Numerical Simulation of Thermal Control of a Hot Plate for Hot Embossing Nano-Imprinting Equipments Using a CFD Code (CFD 코드를 이용한 고온 엠보싱 나노식각 장비용 열판의 열제어 및 거동 모사)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2006.10a
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- pp.669-670
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- 2006