Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Electrical Properties and HTCC Application of W Paste with additives

첨가제에 따른 W 전극의 전기적 특성 및 HTCC 적용성

  • Cho, Hoon-Hwi (Korea Institute of Ceramic Engineering & Technology) ;
  • Yeo, Dong-Hun (Korea Institute of Ceramic Engineering & Technology) ;
  • Hong, Yeon-Woo (Korea Institute of Ceramic Engineering & Technology) ;
  • Sin, Hyo-Soon (Korea Institute of Ceramic Engineering & Technology) ;
  • Kim, Jong-Hee (Korea Institute of Ceramic Engineering & Technology)
  • 조훈휘 (한국세라믹기술원 바이오IT융합센터) ;
  • 여동훈 (한국세라믹기술원 바이오IT융합센터) ;
  • 홍연우 (한국세라믹기술원 바이오IT융합센터) ;
  • 신효순 (한국세라믹기술원 바이오IT융합센터) ;
  • 김종희 (한국세라믹기술원 바이오IT융합센터)
  • Published : 2009.11.12
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Abstract

산업용 온수관련용 자동차용 등의 다양한 용도로 응용이 가능한 고기능성 세라믹 히터 제작을 위해 후막공정 기술을 적용한 적층형 세라믹 히터의 수요가 증가하고 있으며, 고열로 인한 변형의 우려가 있는 내열성 기판 제작에도 적층형 HTCC 세라믹 기판 적용이 확대되고 있다. 이러한 고내열성 세라믹 기판 제작을 위해서는 paste의 균일성, Low TCR 특성 및 세라믹과 paste 매칭성 확보가 중요한 요소이다. 본 연구에서는 W/Mo 함량비를 변화시켜가며 paste를 제조하여 비저항과 TCR 특성을 비교한 후 가장 낮은 값을 나타내는 조성을 선정하였다. 이 조성에 $Al_2O_3$, $Ta_2O_5$ 등의 첨가제를 사용하여 비저항 특성 개선을 위한 실험을 통해 우수한 고내열성 기판용 paste 조성을 확보하고자 하였다. 그리고 이 Paste를 적용하여 HTCC 그린시트와 매칭성 조건을 확인하고자 하였다.

Keywords