressure of 30 bar is the working fluid which is made to fill in the tack in short time. This time is defined as the filling time. The flow and structure analysis is performed for three cases under maximum stress and safety factor. In optimum design, considering the flow-structure characteristics, we model twenty seven cases by using DOE(design of experiments) method Here, analysis for each cases is performed and then metamodels are created We obtain optimized parameters and then analysis is repeated to compare with the initial model. Finally, the feasibility of the optimum design is verified.

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절충의사결정방법을 이용한 선박용 3/2WAY 공압밸브의 다목적 최적설계 (Multi-objective Optimization of Marine 3/2WAY Pneumatic Valve using Compromise Decision-Making Method)

  • 김준오;백석흠;김태우;강상모
    • 한국기계가공학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.81-90
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    • 2013
  • A study on the flow-structure characteristics of marine 3/2WAY pneumatic valve is essential for optimizing the performance of ship engines. It is important that the valve has desirable safety factor and reduced weight from safety and economic point of view. In this paper, flow-structure characteristics of pneumatic valve is obtained by being optimized based on the proper design criteria. The air with the pressure of 30 bar is the working fluid which is made to fill in the tack in short time. This time is defined as the filling time. On optimum design by considering the flow-structure characteristics, the approach is based on (1) the mathematical formulation of design decisions using the compromise decision-making method, and (2) the approximation technique of response surfaces. The methodology is demonstrated as the multi-objective optimization tool to improve the performance of marine 3/2WAY pneumatic valve.

추진제탱크 가압용 솔레노이드밸브의 작동특성 분석 및 해석 (Analysis of Dynamic Characteristics and Performance of Solenoid Valve for Pressurization Propellant Tank)

  • 장제선;김병훈;한상엽
    • 한국추진공학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.128-134
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    • 2013
  • 우주발사체 추진기관 공급계에서 2-way 솔레노이드밸브는 제어시스템의 명령에 의해 추진제 탱크를 가압하여 탱크내의 압력을 조절한다. 가압용 솔레노이드밸브의 제작에 앞서 설계검증 및 기본적인 작동특성을 분석하기 위해 AMESim상용코드를 이용하여 해석모델을 수립하였다. FLUENT 상용코드를 이용하여 내부유동해석을 수행하여해 해석의 정확도를 높이고, 모델을 검증하기 위해 동특성 해석을 통해 입구압력에 따른 작동시간을 시험결과와 비교하였고 잘 일치함을 확인하였다. 또한 해석 모델을 이용하여 컨트롤밸브와 기본밸브의 설계변수에 대한 밸브의 동특성 해석을 수행하였다. 해석을 통해 기본밸브의 시트형상과 직경비에 따른 밸브의 작동시간, 작동성능, 개폐압력을 예상하였다.

산화제 개폐밸브의 힘평형에 관한 연구 (A Study on the Force Balance of a Main Oxidizer shutoff Valve)

  • 전재형;홍문근;김현준;이수용
    • 한국항공우주학회지
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    • 제37권8호
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    • pp.812-818
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    • 2009
  • 산화제 개폐밸브는 일반적으로 공압으로 포핏을 열고 닫음으로써 로켓엔진에 액체산화제유량을 제어한다. 상용되는 산업용 밸브와는 달리 현재 개발 중인 산화제 개폐밸브는 밸브는 효과적인 기밀을 위해 피스톤과 포핏이 접촉되어 있을 뿐, 분리되어 설계되어졌다. 밸브가 닫히는 동안 피스톤과 포핏이 떨어져서 움직이는 것을 피하고, 밸브의 전반적인 작동 성능을 파악하기 위해서 힘평형 해석이 수행되었다. 또한 더욱 정확한 해석을 위해, 마찰력과 포핏에 작용하는 힘을 각각 시험과 CFD 해석을 통해 구해내었다. 해석 결과를 통해 힘평형 해석에서 스프링, 마찰력과 공압부의 오리피스 크기와 같은 중요한 설계인자들의 영향을 알아보았으며, 현재 개발 설계중인 산화제 개폐밸브의 작동성능을 확인하였다.

개비온 끝단 소둔선 결합용 이송 가이드 장치 개발 연구 (Development of Transportational Guide System for Joining Small Wire with Gabion)

  • 이종길;김종태
    • 대한공업교육학회지
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    • 제31권1호
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    • pp.211-225
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    • 2006
  • 개비온은 일반적으로 도로 유실 방지나 사방공사용으로 사용된다. 그러나 개비온의 끝단과 소둔선의 결합은 수동 작업으로 이루어지고 있다. 본 논문에서는 개비온 끝단을 소둔선과 자동으로 결합하기 위한 자동 이송 가이드 장치를 개발하고 이를 시험하였다. 자동 이송 가이드 장치는 공압 회로를 이용하여 설계하고 실린더의 이송 변위를 시뮬레이션 하였다. 이송 가이드 장치는 주로 3/2 방향 수동제어밸브와 5/2 방향 수동제어밸브 그리고 8개의 복동 실린더를 사용하였고 공압 회로를 완성하여 실제 제작하였다. 이송 장치의 한 사이클 작동시간은 46.48초로 계측되었고 가이드 장치의 작동으로 인한 작업장내의 추가적인 환경소음진동의 유발은 없는 것으로 나타나 제작된 장치가 설계사양을 만족함을 검증하였다. 본 결과는 2006년도에 특허출원 되었다.

고압가스 충전용 밸브 개발(드레인밸브 기능포함) (Development of Rechargeable High-pressure Gas Valve (Capability of Valve to Drainage))

  • 권경옥
    • 한국가스학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.64-67
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    • 2008
  • 초고압 공압용 패킹을 적용한 밸브를 개발하여 밸브의 수명 및 기밀도를 높이고자 하였다. 밸브핸들 부위를 통하여 잔압을 제거할 수 있는 구조를 구현하여, 별도의 드레인밸브가 필요 없는 효과적인 밸브를 개발하였으며 특성은 밸브 팩킹을 특수한 형태로 가공하고, 기둥에 드레인 홀을 구성하여, 밸브가 열리거나, 닫힌 상태에 관계없이 드레인이 가능하도록 하였다.

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시뮬레이션을 기초로한 누기보상 공압제어밸브시스템의 Design Approach에 관한 연구 (A Study n the Simulation-based Design Approach for Pneumatic Control System with Anti-leakage)

  • 김태형;정원지;최은재
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.488-491
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    • 1997
  • In this paper, a ncw control 'ialvc which can misc air-iraksge pneumatically and compensate pressure drop for an alrho~ st system uas proposed A new control valve called "Pneuniatic C70ntro1 Valve (PCV)" functions as a control valve to compcns;ltc prcssure in thc casc of air-leakage. by using the pure pneummatic control ofpilot pressure. Based on the sirnulation of the proposed PCY, thc experimental system was fabricaied su as to illustrate the efficient pcrformance of the proposed PCV with anti-leakage. Such good perfo~manccs of PCV in the air-hoist system are shown by the simulation. In addition, the simulation bascd design approach presented in this paper can be applied to any hydraulic or pneumatic-hydraulic system.

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직동식 공압서보밸브의 Force Motor 설계 및 성능시험 (Design and Performance Test of the Force Motor for Direct Drive-type Pneumatic Servo Valve)

  • 이원희;김동수;박상운
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.836-839
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    • 2003
  • A pneumatic servo valve which is widely applied in industrial field. And It is consist of force motor, spool & sleeve and servo controller. In this study. we developed the force motor which is consume to low power for a pneumatic servo valve. We could reduce the number of turn of the solenoid by using ferromagnetic permanent magnet and took different direction of each other using one coil instead of two coil. we modeled a system consisting of various electro-mechanical subsystems. The appropriateness of the model was verified by simulation. The simulation model resolved the motion of spool, the winding current and the magnetic force. Also, we calculated the displacement and velocity of the spool, flux contour line, b vector. flux density. flux linkage, back EMF etc.

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On/Off 밸브를 이용한 공압 실린더의 지능제어 (Intelligent Control of Pneumatic Actuator using On/Off Valve)

  • 안경관;표성만;송인성;이병룡;양순용
    • 한국정밀공학회지
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    • 제20권8호
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    • pp.86-93
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    • 2003
  • The development of a fast, accurate, and inexpensive position-controlled pneumatic actuator that may be applied to a variety of practical positioning applications with various external loads is described in this paper. A novel modified pulse width modulation (MPWM) valve pulsing algorithm allows on/off solenoid valves to be used in place of costly servo valves. A comparison between the system response of standard PWM technique and that of the novel modified PWM technique shows that the control performance is significantly increased. A state feedback controller with position, velocity and acceleration feedback is successfully implemented as the continuous controller. Switching algorithm of control parameter using learning vector quantization neural network (LVQNN) is newly proposed, which estimates the external loads of the pneumatic actuator. The effectiveness of the proposed control algorithms are demonstrated through experiments with various loads.