Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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2001.09a
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pp.212-215
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2001
남악지역에 분포하는 조간대 퇴적층의 층서구조와 퇴적심도 및 기반암의 단열구조를 파악하기 위한 전기비저항탐사를 실시하였다. 조간대 퇴적물에서 비저항은 하부로 갈수록 증가하며 대부분 3.0 Ohm-m이하의 비저항으로 고비저항의 기반암의 기반암과 뚜렷한 경계를 보여준다. 퇴적층의 층후는 퇴적지 중앙부에서 30m를 최대로 북쪽 (고해안선)과 남쪽 (영산강)으로 갈수록 감소하는 경향을 보여주는데 선행 조사된 시추결과와 일치한다. 일부 지역의 전기비저항 해석단면과 시추단면에서 견고한 점토질 (stiff)의 지층이 분포하는데 이 지층은 북서-남동 방향의 고해안선과 나란하게 분포한다. 이것은 퇴적물을 공급한 흐름의 방향과 조간대의 확장방향이 북서-남동 방향임을 지시한다. 기반암의 단열구조로 판단되는 저비저항대는 조사지역의 동부에 집중되어 있으며 단열대의 연장방향은 북서-남동 방향이 우세하다.
비만과 관련된 질환은 당뇨병, 고혈압, 고지혈증, 죽상경화증(동맥경화증), 심근경색증, 지방간, 담석증, 골 관절염, 통풍, 폐쇄성 수면 무호흡증, 대장암, 직장암, 전립선암, 유방암, 자궁내막암 등의 각종 암, 불안, 우울, 적응장애, 히스테리 등의 심리적 질환 등이 있다. 비만이 있을 때 우리 몸에서는 인슐린 자체에 대한 저항성이 생겨서 말초조직에서의 포도당 이용이 감소된다. 연구에 의하면 표준체중의 45$\%$ 이상을 초과한 비만환자는 당뇨병 발생의 위험도가 30배 증가된다고 알려져 있다. 비만이 있을 때 흔히 동반되는 질환들 중 특히 고혈압, 고지혈증, 죽상경화증 등의 질환은 당뇨가 있을 때 흔히 동반될 수 있는 질환들이고, 인슐린 저항성과 깊은 관계가 있는 질환들로 당뇨인들에게 비만은 매우 중요한 질환이라고 할 수 있겠다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2007.11a
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pp.153-154
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2007
결정질 실리콘 웨이퍼의 두께와 비저항은 태양전지의 효율을 결정하는 매우 중요한 요인이다. 높은 효율을 갖는 태양전지 설계를 위해 태양전지 시뮬레이터인 PC1D 프로그램을 이용하여 태양전지 웨이퍼 두께, 웨이퍼 비저항, 에미터 도핑 농도를 조절하였다. 최적화 결과, 베이스층 두께 $100{\mu}m$, 비저항 $0.1{\Omega}{\cdot}cm$, 에미터층 도핑 농도 $3{\cdot}10^{18}cm^{-3}$에서 $J_{sc}=39(mA/cm^2),\;V_{oc}=734(mV),\;P_{max}=3.17(W)$, FF=74, Efficiency=21.3%의 고효율을 얻을 수 있다. 본 연구를 통하여 태양전지 설계나 제조 시에 연구비를 절감할 수 있고 높은 효율의 태양전지로 접근할 수 있다.
To clarify the geological structure of Yangsan fault around Sangchon-ri in the southern part of Kyungsang Basin the resistivity (dipole-dipole profiling) and VLF surveys carried out on the four profiles, crossing the inferred trace of the fault. The resistivity contrast across the fault is clearly shown on the profiles: higher resistivity and lower resistivity on the east and west, respectively. It is most likely from the uplift of the granitic bedrock on the east park due to the strike-fault raulting with vertical movement. The zero-crossing points of VLF anomalies, associated with near-surface fracture zone, are found to well correlate with the resistivity boundaries from the dipole-dipole profiling. Consequently, southern segment of Yangsan fault (at Sangchon-ri area) is interpreted to be vertically developed strike-slip fault with a difference more than 10m depth of basement rock at both sides.
Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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2000.11a
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pp.270-272
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2000
석탄 화력 발전소 둥에서 배출되는 입자상의 분진은 대부분 고 비저항 분진이며, 분진의 전기저항치가 $10^{12}$$\Omega$-cm 이상의 초고전기저항 분진에 대하여 역코로나 방지대책으로 S $O_3$ 주입기술이 있는데, 기존의 화학적인 주입설비는 매우 고가이다. 이에 본 연구에서는 배가스중의 S $O_2$ 가스를 전기 코로나 플라즈마에 의하여 S $O_3$로 변환시켜 궁극적으로 고 전기저항 분진의 전기저항을 저하시켜 고집진 효율을 달성하고자 하는 시스템에서 이에 대한 타당성을 검증하기 위하여 실험실 규모의 기초실험을 수행하였다(H. Szwed and St. Bach, 1996). (중략)
In this paper, high purity RF sputter-type ion source for non-mass separated ion beam deposition was evaluated. The fundamental characteristics of the ion source which is composed of an RF Cu coil and a high purity Cu target (99.9999 %) was studied, and the practical application of Cu thin films for ULSI metallization was discussed. The relationship between the DC target current and the DC target voltage at various RF power and Ar gas pressures was measured, and then preparation conditions for Cu thin films was described. As a result, it was found that the deposition conditions of the target voltage, the target current and the Ar pressure were optimized at -300 V, 240 W and 9 Pa, respectively. The resistivity of Cu films deposited at a bias voltage of -50 V showed a minimum value of 1.8 $\pm$ 0.1 $mu\Omega$cm, which is close to that of Cu bulk (1.67 $mu\Omega$cm).
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.1
no.1
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pp.41-50
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1994
RuO2 분말의 비표면적이 후막저항체의 전기적 특성에 미치는 영향을 규명하기 위하 여 비표면적이 서로다른 RuO2 분말을 이용하여 RuO2 함량을 다양하게 후막저항을 형성하 고 그들의 전기적 특성을 저항체 막의 미세조직과 관련하여 고찰하였다. 그 결과 후막저항 체의 전기적 특성은 소성과정에서 RuO2 의 비표면적과 함량에 따라 도전통로를 통하여 발 달하여 소결접촉과 비소결접촉의 수와 그 비에 크게 의존함을 확인하였다.
최근 자동차 산업에서는 차체의 무게를 감소시켜 연비향상과 배기가스의 양을 줄이려는 목적으로 고강도 강재의 차체 적용이 증가하고 있다. 또한 다른 여러 산업에서도 두께 감소를 통한 경량화를 위해 고강도 강재가 사용되고 있다. 고강도 강재를 자동차 차체에 적용하면서 용접성에 대한 새로운 문제가 제기 되고 있으며 그 중 자동차 생산라인에서 차체의 조립공정의 대부분을 차지하는 저항 점 용접에 대한 연구가 중요한 이슈가 되고 있다. 이러한 고강도 강재의 저항 점 용접의 문제점으로는 잦은 날림발생을 들 수 있다. 이는 강도의 증가에 따른 비저항 증가와 필요 가압력의 증가로 인해 입열에 의한 가압부의 소성변형이 쉽게 발생하기 때문이다. 이를 방지하기 위해 현재 다단가압, 다단전류제어 등의 기법들이 시도되고 있다. 본 연구에서는 저항 점 용접의 펄스전류 파형설계를 통해 고강도강 용접의 날림발생을 저감하고자 하였다. 실험소재로는 Al-Si 도금의 1.5GPa 급 강재를 사용하였고 실험조건으로는 기존 로브곡선에서 날림이 발생하는 용접조건을 사용하였다. On/Off 방식의 펄스전류를 이용하여 On/Off 시간에 따른 용접성을 평가하여 이를 기존 용접성과 비교하였다. 또한 펄스전류 파형에 따른 입열과 냉각의 변화와 날림발생에 미치는 영향을 분석하였다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1998.02a
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pp.80-80
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1998
RU02 박막은 전이금속으로서 rutile 구조이며, 넓은 온도 영역에서 금속성의 를 나타내고, 700도 이상의 높은 온도에서 열적 안정성을 갖는 물질이다 이러한 특성 때문 에 RU02 박막은 실리콘 디바이스에서 배선 게이트 전극 확산 장벽 등에 응용가능성이 높 은 물질로 각광을 받고 있다- 특히 다결정 RU02 박막은 DRAM (dynamic random access m memory) 내의 강유전성 축전기의 전극으로서 유망한 물질이다. 지금까지 이러한 응용분야에 사용된 전극물질은 pt 금속이었다 그러나 이러한 금속전극은 SI 산소 그리고 강유전체의 구성물질 등과의 상호확산, pt 표면의 hillock의 존재로 생기는 전기적 단락, 기판과의 나쁜 점작성, 어려운 에칭 프로세스 등의 단점을 가지고 있다 더욱 더 심각한 문제는 P Pt'ferroelectric/Pt 구조에서 나타나는 aging과 fatigue인데, 이는 108 사이쿨 이후에 스위칭 가 능한 잔류 pOlarization 으$\mid$ 감소를 유발하게 된다- 최근 Berstein은 Pt 대신에 RU02를 사용함으로써 강유전체 축전기에서의 fatigue 현상을 크게 감소시켰다고 보고 한 바 있다 Burst川도 RU02 가 실리콘 표면과 유전체 물질 사이에 전기전도 어떠한 상호 확산도 일어나지 않음을 보였다. 그러나 이러한 연구 결과에도 증착조건과 RU02 박악의 특성에 관한 상호 관계가 충분히 더욱 더 중은 강유전성 박막올 만들기 위해서는 이러한 박막 전극에 않고 있다 연구되지 대한 상세한 연구가 반드시 필요하다고 본다. RU02 박막은 실리콘 기판 위에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착하였다. 사용 한 타켓은 2 인치의 직경을 가지는 CERAC 사에서 제작한 Ruol다 초기 진공은 1O~6 Torr 이하였고, 고주파 전력은 20 - 80W 까지 변화시켰다 반응성 스퍼터링율 하기 위해 아르곤과 산소롤 주입하였고, 산소/(산소+아르곤)의 비를 변화시켰다 기판의 온도와 증착압력은 각각 상온에 서 500도까지 , 5mTorr에 서 100mTorr 까지 변 화시 켰 다 RU02 박막의 결정성을 조사하기 위해 XRD 표면 형상과 단면을 조사하기 위해 SEM을 사용하였다‘ 박악의 비저항을 조사하기 위해 4-단자법 van der Pauw 방법을 사용하였다. RU02 박막은 증착압력이 높을수록 비저항은 높아지고, 두께는 감소하였다. 특히 1 100mTorr에서는 작업가스와 스퍼터된 입자사이의 심각한 산란 때문에 아예 증착이 이루어 지지 않았다‘ RF 전력이 증가할수록 비저항이 낮아졌다. 이는 두께에 의존하는 결과이며 전형적인 금속박막에서 나타나는 현상과 유사함을 알 수 있었다- 기판온도와 작업가스의 산소 분압이 높을수록 비저항이 감소하였다‘ 이러한 사실은 성장한 박악의 결정구조와 밀접한 관련이 있음을 보여준다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.11a
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pp.97-97
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2009
산업용 온수관련용 자동차용 등의 다양한 용도로 응용이 가능한 고기능성 세라믹 히터 제작을 위해 후막공정 기술을 적용한 적층형 세라믹 히터의 수요가 증가하고 있으며, 고열로 인한 변형의 우려가 있는 내열성 기판 제작에도 적층형 HTCC 세라믹 기판 적용이 확대되고 있다. 이러한 고내열성 세라믹 기판 제작을 위해서는 paste의 균일성, Low TCR 특성 및 세라믹과 paste 매칭성 확보가 중요한 요소이다. 본 연구에서는 W/Mo 함량비를 변화시켜가며 paste를 제조하여 비저항과 TCR 특성을 비교한 후 가장 낮은 값을 나타내는 조성을 선정하였다. 이 조성에 $Al_2O_3$, $Ta_2O_5$ 등의 첨가제를 사용하여 비저항 특성 개선을 위한 실험을 통해 우수한 고내열성 기판용 paste 조성을 확보하고자 하였다. 그리고 이 Paste를 적용하여 HTCC 그린시트와 매칭성 조건을 확인하고자 하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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