• 한국산학기술학회논문지
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• 제10권10호
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• pp.2572-2576
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• 2009

반도체 양산공정에 사용되는 웨이퍼 프로버의 척은 고온이건 저온이건 항상 일정한 온도균일도가 요구된다. 저온으로 운전 시에 온도분포를 써모커플을 이용하여 측정한 결과 온도균일도를 향상할 필요가 있음을 발견하였다. FLUENT를 이용한 전산해석을 하여 온도분포를 해석하였으며, 이 결과를 이용하여 냉각수 회로 배치의 변경과 국부적인 회로 폭의 확대 등 개선안을 제시하였다. 제시된 개선안과 현재 척의 온도분포를 비교한 결과 온도균일도가 향상되었음을 확인하였다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제9권1호
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• pp.49-52
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• 2002

본 연구를 통하여 저온 반도체 공정용 정전퍽(ESC)을 테이프캐스팅 공정에 의하여 스테인레스스틸에 소다붕규산염유리가 도포된 형태로 제작할 수 있음을 입증하였다. 스테인레스스틸 기판위의 유리 도포층은 125 $\mu\textrm{m}$의 두께로 제작되었다. 유리 도포층의 접합력은 매우 우수하여 $300^{\circ}C$이상의 온도변화에서도 균열이나 층간갈라짐 현상이 발생하지 않았다. 정전 고착압력은 전반적으로 이론적 관계인 전압의 제곱에 비례하는 경향을 보였으나, 고온과 고인가전압에서는 이 관계에서 벗어나는 것으로 나타났다. 이러한 이탈현상은 고온과 고인가전압에서 전기비저항의 감소에 따른 누설전류의 증가에 기인한다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.42-44
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• 2003

The paper presents the method and apparatus for conformal photoresist spray coating on the 3D structured substrate. The system consists of a high-temperature-rotational chuck, ultrasonic spray nozzle module, angle control module and nozzle moving module. The coating uniformity is acquired by controlling the moving speed of the ultrasonic spray nozzle across the substrate which is rotated constantly. To coat the photoresist conformally the spray angle of the nozzle and the temperature of the substrate are controlled during spray coating. The rotational chuck can be heated up by hot air or $N_2$. The photoresist (AZ1512) has been coated on the 3D structured wafer by spray coating system and the characteristics have been evaluated.

• 대한기계학회논문집B
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• 제30권10호
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• pp.957-965
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• 2006

A high-performance hot chuck is designed as a heating device for an ultra-precision flip-chip bonder with infrared alignment system. Analysis of design requirements for thermal performance leads to a radiative heating mechanism employing two halogen lamps as heating source. The heating tool is made of silicon carbide characterized by high thermal diffusivity and small thermal expansion coefficient. Experimental tests are performed to assess heat-up performance and temperature uniformity of the heating tool. It is revealed that the initial design of hot chuck results in a good heat-up speed but there exist a couple of troubles associated with control and integrity of the device. As a means to resolve the raised issues, a revised version of heating tool is proposed, which consists of a working plate made of silicon carbide and a supporting structure made of stainless steel. The advantages of this two-body heating tool are discussed and the improved features are verified experimentally.

• 한국식품저장유통학회:학술대회논문집
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• 한국식품저장유통학회 2003년도 제23차 추계총회 및 국제학술심포지움
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• pp.153-153
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• 2003

우리나라와 일본에서 특유의 향미로 인해 오래 전부턴 조미식품으로 애용되었던 참기름은 최근 토코페롤과 세사몰류 항산화 성분의 인체 기능성으로 인해 유지시장에 서 더욱 증가일로에 있다. 지금까지 좋은 향미와 품질을 지닌 참기름을 얻기 위해 참깨의 roasting조건에 대한 많은 연구가 이루어져 왔으나, 가공 전처리인 이물질 제거를 위한 수세 작업 및 탈수 작업에 관한 연구는 아직까지 없었다. 따라서, 본 연구에서는 이물질을 제거하는 수세 작업을 한 후 수분의 제거 정도 즉, 참깨가 roasting 과정으로 들어가기 직전의 수분 함량이 참기름의 제조와 품질에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 시료 350g을 수세 후 24 hr, 48 hr, 120 hr 실온에서 송풍 건조를 시켜 참깨 자체의 수분 함량을 각각 17.14%, 11.78%, 6.08%로 조절하여 착유하였다. 수분함량이 다른 세 군 시료를 각기 24$0^{\circ}C$, 26$0^{\circ}C$, 28$0^{\circ}C$에서 20분간 roasting하여 착유된 참기름에 대해 이화학적 품질 특성을 알기 위해 seed와 oil의 색도, 산가, 과산화물가, TBA가, 점도와 굴절률을 측정하였다. 또한, sample single test(5점 척도)를 이용한 관능검사를 행하여 benny, nutty, burnt flavor 및 전체적 만족도와 향의 강도 항목을 조사한 후 상관분석을 실시하였다. roasted sesame seed와 oil에 대해 색도를 측정하고 분산 분석을 실시한 결과, 참깨의 색도 중 L＊가 R-suare=1로서 전체 자료가 모형을 잘 설명해줌을 의미하는데, 고수분 시료일수록 whiteness가 높게 나왔고(60이상), 고온일수록 미미한 감소가 나타났다. 이것은 수분함량이 시료의 건화속도에 요인자로 작용함을 말해준다. oil의 L＊도 마찬가지 경향을 보이나 고수분 시료구의 경우(40 이상), 타 시료구(20이하)에 비해 백색도가 높은 것을 볼 수 있어 볶음에 더 많은 시간을 투자해야 함을 보여주었다. 그러나 a＊와b＊는 시료구간 뚜렷한 차이는 보이지 않았다. 참기름에 대하여 화학적 품질 평가로 산가는 수분함량 시료구별로 1.204, 3.28, 1.862가 측정되었고, 과산화물가는 0.493, 0.169, 0.315가 기록되었고, TBA가 또한 13.45, 10.27, 11.73로서 시료의 수분 함량과 상관없이 초기 산패 경향은 거의 없는 것으로 나타났다. 참기름의 물리적 품질요소로서 점도는 평균 85.57 cS, 굴절률은 평균 1.471로서 시험구간 이화학적 차이는 없는 것으로 드러났다. 관능검사결과의 상관분석에서는 beany와 burnt flavor간에 -0.9975(p＜0.05)의 음상관을, nutty flavor와 전체favor간에 0.99662의 양상관(p$\leq$0.05)을 보였고, burnt와 향의 strength, 전체 favor와 nutty flavor간에도 상관성이 높았다. strength와 nutty 항목간에도 0.982의 높은 상관을 보였으나 전체 favor와 burnt 항목간에는 높은 음상관(-0.9862)을 보였다. 고수분 함량의 시료는 28$0^{\circ}C$의 고온 처리시 외에는 향미가 좋지 못한 것으로 나타났고, 수분량이 적은 실험구는 고온일수록 향과 고소함은 강해지나 수분 보유량이 적어 타 실험구에 비해 탄내가 많이 발생하였다. 향미 만족도는 중간 수분량, 26$0^{\circ}C$ 볶음 처리구가 가장 컸다. 결론적으로 수분함량을 10~12%로 조절한 시료로 26$0^{\circ}C$~28$0^{\circ}C$에서 20분 이내로 roasting할 때가 좋은 참기름을 얻을 수 있을 것으로 사료된다.

• 자원환경지질
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• 제50권3호
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• pp.225-238
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• 2017

본 연구에서는 스팀주입중력법 (Steam Assisted Gravity Drainage, SAGD)을 이용한 오일샌드 개발 시 적지 선정을 위한 대안적 척도가 제시되었다. 기존 SAGD 공법 적용 시 스팀주입효율이 우수한 지역을 선정하기 위해 비투멘이 함유될 가능성이 큰 고투수성 퇴적층의 누적 층후가 주로 이용되었다. 그러나 고투수성 퇴적층의 누적 층후 외에도 수직 평균거리 또한 스팀주입효율에 큰 영향을 미칠 것으로 판단하였다. 따라서 본 연구에서는 해당 두 가지 척도(즉, 누적 층후도 및 수직 평균거리)가 SAGD 스팀주입효율에 미치는 영향에 대한 비교 및 분석이 이루어졌다. 이를 위해, 구성 암상 간 특정 전이확률을 기반으로 발생시킨 누적 층후 및 수직 평균거리가 상이한 다양한 가상의 2차원 저류층에 대해 고온 고압 증기 주입 모사를 실시한 후 생성된 스팀챔버의 크기를 비교 및 분석하였다. 2차원 SAGD모사 결과, 투수성 퇴적층의 수직 평균두께가 두꺼운 지역이 누적 층후가 두꺼운 지역보다 더 넓은 범위의 스팀챔버를 형성하는 것을 확인하였다. 따라서 최적의 오일샌드 개발 입지 선정 시, 기존에 이용되고 있던 누적 층후뿐만 아니라 투수성 퇴적층의 수직 평균거리도 함께 고려하였을 때 더욱 적합한 SAGD공법의 최적 입지를 선정할 수 있을 것으로 판단된다.

• KSBB Journal
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• 제10권2호
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• pp.212-220
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• 1995

본 연구에서는 강제성 에탄자화균인 M. trichas P parium OB3b를 메탄융기질에서 배양하면서 여러 환 경요인 벚 배지요인의 영향을 조사하고 최적 배양조 건을 구하였다. 또한 배양특성을 메탄기질 성장의 경우와 비교하였다. 본 연구에서 얻어진 결과를 요 약하면 다음과 같다. 1. 최대비성장속도는 메탄 기질 성장시 ${\mu}=$0.08hr^{-1}$ 인데 반해 메탄올 기질 성장시에는 ${\mu}=$0.20hr^{-1}$로 2배 이상의 증가를 보였다. 메탄융 최 척농도는 0.5% (v/v)이였다. 2. 질소원으로는 메탄올 기질에서는 암모니아가 질산염보다 우수한 반면 에탄 기질에서는 질산염이 우수하였다. 3. 질소원에 대한 균체수율 $(Y_{X/N})$ 은 탄소원의 종 류와 관계없이 모두 7.14g dry cells/g N으로 통일 하게 냐타났다. 탄소원(MeOH)에 대한 균체수율 $(Y_{X/S})$은 질소원으로 암모니아를 사용한 경우 0 0.8g dry cells/g MeOH이고 질산염을 사용한 경우 는 0.64g dry cells/g MeOH로 암모니아의 경우가 약 20% 가량 높았다. 4. 배양옹도는 최적옹도가 $30^{\circ}C$ 인데 메탄올의 농 도가 높은 경우 고온에셔 에탄융의 독성 증가에 따 른 비성장속도의 큰 감소를 관찰할 수 있었다. 5. pH는 6.5~8.0 범위에 완만한 최척값을 보여 주었다. 6. 인산염의 농도가 증가함에 따라 메탄올탈수소 효소(MDH)의 활성은 급격히 감소하였으나 에탄융 기질에서 균체의 비성장속도는 인산염농도 60mM까 지 거의 일정하였다. 이 결과는 MDH의 활성이 균 체의 최척성장에 필요한 활성의 거의 2배 이상 수준 으로 유지되고 있음을 보여준다. 7. 생물반응기 배양에 서는 pH조절과 메탄올의 첨 가로 최종 균체농도는 2.10mg dry cells/ml까지 볼 수있었다.

• 한국통신학회논문지
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• 제19권10호
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• pp.2028-2042
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• 1994

ART(Adaptive Resonance Theory) 신경회로망과 같은 자기조직망에서 신호와 잡음을 적절히 정의한다는 것은 어려운 문제이다. 즉, 한 입력 패턴의 일부분이 어떤 패턴에서는 입력 패턴의 신호로 다루어지나 다른 패턴에서는 잡음으로 취급되어야 할 대도 있다. ART 신경회로망 모델은 신호와 잡음의 정의를 문맥과 학습에 따라 적절하게 규정하기 위하여 계산 단위를 자동적으로 자기척도(Self-Scaling 할 수 있는 기능을 가지고 있다. ART 모델에서의 이러한 자기 척도 기능은 입력 패턴들이 유사한 성질을 가진 경우에는 유효하게 잘 동작한다. 그러나 ART 모델은 기본적으로 하나의 경계 인수에 의해 패턴을 분류하기 때문에 여러가지 성질이 복합된 입력 패턴을 효율적으로 분류하기가 어렵다. 예를 들어 패턴들을 자세하게 분류하기 위하여 경계 인수의 값을 크게 하면 잡음으로 취급되어야 할 부분이 신호로 취급되어 불필요한 인식 부류가 발생한다. 또한 경계 인수를 작게 하면 패턴을 구별하기 위한 중요한 정보가 잡음으로 취급되는 경우가 발생하여 비효율적인 분류를 한다. 본 논문에서는 ART 모델의 이러한 문제점을 해결하기 위하여 복합 특징을 분리 처리할 수 잇는 모듈화된 Coupled-ART 신경회로망 모델을 제안하였다. Coupled-ART 신경회로망 모델은 신경회로망의 구조를 기능별로 모듈화하고 이러한 모듈들을 서로 밀착된 구조로 결합하여 확장된 기능을 수행하는 형태로 구성하였다. 이러한 모듈화된 신경회로망을 통해 패턴 인식 과정에서 다양한 크기나 성질을 가진 특징들에 대한 분류를 비슷한 크기나 성질을 가진 특징들끼리 분리하여 분류를 하였다. 그리고 본 논문에서 제안한 상위층에서 각 모듈의 처리 결과를 종합하여 최종적인 분류를 함으로써 기존의 ART 모델보다 더 효율적으로 패턴을 분류할 수 있다.28.8%$)에서 높고 60 및 40%수분구(水分區)($23.6{\sim}24.1%$)에서 낮은 편이었다. 그러나 옥수수의 조섬유함량(粗纖維含量)에 따라 큰 차이(差異)가 없었다. 건엽(乾葉)의 조단백질함량(粗蛋白質含量)에 따라 큰 차이(差異)가 없었다. 건엽(乾葉)의 조단백질함량(粗蛋白質含量)은 60%수분구(水分區)($14.2{\sim}21.6%$) 및 40%수분구(水分區)($13.8{\sim}16.0%$)가 다른 고토양수분구(高土壤水分區)($7.3{\sim}13.9%$)보다 높은 편이었다. 5. 건경중(乾莖中)의 조섬유함량(粗纖維含量)은 $24.6{\sim}36.7%$로서 건엽중(乾葉中)의 함량(含量)보다 월등히 높았고 조단백질함량(粗蛋白質含量)은 $2.0{\sim}5.3%$로서 건엽중(乾葉中)의 함량(含量)보다 현저히 낮았다. 특(特)히 P.931의 건경중(乾莖中)의 조섬유함량(粗纖維含量)은 다른 작물(作物)에 비해 현저(顯著)히 높은 편이었다.적차이(量的差異)를 나타냈다.間)에는 부(負)(-)의 상관(相關)이 있다.($P{\leq}0.01%$). 5. NEL 및 starch value 환경온도(環境溫度)가 상승(上昇)됨에 따라 감소(減少)된다. 4 엽기(葉期) sorghum식물(植物)의 환경온도(環境溫度)를 달리 하였을 때 NEL가치(價値)는 각각(各各) 4.87MJ($30/25^{\circ}C$), 5.46MJ($25/20^{\circ}C$) 및 5.81MJ/kg($18/8^{\circ}C$)로 변(變)하여 고온(高溫)에서 net energy lactation 축적(蓄積)이 크게 감소(減少)되었다.다.

• 대한환경공학회지
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• 제22권12호
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• pp.2263-2273
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• 2000

희분식 고온/고압 미분반응기를 이용하여 습식산화 반응시 대표적 난분해성 중간 산화물질로 알려진 아세트산을 산화반응 기질로 하여 여러 가지 담체 및 촉매의 조합에 대한 산화반응성을 실험하였다. 사용된 담체는 다공성 실리카($SiO_2$), 티타니아($TiO_2$), 지르코니아($ZrO_2$), $ZrSiO_4$, $ZrO_2(10wt%)/TiO_2$ 등이었으며 촉매활성성분온 크게 Ru, Mn, Ce의 세 가지로서 단독 혹은 조합사용(2성분계 및 3성분계)시의 산화활성에 대하여 조사하였다. 이를 통하여 일차척인 활성이 우수한 것으로 나타난 $Mn(2.8)-Ce(7.2wt%)/TiO_2$ 혹은 $Ru(0.5)-Mn(2.7)-Ce(6.8wt%)/TiO_2$ 기준촉매의 활성증진을 위하여 p-type 반도체 물질(CoO, SnO 및 $Ag_2O$)를 첨가제로 소량 사용함으로써 이에 따른 습식산화 반응 상대 활성실험을 수행하였다. 우선, $Mn-Ce/TiO_2$ 기준촉매에 있어서, p-type 반도체 물질(CO, Sn Ag)을 첨가한 경우, 모두 활성증진효과를 보이며 크기 정도는 Co> Ag >Sn순이었다. 특히, $Mn(2.7)-Ce(6.8)-Co(0.5wt%) /TiO_2$에 있어서는 약 2.6배의 높은 활성상승이 나타났다. 이의 가시적인 주원인은 표면적 증가 및 시너지 효과에 기인하는 것으로 판단되었다. $Ru-Mn-Ce/TiO_2$ 기준 촉매에 있어서는 $Ru(O.5)-Mn(2.4)-Ce(6.1)-Co(1.0wt%)/TiO_2$에서만 활성증진효과를 보였으며 그 이외의 다른 경우에 있어서는 표면적 및 활성감소가 일어났다.

• 수산해양교육연구
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• 제10권1호
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• pp.15-30
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• 1998

일본(日本) 관동근해(關東近海)에서 끌낚시어업에 의해 어획되는 가다랑어의 어획량변동 및 어장의 형성과 수온과의 관계를 파악할 목적으로, 가다랑어를 주어획대상으로 하는 소형어선 38척의 7년간 (1982~1988년)의 일별 어획자료와 치바(千葉)현 수산시험장(水産試驗場) 발행의 어해황속보 자료를 이용하여, 가다랑어의 년별 및 어기별 어획량 변동과 어장형성과 수온과의 관계에 대해서 해석한 결과는 다음과 같다. 1. 가다랑어 년평균어획량은 151,375.1kg 였다. 어획량의 년변동은, 1984년까지는 증가하다가 1985년에는 50%이하로 감소하고, 1986년에 약간 회복된 이후 증감을 되풀이 하다가 1988년에는 1984년의 수준까지 회복하였다. 조업척수가 많은 해에는 어획량도 많아지는 경향은 있지만, 1985년에는 조업척수는 평관보다 많은데 어획량은 평균보다 낮다. 이것은 CPUE에 대해서도 마찬가지이다. 이것은 해에 따른 가다랑어의 내유량과 어장까지의 거리의 차이에 의한 것이라고 사료된다. 2. 가다랑어 어획량의 어기별변동은, 초어기(1, 2, 3월)의 일평균어획량은 894.6kg인 반면, 성어기(4,5월)에는 3,666.0kg으로 4배이상의 어획이 있다가, 종어기(6, 7월)에 접어들면서 767.9kg로 줄어들면서 어장이 점차 소멸한다. 초어기는 가다랑어의 북상기이기 때문에 연안해역에서의 어장의 형성은 충분하지 않고, 어장의 위치에 따라서 조업 불가능한 날이 많은 반면, 성어기에는 어장분포의 상태가 양호하기 때문에, 총조업일수, 일별조업척수, 어획량 및 CPUE는 다른 어기보다 높고, 안정되어 있었다. 3. 어장에서의 연평균수온은 $19.0{\sim}20.2^{\circ}C$의 범위이고, 1983년을 제외한 각 해의 평균수온은 $19.0{\sim}19.9^{\circ}C$이다. 소또보(外房)해역에서의 가다랑어의 적수온은 $19^{\circ}C$ 내외인데, 이 적수온대가 출현하는 시기와 장소를 추찰하는 일은 효율적인 조업을 하기 위한 중요한 요소이다. 소또보(外房)해역에서의 수온변동은 쿠로시오의 유형에 영향을 받고, 그위에 쿠로시오는 근해가다랑어 등 외양성어류의 어장형성에 매우 중요한 요소이다. 각 해의 조업기간중, 쿠로시오 유형이 B형(型) 또는 C형(型)으로 추이한 경우(1980년, 1984년, 1988년, 1991년)에는 비교적 어획량이 많다. 반면, 어기초의 쿠로시오 유형이 N형(型)으로 추이한 경우 (1980년, 1992년)에는, 조업첫날이 늦어져서 어기가 단축되기 때문에 흉어(凶漁)가 되는 경향이 있다. 또, 조업기간중 쿠로시오 유형이 N형(型) 주체로 추이한 경우에는(1981년, 1989년), 가다랑어의 어장이 형성되기 어렵게되어 흉어(凶漁)로될 경향이 있다. 4. 어장에서의 수온범위는, 3월이 $17.0{\sim}19.0^{\circ}C$, 4월이 $17.5{\sim}20.5^{\circ}C$ 그리고 5월이 $17.5{\sim}23.0^{\circ}C$로 점차 수온범위가 커지다가, 6월에는 $21.0{\sim}23.5^{\circ}C$로 $21.0^{\circ}C$ 이상의 수온대에서만 어장이 형성된다. 이것은 3월~6월에는 해면수온의 상승기인 동시에 가다랑어가 북상하는 시기에 해당되기 때문에 점차 어장까지의 거리도 가까워지고, 어장에서의 수온도 고온의 모드로 변해간다.