• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1991.11a
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• pp.67-71
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• 1991

최근 기계가공의 고능률화와 고정도화를 위하여 공작기계의 고속화의 요구가 해가 갈수록 높아지고 있다. 특히 터어닝센타(Turning Center)에 있어서도 주축회전수가 1만 rpm 정도의 고속화, 고출력화와 함께 공구의 고속, 중점삭을 향한 성능향상이 진전되어가고 있으나, 기계-공작물-공구의 절삭 시스템 중에서 기계와 공작물을 연결하는 인터페이스로서, 고속화된 척의 개발이 늦어져서 기계의 고속화를 저해하는 하나의 요인으로 지적되어 지고 있다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.18 no.6
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• pp.148-158
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• 2001

In this paper, Automatic Dynamic Balancer(ADB) was simulated and investigated to use at the high speed rotating chuck for the friction welding. In the limited computer simulations and experiments that have been presently carried out, several conclusions have been found. Above critical speed of the rotating system, ADB can balance the rotating disk. Therefore, it can be predicted that ADB can make an uniform flash during the friction welding.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.11 no.4
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• pp.5-12
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• 1994

고속절삭을 통해서 가공능률과 가공정밀도의 향상을 도모할 수 있기 때문에, 최근에는 공작기계용 고속주축계가 많은 주목을 받고 있다. 본 연구에서는 주축 선단부에 무거운 척과 공작물이 위치하는 선반용 고속주축계의 동특성을 해석하기 위해서 유한요소법을 도입하였다. 특히 세장비가 비교적 작은 주축은 Timoshenko 이론으로, 폭이 유한한 베어링은 반경방향 외에도 모멘트방향의 강성 및 감쇠특성을 가지고 있는 것으로 모델화하였다. 그리고 선반용 고속주축계의 고유진동수와 감쇠비에 대한 주축회전수, 베어링의 지지특성, 베어링의 간격, 주축재료의 내부감쇠율 등의 영향을 고찰하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.76-80
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• 2007

반도체 제조공정에서 매엽식 습식 식각 공정은 기판을 회전하면서 상하 면에 약액을 분사하는 형태로 박막을 식각한다. 이 때 기판은 척을 이용하여 고정되는 데 기판과 척이 접촉하는 가장자리 부분에서 약액의 흐름이 정체되거나 일정하지 못해 잔류막질이 남게 되고, 후속 공정에서 기판 오염의 문제를 야기하게 된다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 기판을 파지하는 여러 개의 척을 2개조로 나누어 교대로 파지하도록 하는 기능을 제시하였다. 2개 조의 척들은 자성체를 사용하여 고속 회전 중에 비접촉 방식으로 구동하였고 실제 약액 처리론 수행하여 효과를 관찰하였다. 결과적으로 기존 고정형 파지 방식에 비해 교차형이 기판 베벨면이나 에지면에서의 잔류 막질 제거에 탁월한 효과가 있음을 확인하였다.