• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2017.07a
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• pp.501-505
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• 2017

반도체에 대한 수요가 늘어남에 따라 반도체 칩 생산을 위한 웨이퍼 공정 및 평판 디스플레이 제조 공정에서 수백~수십 나노 단위 크기의 트랜지스터, 커패시터 등의 회로소자 제조를 요구하고 있다. 이에 따라 반도체 공정의 미세화가 10nm 이하까지 다다랐고 이로 인해 수율과 신뢰성 측면에서 파티클, 금속입자, 잔류이온 등 진공챔버 내부의 오염원 제거 중요성이 점점 증가하고 있다. 이러한 오염원 제거를 위해서 과거에는 진공 챔버를 개방하여 액상물질로 주기적인 세정을 하였으나 2000년대 초반부터 생산성 향상을 위해 진공 상태에서 건식 세정하는 원격 플라즈마 발생장치(Remote Plasma Generator, RPG)를 개발하여 공정에 적용 해 왔다. 건식 세정을 위해서 화학적 반응성이 높은 고밀도의 라디칼이 필요하고 이를 위해 플라즈마를 이용하여 라디칼을 생성한다. RPG는 안테나 형태의 기존 유도 결합 플라즈마 (Inductively Coupled Plasma, ICP) 방식에 자성코어(Ferrite Core)를 추가함으로써 고밀도 플라즈마 생성이 가능하다. 본 세션에서는 이러한 건식세정과 관련된 플라즈마 기술 소개, 플라즈마 발생장치의 종류 및 효과적인 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 발생장치를 소개하고자 한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.2082-2083
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• 2007

고속철도 운행, 도시철도 고밀도화, 무인자동운전의 경량전철 등 신교통시스템 도입 등 급변하는 철도환경에 따른 철도안전의 위험요인이 증가하고 있다. 국내 철도사고 사망자는 설비개량, 노후차량교체, 건널목입체화로 감소하고 있으나 10년을 주기로 대형참사가 발생하고 있으며, 철도관련 종사자의 안전의식이 낮은 수준이다. 이러한 대형참사의 발생을 방지하기 위하여 철도안전법이 제정되고 이의 효율적인 시행기반을 구축하기 위하여 철도시설안전체계 구축 및 기술분야별 안전기준을 개발하고 있다. 본 논문에서는 철도종합기술개발사업의 철도사고 위험요인분석(PHA : Preliminary Hazard Analysis)을 토대로 관계있는 위험원을 선정하였다. 또한 위험원에 의한 사고발생을 예방하기 위한 철도신호분야의 안전기준항목을 기술하였다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2019.07a
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• pp.17-19
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• 2019

본 논문에서는 전기자동차(EV) 충전기용 위상천이 풀브리지(PSFB) 컨버터의 정류기 다이오드 전압 스트레스를 저감하기 위한 새로운 형태의 클램핑 회로를 제안한다. 제안하는 회로는 하나의 커패시터로 구성된 매우 단순한 구조임에도 불구하고, 정류기 다이오드의 전압 스트레스를 큰 폭으로 감소시킨다. 뿐만 아니라, 해당 회로는 프리휠링 구간의 전류를 감소시키며, 출력 인덕터의 사이즈 또한 줄일 수 있다는 장점을 지닌다. 따라서 제안된 컨버터는 정류기 다이오드의 도통손실을 큰 폭으로 저감하여 고효율을 달성할 수 있으며, 간단한 구조의 클램핑 회로와 줄어든 출력 필터 사이즈에 의해서 고밀도화를 달성할 수 있다. 제안된 컨버터의 타당성은 3.3kW, $270-420V_{DC}$의 CC-CV 모드 충전 조건하에서 실험하여 검증되었다.

• Korean Journal of Mineralogy and Petrology
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• v.33 no.1
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• pp.1-10
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• 2020

The atomic structures of silicate liquids at high pressure provide insights into the transport properties including thermal conductivities or elemental partitioning behavior between rocks and magmas in Earth's interior. Whereas the local electronic structure around silicon may vary with the arrangement of the nearby oxygens, the detailed nature of such relationship remains to be established. Here, we explored the atomic origin of the pressure-induced changes in the electronic structure around silicon by calculating the partial electronic density of states and L₃-edge X-ray absorption spectra of SiO₂ polymorphs. The result showed that the Si PDOS at the conduction band varies with the crystal structure and local atomic environments. Particularly, d-orbital showed the distinct features at 108 and 130 eV upon the changes in the coordination number of Si. Calculated Si XAS spectra showed features due to the s,d-orbitals at the conduction band and varied similarly with those observed in s,d-orbitals upon changes in the crystal structures. The calculated Si XAS spectrum for α-quartz was analogous to the experimental Si XRS spectrum for SiO₂ glass, implying the overall similarities in the local atomic environments around the Si. The edge energies at the center of gravity of XAS spectra were closely related to the Si-O distance, thus showing the systematic changes upon densification. Current results suggest that the Si L_2,3-edge XRS, sensitive probe of the Si-O distance, would be useful in unveiling the densification mechanism of silicate glasses and melts at high pressure.

• Composites Research
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• v.26 no.5
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• pp.322-327
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• 2013

Carbon fiber-reinforced SiC matrix composites have good oxidation resistance and thermal shock resistance. These properties have allowed the composites to be applied to high-temperature structures. In this study, $C_f/SiC$ composites were fabricated via precursor infiltration and pyrolysis (PIP) process, including liquid phase infiltration and chemical vapor curing using cyclohexene. The final $C_f/SiC$ composites, which have gone through the PIP process five times, showed a density of $1.79g/cm^3$, as compared to a density of $0.43g/cm^3$ for pre-densified bare carbon fiber preform. As for the oxidation resistance characteristics, the weight of $C_f/SiC$ composite was maintained at 81% at $1400^{\circ}C$ in air for 6 hours. Chemical vapor curing (CVC) using cyclohexene has shown to be an effective method to achieve high densification, leading to increased oxidation resistance.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.12 no.11
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• pp.291-299
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• 2021

Recently, due to environmental problems caused by densification and high rise of urban areas, interests in air flow is increasing and appropriate shape and layout design of buildings is required. Therefore, in this study, we intend to propose an experimental method that can observe the air flow around a building using thermochromic pigment. Thermochromic pigments have limitations in observing precise temperature changes due to the characteristic that the color changes only with respect to a specific temperature, but they have the advantages of easy configuration of experimental equipment and short time required for experiments. In this study, the air flow tendencies around a building was examined by performing CFD analysis for a simple model and then compared with the thermochromic experiment results in order to review the usefulness of the proposed experimental method. As a result of the experiment, it was possible to observe the formation of separated flow and vortex region generated by buildings using the charateristics of thermochromic pigment and it was confirmed that the proposed method can be useful for buildings design and urban city planning.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.11a
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• pp.259-259
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• 2007

층상구조의 전이금속 산화물($LiMO_2$, M=Co, Ni, Mn)은 리튬이차전지용 양극재료로 활발한 연구가 진행되고 있다. 차세대 리튬이차전지 시스템의 개발 및 고성능화를 위해서는 전지의 용량을 결정하는 핵심 부품인 양극재료의 고용량화 및 고안정화는 필수 불가결하다. 따라서 본 연구에서는 상업적으로 큰 장점이 있는 고상반응 공정을 이용하여 리튬이차전지용 양극소재를 제조하고, 소재의 전기화학적, 구조적인 특성을 평가하였으며, 다음과 같은 주제를 가지고 연구를 진행하였다. $LiCoO_2$ 양극재료는 리튬이온전지로 널리 사용되고 있다. 높은 에너지 밀도의 리튬이온전지를 얻기 위해서는 $LiCoO_2$ 양극재료가 고용량화 및 고밀도화를 가져야 한다. 여기서 $LiCoO_2$ 분말이 irregular particle morphology를 가지면 tap density가 $2.2-2.4gcm^{-3}$로 에너지 밀도가 낮으나, 구형 $LiCoO_2$의 정극재료는 tap density가 $2.6-2.8gcm^{-3}$로 상대적으로 energy density가 높아지는 효과가 있다. 구형 $LiCoO_2$ 양극재료를 합성하기 위해서는 chelating agent를 이용한 "controlled crystallization" 침전법을 사용하여 합성한 구형 코발트 수화물을 사용하고 있다. "controlled crystallization" 침전법에서 사용되는 chelating agent로는 주로 ammonia가 이용되고 있다. 본 연구에서는 chelating agent로 ethylene diamine을 사용하여 sodium hydroxides를 precipitation으로 침전 반응하여 구형 코발트 수화물을 합성하였다. 상기 방법으로 합성된 코발트 수화물과 리튬 수화물($LiOH{\cdot}H_2O$-고순도화학(高殉道化學))을 사용하여 고상법을 통하여 $LiCoO_2$를 합성하였다. 제조된 분말의 결정구조와 전기화학적 특성분석은 X-선 회절분석 및 리트벨트 구조정산, 그리고 충/방전 싸이클링을 수행하였으며, 분말의 미세구조 변화를 SEM을 이용하여 분석하였다.

• Korean Institute of Interior Design Journal
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• v.13 no.2
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• pp.100-108
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• 2004

인테리어 디자인학은 보편적으로 건물의 내부공간, 즉 매우 명확한 경계들을 전제로 잘 정의된 공간들에 관한 연구로 그 범위가 제한되어져 왔다. 따라서 건축, 도시, 또는 매우 광대한 의미에서의 환경디자인의 특권으로 알려져 있는 도시에 관한 쟁점을 그다지 자주 다루지 않는 편이라 할 수 있겠다. 그러나 극도로 고밀도화된 현대의 대도시들은 주요 지하 교통망을 중심으로 상업, 유흥, 업무시설 그리고 경우에 따라서는 주거단지에 까지 쉽게 연결되는 거대한양의 전이 실내공간들을 창출해내고 있다. 이것이 최근 홍콩의 건축가 게리 챙(Gary Chang)에 의해서 규정된 새로운 개념의 고밀도 도시 인테리어 랜드스케이프(interior landscape)인 것이다. 이러한 인테리어스케이프의 개념은 현대 도시의 모습 중에서 가장 흥미로운 개념들 중의하나라 할 수 있는데 다양한 요소들이 혼합된 그 특성은 이제 사회학, 건축, 인류학, 도시탐험, 인테리어 디자인, 도시 그리고 환경 디자인 등 다양한 분야에서 뜨거운 논쟁의 주제로 떠오르게 된 것이다. 이제 도시에 관한 연구는 더 이상 외부에서 내부로 진행되는 것이 아니고, 내부에서부터 출발되는 것이다. 극도로 밀집된 아시아의 대도시들은 이렇게 혼잡한 도시환경의 모든 요인들을 더 잘 이해할 수 있도록 다양하고 흥미로운 상황들을 제공해 주고 있다. 상업적 목적으로 건물 전체를 사용하는 수직적 전략이나 다양한 문화적 행태들은 도시 환경의 '혼잡성'을 그냥 참을만한 것이 아니라 오히려 그 도시만의 매력적 요소로 부각시켜 주는 것이다. 본 논문은 인테리어스케이프를 중심으로 진행되고 있는 다양한 이론적 논쟁들의 분석에 그 기초를 두고 있다. '장소성의 부재'의 개념, 혼잡의 문화, 공공공간의 사유화, 결절도시, 한계의 개념들을 분석하여 아시아 대도시들이 어떻게 이러한 쟁점들을 그들 자신만의 고유한 해결책으로 발전시키는지를 고찰하고자 한다. 본 논문의 목적은 서울을 사례분석 중 하나로 사용하여 인테리어 디자인 분야의 경계를 대도시로 확장하는 동시에 새로운 적용영역의 가능성을 탐구하는데 있다 하겠다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.248-248
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• 1999

현재 반도체 공정에서 사용하는 건식식각 공정은 고밀도 프라즈마를 사용한 플라즈마 장비를 사용하는 경향이 증대되고 있으며 이와 같은 고밀도 플라즈마 장비의 사용은 반도체 소자의 최소 선폭(CD)이 deep sub-micron으로 감소하고 반면 실리콘 웨이퍼의 크기는 8인치 직경이상으로 증가하여 가고 있어서 그 필요성이 더욱 더 증가되고 있다. 특히 TFT-LCD를 비롯한 PDP, 그리고 FED 등과 같은 여러 가지 형태의 평판 디스플레이의 제조공정에 있어서도 실리콘 기판에 비하여 대면적의 기판을 이용하고 또한 사각형 형태의 시편공정이 요구되므로 평판 디스플레이에서도 고밀도의 균일한 플라즈마 유지가 중요하다. 따라서, 본 실험에서는 여러 가지 형태의 영구자석 및 전자석의 세기 및 배열이 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과(plasma&etch uniformity, etch rate, etc.)를 살펴보기 위해서, 유도결합형 플라즈마 chamber(210mm$\times$210mm) 내부에 magnetic cusping을 위한 영구자석용 하우스를 제작하여 표면에서 3000Gauss의 자장세기를 갖는 소형영구자석을 부착하였으며,외벽에는 chamber와 같이 사각형태로 40회 감겨진 50cm$\times$50cm 의 크기로 chamber 상하에 1개씩 Helmholtz 코일 형태로 설치하였다. 식각가스로는 Cl2, HBr, 그리고 BCl3 gas를 이용하여 axial magnet과 multidipole magnet 유무에 따른 반응성 gas의 polysilicon 식각특성을 살펴보았으며, 또한 electrostatic probe(ESP, Hiden Analytic미)를 이용하여 이들 반응성 gas에 대한 magnetically enhanced inductively coupled plasma의 특성분석을 수행하였따. Cl2, HBr, BCl3의 반응성 식각가스 조합을 이용하여 polysilicon의 식각속도 및 식각선택도를 관찰한 결과, 어떠한 자장도 가하지 않은 경우에 비해 gas의 분해율이 가장 높은 영구자석과 전자석의 조합에서 가장 높은 식각도가 관찰되었다. 특히 pure Cl2 플라즈마의 경우, Axial 방향의 전자석만을 가한 경우 식각속도에 있어서는 큰 증가를 보였으나, 식각균일도(식각균일도:8.8%)는 다소 감소하였으며, Axial 방향의 전자석과 영구자석을 조합한 경우 가장 높은 식각속도를 얻었으며, 식각균일도는 Axial 방향의 전자석만을 사용하였을 경우와 비교하여 향상되었다.

• Electronics and Telecommunications Trends
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• v.19 no.6 s.90
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• pp.13-23
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• 2004

각종 대용량 디지털 멀티미디어 기기의 보급과 사용자 주변 환경의 네트워크화에 따라 고밀도 환경에서 고품질 광대역 무선 서비스를 제공할 수 있는 광무선 통신 기술이 유비쿼터스 네트워크를 실현할 유망기술로 부각되고 있다. 전파를 사용한 무선통신 방식에 비해 무한대에 가까운 대역폭과 보안성을 갖는 광무선 통신 기술의 특성과 기본 원리를 소개하고, 지금까지 개발된 기술 수준과 활용 현황 및 고성능광무선 통신 기술의 실용화를 위해 우선적으로 해결해야 할 기술적 과제들과 최근 연구개발 동향을 살펴본다.