• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.464-464
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• 2012

본 연구에서는 DBD (Dielectric Barrier Discharge)방식을 통해 발생된 대기압 plasma를 이용한 Photoresist (PR) Ashing에 관한 연구를 하였다. 사용된 DBD 반응기는 기존의 blank planar plate 형태의 Power가 인가되는 anode 부분과 Dielectric Barrier 사이 공간을 액상의 도전체로 채워 넣은 형태의 전극이 사용 하였으며, 인가 Power는 40 kHz AC 최대 인가 전압 15 kV를 사용 하였고(본 연구에서 인가 power는 30 KHz,전압 14 KV를 고정시킴) 플라즈마를 발생시 라디칼의 활성화를 유지하기 위해 전극 온도가 $180^{\circ}C$ 정하였다. Feeding 가스는 N2, 반응가스로는 CDA(Clean Dry Air), SF6와 CF4가스를 사용 하였으며 모든 공정은 In-line type으로 시편을 처리 하였다. CDA ratio의 경우에 질소대비 0.2%때 이송속도 30 mm/sec 1회 처리 기존 PR ashing은 최대 $320{\AA}$의 ashing 두께를 얻을 수 있었다. SF6와 CDA가스를 같이 반응하는 경우 ratio는 CDA : SF6 = 0.6% : 0.6%에서 PR ashing rate이 $841{\AA}/pass$의 값을 얻을 수 있었고, CDA가스만 첨가하는 경우보다 약2.6배 증가함을 관찰할 수 있었다. CF4 가스를 사용하는 경우 ratio는 CDA : CF4 = 0.2% : 0.2%에서 PR ashing rate이 $687{\AA}/pass$의 값을 얻을 수 있으며 CDA가스만 첨가하는 경우보다 약 2.1배 증가함을 관찰할 수 있었다. 그리고 PR ashing rate가 가스첨가종류와 비율에 따라서 변화함을 관찰하였고 최적조건을 찾기 위해 연구를 진행하였다. 추후 PR ashing rate가 향상을 하기 위해 가스혼합비율 및 stage 온도등 조건을 조절하여 공정최적조건을 얻기 위해 연구를 진행하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2008년도 춘계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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• pp.116-118
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• 2008

기존의 무수은 면광원 램프의 구동방식은 한쪽의 극을 그라운드로 두거나 고정하고 나머지 극에 일정한 고전압을 인가하는 방식이다. 이러한 방법은 고전압 인가라는 특징으로 인한 전압 스트레스 증가 및 변위전류의 증가 그리고 파생되는 회로의 소손 문제 등이 발생하게 된다. 본 논문에서는 이를 해결하기 위한 방법으로 공진을 이용한 상대전압을 인가하여 스트레스를 줄이는 구동 방식을 제안한다. 제안한 방식은 각 소자의 전압 및 전류 스트레스를 줄일 수 있으며 이로 인하여 효율을 향상시킬 수 있으며 변압기를 사용하는 경우 변압기의 부피를 줄일 수 있는 특징을 가진다. 기존 방식과 제안한 방식을 비교하고 시뮬레이션을 통하여 확인 하였다.

• 동력기계공학회지
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• 제4권2호
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• pp.58-64
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• 2000

A method for the position control of a pneumatic cylinder using a linearized controller is proposed. Pneumatic cylinder has highly nonlinear characteristics and modelling of the system has been difficult. Compliance of the pneumatic cylinder is materially changed according to the operating position. So, in the case that fixed gain controller obtained by a linearized model at a specified position is used, response of the cylinder should be changed according to the operating position. In order to get a designed results regardless of operating positions, a controller for compensation of the nonlinear characteristic with a linearlization compensator is designed and simulation results show that this method is appropriate for the control object.

• 한국공작기계학회논문집
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• 제10권1호
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• pp.23-29
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• 2001

Cylindrical type of self-controlled restrictor are designed for hydrostatic bearing of grinding wheel spindle. Typical hydrostatic journal bearing with the designed restrictor is analytically model. According to the model, the affect of oper-ation parameters, such as, initial cross distance, supply pressure, diameter of two supply holes, pre-load of spring, and clearance between spindle and housing, on bearing stiffness are analyzed. From the results of the analysis, the optimum conditions of operation parameters that maximize the bearing stiffness are estimated.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2000년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.663-667
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• 2000

The spindle unit is core parts in high precision machine tools. Diverse static and dynamic charateristics of spindle unit are needed for special purpose of machine tools. Specially, high damping ability may be very useful to high precision and high speed spindle unit. But commercial bearing system has very low damping value and high stiffness. In this paper, the combined bearing system with ball-hydrostatic bearing is suggested for high damping spindle unit. The suggested bearing system has 30% damping ability more than general ball bearing's. The average rotational accuracy of spindle with combined bearing in working speed is 24% better than with ball bearing. The unbalance rotating experiment in spindle show that rotating error with combined bearing is only half value of with ball bearing.

• 유공압시스템학회논문집
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• 제8권3호
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• pp.14-20
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• 2011

This study aims at aligning multiple wafers to reduce wafer handling time in wafer processes. We designed a multilevel structure for a prealigner which can handle multiple wafer simultaneously in a system. The system consists of gripping parts, kinematic parts, vacuum chucks, pneumatic units, hall sensors and a DSP controller. Aligning procedure has two steps: mechanical gripping and notch finding. In the first step, a wafer is aligned in XY directions using 4-point mechanical contact. The rotational error can be found by detecting a signal in a notch using hall sensors. A dual prealigner was designed for 300mm wafers and constructed for a performance test. The accuracy was monitored by checking the movement of a notch in a machine vision. The result shows that the dual prealigner has enough performance as commercial products.

• 유공압시스템학회논문집
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• 제1권2호
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• pp.15-19
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• 2004

In this study, Design and simulation for low power consumption type pneumatic on-off micro valve was performed. And flow characteristics of the micro valve by stroke change was numerically investigated. As a result, it is shown that magnetic force(6.8N) is exerted enough to move poppet with 0.438mm stroke with 0.01 seconds of response time, and that there is no magnetic force emitted by yoke. Under the condition of poppet stroke smaller than about 0.4mm, dynamic pressure acts to poppet wall up to supply pressure level. But, that is decreasing to 40% when poppet stroke is 0.8mm.

• 유공압시스템학회논문집
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• 제8권1호
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• pp.10-18
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• 2011

In the beginning of this study, pressure in a cylinder and flow rate from a cylinder of a rotating-cam and fixed-cylinder type radial piston pump are investigated through numerical simulations, so that the simulation results might be utilized as basements for examining physical phenomena occurring in the pump assembly. Then, for supplying basic knowledge on pump design, pressure, flow and leakage characteristics of the pump assembly under the variations of major design parameters are investigated through numerical simulations. At the end, key design parameters influencing upon volumetric efficiency of the pump are listed.

• 유공압시스템학회논문집
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• 제6권4호
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• pp.24-32
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• 2009

For a design of on/off solenoid actuator for valve actuating, designer must have the experimental knowledge as well as general electromagnetic formulas to design object. It is possible for theoretical knowledge to do the out-line design, but it is impossible to optimal design without experimental knowledge which only can be achieved through many repeated experiments. In addition, in present on/off type solenoid actuator field, the smaller, lightening, lower consumption power, high response time are effected as the most important design factor. So, experimental knowledge is more needed for optimal design of solenoid actuator. In this study, we derived the governing equations for optimal design of on/off solenoid actuator for valve actuating and developed a design program composed electromagnetic theories and experimental parameter values for inexperienced designers. And we proved the propriety of this program by experiments.

• 구강회복응용과학지
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• 제37권1호
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• pp.48-60
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• 2021

치아의 병적 이동으로 전치가 정출되고 수직 피개가 깊은 치주염 환자에서는 치주 염증 치료와 더불어 정출된 전치의 위치 개선이 필요하다. 그러나 깊은 수직 피개로 교정 장치 부착이 어렵고, 역학적으로 전치 압하보다 구치 정출이 더욱 쉽게 발생하는 문제점이 있다. 특히 골격적 장안모를 보이는 환자에서 구치 정출을 통한 상대적 전치 압하는 안모의 악화를 야기하므로, 치료 계획에서부터 이를 차단하기 위한 설계가 필요하다. 본 증례에서는 전치가 정출되어 과개 교합을 보이는 치주염 환자에서, 철저한 치주 치료와 하악 전치에 부착한 cute bracket과 골성 고정원을 이용한 고정원 보강으로 하악 전치의 양호한 압하 치료 결과를 얻을 수 있었으며, 8년간 경과 관찰하여 이를 보고하고자 한다.