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Co/Ti이중박막을 이용한 $CoSi_2$에피박막형성에 관한 연구 (A Study on the Formation fo Epitaxial $CoSi_2$ Thin Film using Co/Ti Bilayer)

  • 김종렬;배규식;박윤백;조윤성
    • 한국재료학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.81-89
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    • 1994
  • 전자빔 증착법을 사용하여 10nm두께의 Ti과 18nm두께의 Co를 Si(100)기판에 증착한 후, $N_{2}$분위기에서 $900^{\circ}C$, 20초 급속 열처리하여, Co/Ti 이중금속박막의 역전을 유도함으로서 $CoSi_{2}$박막을 형성하였다. 4점 탐침기로 측정한 면저항은 3.9Ω/ㅁ 었으며, 열처리 시간을 증가해도 이값은 유지하여 열적 안정성을 나타내었다. XRD 결과는 형성된 실리사이드는 기판과 에피관계를 갖는 $CoSi_{2}$상 임을 보였으며, SEM 사진은 평탄한 표면을 나타내었다. 단면 TEM 사진은 기판위에 형성된 박막층은 70nm 두께의 $CoSi_{2}$ 에피박막과 그위에 두개의 C0-Ri-Si합금층등 세개의 층으로 되어 있음을 보였다. AES 분석은, 기판상의 자연산화막을 형성할 수 있었음을 보여주었다. AES분석은, 기판상의 잔연산화막이 열처리초기, Ti에 의해 제거된후 Co가 원자적으로 깨끗한 Si기판에 확산하여 $CoSi_{2}$에피박막을 형성할 수 있었음을 보여주었다. $700^{\circ}C$, 20초 + $900^{\circ}C$, 20초 이중 열처리를 한 경우, $CoSi_{2}$결정성장으로 면저항값은 약간 낮아졌으나, 박막의 표면과 계면이 거칠었다. 이 $CoSi_{2}$에피박막의 실제 소자에의 적용방안과 막의 역전을 통한 에피박막형성의 기제를 열역학 및 kinetics 관점에서 고찰하였다.

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숙신산 추출반응이 일어나는 단일 액적계에서의 비정상상태 물질 전달 (Unsteady Mass Transfer Around Single Droplet Accompanied by Interfacial Extraction Reaction of Succinic Acid)

  • 전상준;홍원희
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제50권6호
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    • pp.1021-1026
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    • 2012
  • 단일 액적 시스템에서의 비정상상태 물질 전달에 대한 연구를 진행하였다. 단일 액적계를 위한 이성분계로는 옥탄올(연속상)-물(분산상) 시스템이 이용되었으며 동반되는 불균일 반응으로는 아민추출제(tri-n-octylamine,TOA)를 이용한 숙신산 추출 반응을 모델 시스템으로 선정하였다. 점도, 밀도, 용질의 분배계수, 연속상에서 하강하는 액적의 종말 속도, 용질과 추출제의 확산계수 등과 같은 시스템의 기본 특성을 파악하기 위한 실험과 이론적 계산들이 수행되었다. 액적의 종말 속도는 숙신산 농도에는 크게 영향을 받지 않는 것으로 보이나 TOA가 없을 때는 숙신산 농도에 따라 약간 증가하는 경향을 보였고, TOA 농도 증가와 함께 감소하였다. 액적의 낙하는 수직 낙하 경로를 기준으로 좌우로 진동하면서 움직이는 경향을 보였다. 낙하하는 액적에서의 물질 전달 관찰을 위해 물질 전달 셀을 제작하여 시간에 따른 액적 내의 평균 농도 변화를 관찰하였고, 그 결과를 무차원 변수를 이용하여 해석하였다. 50 g/L의 숙신산 농도 조건하에서 TOA 농도를 0.1과 0.5 mol/kg 으로 조절하였을 때, 전자의 경우에는 관찰 시간 범위 내에서 일정한 Sh 값을 유지하여 용질의 이동 방향으로의 농도 기울기가 감소함에 따라 훌럭스도 그에 비례하여 감소함을 알 수 있었지만, 후자의 경우에는 시간의 경과와 함께 Sh가 급격히 증가하는 현상을 보여 계면에서의 숙신산 훌럭스 감소에 비해 농도기울기 감소가 상대적으로 빠르게 일어남을 알 수 있다.

의치 접착제가 총의치의 유지력에 미치는 영향에 관한 연구 (The effect of denture adhesives on the retention of complete denture)

  • 윤유미;최유성;이준석
    • 대한치과보철학회지
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    • 제48권2호
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    • pp.87-93
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    • 2010
  • 연구목적: 의치 접착제는 구강 내 의치 장착 시 유지에 도움을 주는 위해 사용되는 재료로써 의치상과 점막 사이에 계면력을 증가시켜 유지를 향상시킨다. 이에 본 실험은 의치 접착제의 유지력을 생체 외 실험으로 비교, 평가하는 것으로 실리콘 무치악 모형과 레진 의치상 간의 인장력을 측정하여 의치 접착제의 유지력을 비교, 평가하고 탈락력이 가해진 방향에 따른 유의성을 알아보고자 하였다. 연구 재료 및 방법: 두가지 의치 접착제로 POLIDENT$^{(R)}$와 COREGA$^{(R)}$를 사용하여 레진 의치상에 적용시키고, 실리콘 모형에 적합시킨 후 인스트론으로 인장력을 측정하였다. 인공타액으로 접착제의 농도를 점점 희석시켜 반복 측정하였고, 수직력, 측방력, 전후방력을 각각 측정하여 비교하였다. 결과:1. 인공타액만을 사용한 대조군과 비교시 의치 접착제를 사용한 군에서 유의성 있는 유지력 증가를 보였다 (P<.05). 2. 희석횟수에 따른 비교 시 두 접착제 군에서 모두 1회 희석 시에는 희석시키지 않은 군과 유의한 차이를 보이지 않았으나 2회, 3회, 4회 희석시킨 군과는 유의한 차이를 보였다 (P<.05). 3. 탈락 방향에 따른 비교 시 수직 방향의 탈락력이 가장 컸으며 전후방력, 측방력의 순으로 유의성 있는 차이를 보였다 (P<.05). 4. 두 접착제 간의 접착력은 유의성 있는 차이를 보이지 않았다. 결론: 이상의 결과에서 접착제의 사용은 유지력 증가에 유용한 것으로 나타났고, 특히 수직적으로 가해지는 힘에 저항력이 큰 것으로 나타났다.

고밀집 섬유 집합체에 의해 유도된 모세관 현상을 이용한 정적 액-액 접촉장치의 개발과 그 특성 연구 (A Study of the Development of Liquid-liquid Static Contactor Using Capillary Phenomena Induced by Highly Packed Fiber Bundle and its Characteristics)

  • 김광욱;변기호;이일희;유재형;박현수
    • 공업화학
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    • 제7권4호
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    • pp.743-749
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    • 1996
  • 본 연구에서는 고밀집 섬유 다발체 내에 수용상과 유기상을 동시에 주입시켜 나타나는 모세관 현상을 이용하여 최소 공간에서 최대한의 물질 전달 면적을 갖게 한 정적 액-액 접촉 장치가 개발되었다. 이 장치의 특성과 안정성을 평가하기 위해 TBP와 우라닐 이온을 함유한 질산계의 연속 추출 실험이 수행되었으며, 추출 성능은 동일 상비 조건에서 수행된 회분식 성능과 동일하였다. 초기 수용액에 대한 추출 수율을 증가 시키기 위해서는 일정한 수용액 유속에서 유기상의 유속 증가가 필요하였고, 같은 상비 조건의 회분식의 추출수율을 갖기 위해서는 수용액이 장치 내에서 일정한 체류 시간을 유지해야함을 알 수 있었고 본 추출계에서는 약 1.9분이 필요함을 알 수 있었다. 본 연구에서 개발된 고 밀집 섬유체 접촉기는 안정성과 재현성이 뛰어 났으며, 일반 물질 분리용 뿐만 아니라, 액-액계면 넓고 안정되어 있어 용매 추출 속도론 해석에도 사용될 수 있음을 확인할 수 있었다.

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In-l5Pb-5Ag 솔더와 Au/Ni Surface Finish와의 반응 특성 및 접합 신뢰성 평가 (Reaction Characteristics between In-l5Pb-5Ag Solder and Au/Ni Surface Finish and Reliability Evaluation of Solder Joint)

  • 이종현;엄용성;최광성;최병석;윤호경;박흥우;문종태
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.1-9
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    • 2002
  • Ball grid array (BGA) substrate 상의 0.5 $\mu\textrm{m}$Au/5 $\mu\textrm{m}$Ni/Cu 층으로 구성된 접촉 패드(pad)와 In-15(wt.%)Pb-5Ag 솔더 볼 사이에서 리플로우 및 고상 시효동안 일어나는 금속학적 반응 특성이 조사되었다. 1-5 분의 리플로우 시간에 따라 솔더/패드 계면에서 $AuIn_2$ 또는 Ni-In 금속간 화합물층이 형성됨이 관찰되었다. 리플로우 동안 용융 In-l5Pb-5Ag 솔더 내로의 Au 층의 용해 속도는 $2\times 10^{-3}$ $\mu\textrm{m}$/sec 정도로 측정되어 공정 Sn-37Pb와 비교하여 매우 느린 것으로 관찰되었다. $130^{\circ}C$에서 500시간의 고상 시효 후에는 초기 리플로우 시간에 관계없이 $Ni_{28}In_{72}$ 금속간 화합물층이 약 3 $\mu\textrm{m}$까지 성장하였다. 이를 통하여 솔더 합금에서의 In 원자들은 아래의 Ni 층과 반응하기 위하여 리플로우 동안 형성된 $AuIn_2$상을 통하여 확산하는 것으로 관찰되었다. 미세구조 관찰과 전단 시험을 통하여 In-l5Pb-5Ag합금의 경우는 Sn-37Pb 조성과는 달리 Au/Ni surface finish 상에 사용시에도 솔더 접합부에서의 Au-embrittlement를 야기 시키지 않는 것으로 분석되었다.

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선형열처리법으로 직접 접합된 Si 기판 및 산화된 Si 기판의 접합 특성 (Bonding Characteristics of Directly Bonded Si wafer and Oxidized Si wafer by using Linear Annealing Method)

  • 이진우;강춘식;송오성;류지호
    • 한국재료학회지
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    • 제10권10호
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    • pp.665-670
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    • 2000
  • 실온에서 직접 접합된 실리콘 기판의 접합강도를 향상기키기 위하여 기존의 고온 로내 열처리법을 대체할 수 있는 선형 열처리법을 개발하였다. 한 개의 열원과 타원형 반사경으로 구성된 선형 열처리법은 접합면의 간격이 열처리 온도의 증가와 더불어 감소하는 특성과 온도 증가와 더불어 접합면에 생성된는 기체상의 밀도가 증가하는 현상을 응용하여 접합면의 기체상을 밀도차이를 이용하여 기판 외부로 방출시키는 방법으로 Si$\mid$$\mid$Si 기판쌍 및 Si$\mid$$\mid$$SiO_2/Si$ 기판쌍의 직접 접합에 적용하여 보았다. IR camera와 HRTEM으로 직접 관찰한 접합면은 실온에서 접합면에 침투한 외부 불순물에 의한 비접합 영역을 제외하고는 자제 생성된 기체상에 의한 비접합 영역은 나타나지 않았고 매우 깨끗한 접합계면을 나타내었다. 접합된 기판쌍을 Crack opening법과 인장시험법을 적용하여 접합 강도를 측정하였다. 접합 강도는 열처리 온도의 증가와 더불어 점차로 증가하였고 두 측정방법 모두 동일한 경향성을 나타내었다.

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In situ 중합에 의해서 제조된 TLCP/PBT 블렌드의 특성 연구 (On the Properties of TLCP/PBT Blends Prepared by In Situ Polymerization in PBT Solution)

  • 최재곤;박일수;김선;최유성;이응재;조병욱
    • Elastomers and Composites
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    • 제39권3호
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    • pp.217-227
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    • 2004
  • 주사슬에 triad 메소겐 단위와 butylene terephthalate (BT) 단위를 갖는 새로운 액정 중합체를 중축합에 의해서 합성하였다. 합성된 중합체는 nematic 액정상을 보였으며 액정상으로의 전이온도는 $260^{\circ}C$를 보였다. PBT 용액에서 in-situ 중합에 의해서 제조된 TLCP/PBT 블렌드들의 특성 조사는 DSC, TGA, SEM, XRD 그리고 DMTA를 이용하여 이루어 졌다. 블렌드들은 PBT 매트릭스내에서 $0.05{\sim}0.2{\mu}m$ 사이즈를 갖는 잘 분산된 TLCP상들을 보여 주었다. TLCP 농도가 5에서 20wt%로 증가함에 따라서 블렌드내의 순수한 PBT의 ${\Delta}Hm$은 증가하였다. 이는 TLCP가 PBT 매트릭스 내에서 조핵제의 역할을 하였기 때문이다. 블렌드의 기계적 성질들은 TLCP의 농도에 의존하였는데 이 또한 TLCP가 블렌드 내에서 보강제 역할을 하였기 때문이다. 액정상과 PBT 매트릭스 상간에 좋은 계면 접착력을 보여 주었으며 in-situ 중합에 의해서 제조된 블렌드는 용융 블렌딩에 의해서 제조된 블렌드들보다 더욱더 높은 기계적 성질과 잘 분산된 TLCP 도메인들을 보여 주었다.

전기영동법으로 알루미늄에 침적된 영가 철 나노입자에 의한 질산성 질소의 환원 (Reduction of Nitrate-Nitrogen by Zero-valent Iron Nanoparticles Deposited on Aluminum yin Electrophoretic Method)

  • 류원선
    • 청정기술
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    • 제15권3호
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    • pp.194-201
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    • 2009
  • 최근 주요 수질오염 물질로 대두되고 있는 질산성 질소의 제거를 목적으로 영가 철 나노입자에 의한 질산성 질소의 환원반응성을 평가하였다. 영가 철 나노입자의 제조방법에 따른 반응성 차이를 규명하기 위해 유기용매 상에 계면활성제를 첨가하여 나노미터 크기 수준의 수용액 분산상에서 입자를 합성하는 마이크로에멀젼 방법과, 수용액 상의 철 이온을 환원시켜 입자를 합성하는 두 가지 방법으로 영가 철 나노입자를 합성하였다. 또한 전기영동법으로 알루미늄에 침적시킨 영가 철 나노입자에 의한 질산성 질소 제거속도를 측정하고, 고정화되지 않은 나노 철 입자에 의한 반응속도와 비교하였다. 환원반응을 질산성 질소에 대한 1차 반응으로 가정하여 수용액 방법 및 마이크로에멀전 방법으로 제조된 영가 철 나노입자의 반응성을 평가한 결과, 반응속도상수는 각각 $1.40{\times}10^{-2}min^{-1}$$3.49{\times}10^{-2}min^{-1}$ 로서 비표면적에 비례하여 증가하였다. 알루미늄에 침적된 나노입자는 현탁된 나노입자의 반응과 비교하여 약 30% 감소된 반응속도를 보였으나, 과량의 질산성 질소가 존재하는 경우 나노 철의 단위 질량당 질산성 질소의 제거효율 면에서 더 우수한 특성을 보였다. 나노철 입자의 현탁액은 반응시간 30분 이내에 반응속도가 감소하는 경향을 보였으나, 알루미늄에 침적된 나노철 입자는 3시간 이상 활성을 유지하였으며, 최종 생성물로 기체 질소를 발생시키는 것을 확인하였다.

액정 폴리에스테르/PEN 블렌드 섬유의 성질 (Properties of Liquid Crystalline Polyester/Poly(ethylene 2,6-naphthalate) Blend Fibers)

  • 김원;김영용;손정선;윤두수;한철;최재곤;조병욱
    • Elastomers and Composites
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    • 제37권4호
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    • pp.244-257
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    • 2002
  • 주사슬에 나프탈렌고리와 테트라메틸렌 및 헥사메틸렌 유연격자를 가지면서 트라이어드메소겐을 갖는 새로운 열방성 방향족 액정 폴리에스테르(TLCP)를 용액중합법에 의하여 합성하였다. TLCP의 함량을 달리하는 TLCP/PEN in situ 복합재료를 용융방사하여 연신비가 각각 다른 단섬유를 제조하고 그들의 열적, 기계적 특성 및 모폴로지를 조사하였다. 합성된 TLCP는 네마틱 액정중합체였으며 고체상에서 액정상으로의 전이 온도는 249 ℃였다. 블렌드내의 TLCP 도메인들은 매트릭스 고분자인 PEN에 잘 분산 되었으며 어떠한 거대 상 분리 현상도 보여 주지 않았다. TLCP 함량의 증가에 따른 블렌드내 PEN의 cold crystallization 온도가 낮아진 것으로 보아서 TLCP가 PEN에 대한 조핵제 역할을 하였음을 알 수 있었다. 블렌드 섬유내의 TLCP의 도메인 크기는 대략 40 ~ 50 nm정도의 미세한 크기였으며 매트릭스와의 사이에 좋은 계면 접착력을 보였다. 또한 cold 및 hot-drawing 과정을 거친 낮은 draw ratio(DR)에서는 거의 fibril이 형성되지 않았지만, 높은 DR에서는 잘 발달된 fibril들을 보여 주었다. TLCP의 강화효과로 인하여 10 wt% TLCP/ PEN 블렌드 섬유의 초기 모듈러스는 270 %, 인장강도는 235 %의 증가를 보여주었다. 반면에 신장률은 DR의 증가와 함께 감소 하였다.

치과용 니켈-크롬합금에 대한 표면 처리가 인장접착강도에 미치는 영향 (THE EFFECTS OF SURFACE TREATMENT OF DENIAL NICKEL-CHROMIUM ALLOY ON TENSILE BOND STRENGTH)

  • 이은숙;권오원
    • 대한치과교정학회지
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    • 제27권3호
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    • pp.493-502
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    • 1997
  • 본 연구에서는 치과용 니켈-크롬합금의 표면에 전처리없이 치과용 브라켓을 Super-bond로 접착한 대조군과 샌드블라스팅 및 tin-plating을 각각 혹은 병용으로 표면처리후 Super-bond로 접착한 실험각군의 인장접착강도, 브라켓 탈락양상 및 주사전자현미경 소견을 비교하여 임상적용 가능성을 알아보고자 하였으며 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 인장장접착강도는 니켈-크롬합금의 표면에 샌드블라스팅 처리후 Super-bond로 브라켓을 접착한 실험 I군이 $14.41{\pm}2.24MPa$로 가장 높았고, tin-plating처리후 Super-bond로 접착한 실험 III군이 $13.59{\pm}1.51MPa$, 샌드블라스팅후 tin-lating처리를 하고 Super-bond로 접착한 실험 II군이 $12.27{\pm}1.45MPa$, 특정한 표면처리 없이 Super-bond로 접착한 대조군이 $10.50{\pm}1.57MPa$로 가장 낮게 나타났으나 실험 I군과 실험 III군간, 실험 III군과 실험 II군간, 실험 II군과 대조군간에는 유의한 차이가 없었다(p>0.05). 2. 브라켓의 주된 탈락양상은 대조군의 경우 $70\%$가 브라켓과 접착제 계면에서 adhesive failure를, $30\%$가 니켈-크롬합금과 접착제 계면에서 adhesive failure를 나타내었고, 실험 각군은 모두 브라켓과 접착제 계면에서 adhesivefailure 를 나타내었다. 3. 주사전자현미경 소견에서 대조군의 경우 일부 레진이 브라켓 기저면에 부착되어 나타났으나 실험 각군에서는 거의 대부분의 레진이 니켈-크롬합금면에 부착되어 관찰되었고, 샌드블라스팅만 시행한 시편면이 가장 균일하고 조밀한 표면 요철상을 나타내었다.

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