• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.252-252
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• 2004

새로운 공작기계나 절삭공구의 설계 및 개선을 위하여 절삭 공정 중 발생되는 절삭력 성분을 정확히 예측하는 것이 필요하다. 절삭 과정에서 절삭력 정보의 중요성은 그동안 공작기계 분야에서 익히 강조되어 왔다. 특히 주 절삭력 정보는 공구 파손을 예측하고 마모를 감지하여 그 밖의 다른 오동작을 검출해 내는 것에 있어서 매우 중요한 것으로 잘 알려져 있다. 최근 공작기계 강성 및 성능의 향상, 고속절삭용 공구의 발전, 금형 산업의 생산성과 정밀도 향상의 요구로 머시닝센터를 중심으로 고속가공에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. (중략)

• Journal of the KSME
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• v.28 no.5
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• pp.476-486
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• 1988

전자기 성형이란 고강도의 자기장을 이용하여 고속(15∼300m/s)으로 금속을 성형하는 기술이다. 즉, 자계가 갖는 에너지를 직접 금속의 성형에 이용하는 성형법으로 일반적으로 고속도 가공 법(explosive, electro-hydraulic, pneumatic-mechanical, electro-magnetic pulse forming)이라 불리는 가공 기술의 한 가지이다. 전자기 성형 기술은 1960년경 미국에서 개발 및 실용화로의 노력이 경주되어 산업적, 이론적으로 많은 발전이 있었고 일본에서도 1970년 초반에 이 분야의 연구가 시작하여 현재 활발히 연구되고 있는데, 금속의 성형, 체결, 조립 등의 작업에 이용되어 자동차 산업, 항공산업, 전기산업과 병기산업 등에서 많이 이용되고 있다. 한편 우리나라에서는 아직 연구발표된 사례가 없는 실정인데, 몇몇 업체 및 연구소에서 성형 장비를 도입하고 연구를 시작하려는 시점에 있으므로 본 글에서 그 성형 원리 및 가공 특성에 대해 소개한다.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 2000.04a
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• pp.326-331
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• 2000

In this study, residual stress was investigated experimentally to evaluate damaged layer in high-sped machining. In machining difficult-to-cut material, residual stress remaining in machined surface was mainly speared as compressive stress. The scale of this damaged layer depends upon cutting speed, feed per tooth and radial cutting depth. Damaged layer was measured by optical microscope. The micro-structure of damaged layer was a mixed maternsite and austenite. depth of damaged layer is increased with increasing of cutting temperature, cutting force and radial depth. On the other hand, that is slightly decreased with decreasing of cutting force. The increase of tool wear causes a shift of the maximum residual stress in machined surface layer.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.11 no.3
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• pp.15-29
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• 1994

기계산업의 발달과 함께 꾸준히 공작기계의 발달에 발맞추어 절삭가공 공구도 꾸준한 발전을 요구받아왔다. 점차로 기계가공이 고정밀도를 요구하고 원가절감을 위한 생산성의 극대화를 오래전부터 추구한 결과 공작기계의 위치정밀도의 향상과 고강성구조 및 computer와 robot의 발달에 따른 CIM(Computer Integrated Manufacturing)이 가능하게 되었다. 그에 따른 절삭가공의 최첨병인 절삭공구의 성능도 꾸준히 발전되어 왔다. 아무리 공작기계의 정도 및 강성이 뛰어난다 할지라도 공구의 성능이 따라가지 못할 때에는 그앞의 모든 노력이 결실을 거두기는 어렵다. 절삭공구에 요구되는 성능을 요약하면 첫째로 고정밀 가공용공구, 둘째로는 생산성을 높일 수 있는 공구(즉 고속, 고이송에서 수명이 긴 공구), 그리고 세째로는 산업의 다양화에 따른 피삭재의 변화에 민감한 공구, 즉 난삭재 가공이 가능한 공구로 분류할 수 있다.

• ICROS
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• v.4 no.4
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• pp.25-30
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• 1998

본 고에서는 반도체 생산 장비의 하나인 고속 열처리 공정기를 소개하고, 현재의 기술 동향과 그에 따른 기술발전의 추이를 논의 하였다. 고속 열처리 공정기는 단일 웨이퍼 가공기로서 각각의 웨이퍼가 동일한 환경하에서 가공될 수 있다는 장점 때문에 앞으로 웨이퍼가 대형화되고 다품종 소량생산이 요구되면서 더욱더 주목받게 되고 또한 반도체 생산에 있어서 핵심이 될 장비이다. 따라서 현재 고속 열처리 공정기를 실제 현장에서 널리 사용하지 못하고 있는 큰 이유 중의 하나인 웨이퍼의 온도 균일성 문제를 해결하는 것이 현 시점에서 매우 중요하다. 그리고 여러 챔버를 연결하여 다양한 작업을 일괄적으로 처리할 수 있는 다 챔버 과정으로의 발전도 필요하다고 할 수 있다. 반도체 생산장비의 대다수를 수입에 의존하고 있는 국내 현실을 고려할 때 반도체 생산기술의 국산화는 매우 중요하다. 따라서 차세대 반도체 생산장비로 주목받고 있는 고속 열처리 공정기의 생산기술을 국산화하는 것은 그 의미가 크다고 할 수 있다. 이를 위하여 산업계와 학계의 지속적인 관심과 좋은 연구결과를 기대한다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.12
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• pp.5412-5419
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• 2011

The need is growing for high-speed spindle because various equipment are becoming more precise, miniaturization and high speed with the development of industries. Air-lubricated dynamic bearings are widely used in the optical lithographic manufacturing of wafers to realize nearly zero friction for the motion of the stage. Air-lubricated dynamic bearing can be used in high-speed, high-precision spindle system and hard disk drive(HDD) because of its advantages such as low frictional loss, low heat generation, averaging effect leading better running accuracy. In the paper, numerical analysis is undertaken to calculate the performance of air-lubricated dynamic bearing with herringbone groove. The static performances of herringbone groove bearings which can be used to support the thrust load are calculated. Electrochemical micro machining($EC{\mu}M$) which is non-contact ultra precision machining method has been developed to fabricate the air-lubricated dynamic bearing and optimum parameters which are inter electrode gap size, concentration of electrolyte, machining time are simulated using numerical analysis program.

• Journal of the KSME
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• v.51 no.9
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• pp.33-39
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• 2011

레이저 마이크로 및 나노 가공은 공기 중에서 고속으로 실행이 가능하여 산업적으로 응용이 가능한 거의 유일한 초미세가공기술로소 반도체, 전자, 마이크로유체소자 등과 같은 분야에 널리 응용되고 있고 기존 기술의 한계를 뛰어 넘는 새로운 기술을 창출하는 데 기여하고 있다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.10a
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• pp.33-33
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• 2003

• Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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• 2000.06a
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• pp.57-72
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• 2000

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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• v.13 no.2
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• pp.30-38
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• 2004