• Title/Summary/Keyword: 경향면분석

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Schottky Contact Application을 위한 Yb Germanides 형성 및 특성에 관한 연구

  • 나세권;강준구;최주윤;이석희;김형섭;이후정
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.399-399
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    • 2013
  • Metal silicides는 Si 기반의microelectronic devices의 interconnect와 contact 물질 등에 사용하기 위하여 그 형성 mechanism과 전기적 특성에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 이 중 Rare-earth(RE) silicides는 저온에서 silicides를 형성하고, n-type Si과 낮은 Schottky Barrier contact (~0.3 eV)을 이룬다. 또한 낮은 resistivity와 Si과의 작은 lattice mismatch, 그리고 epitaxial growth의 가능성, 높은 thermal stability 등의 장점을 갖고 있다. RE silicides 중 ytterbium silicide는 가장 낮은 electric work function을 갖고 있어 n-channel schottky barrier MOSFETs의 source/drain으로 주목받고 있다. 또한 Silicon 기반의 CMOSFETs의 성능 향상 한계로 인하여 germanium 기반의 소자에 대한 연구가 이루어져 왔다. Ge 기반 FETs 제작을 위해서는 낮은 source/drain series/contact resistances의 contact을 형성해야 한다. 본 연구에서는 저접촉 저항 contact material로서 ytterbium germanide의 가능성에 대해 고찰하고자 하였다. HRTEM과 EDS를 이용하여 ytterbium germanide의 미세구조 분석과 면저항 및 Schottky Barrier Heights 등의 전기적 특성 분석을 진행하였다. Low doped n-type Ge (100) wafer를 1%의 hydrofluoric (HF) acid solution에 세정하여 native oxide layer를 제거하고, 고진공에서 RF sputtering 법을 이용하여 ytterbium 30 nm를 먼저 증착하고, 그 위에 ytterbium의 oxidation을 방지하기 위한 capping layer로 100 nm 두께의 TiN을 증착하였다. 증착 후, rapid thermal anneal (RTA)을 이용하여 N2 분위기에서 $300{\sim}700^{\circ}C$에서 각각 1분간 열처리하여 ytterbium germanides를 형성하였다. Ytterbium germanide의 미세구조 분석은 transmission electron microscopy (JEM-2100F)을 이용하였다. 면 저항 측정을 위해 sulfuric acid와 hydrogen peroxide solution (H2SO4:H2O2=6:1)에서 strip을 진행하여 TiN과 unreacted Yb을 제거하였고, 4-point probe를 통하여 측정하였다. Yb germanides의 면저항은 열처리 온도 증가에 따라 감소하다 증가하는 경향을 보이고, $400{\sim}500^{\circ}C$에서 가장 작은 면저항을 나타내었다. HRTEM 분석 결과, deposition 과정에서 Yb과 Si의 intermixing이 일어나 amorphous layer가 존재하였고, 열처리 온도가 증가하면서 diffusion이 더 활발히 일어나 amorphous layer의 두께가 증가하였다. $350^{\circ}C$ 열처리 샘플에서 germanide/Ge interface에서 epitaxial 구조의 crystalline Yb germanide가 형성되었고, EDS 측정 및 diffraction pattern을 통하여 안정상인 YbGe2-X phase임을 확인하였다. 이러한 epitaxial growth는 면저항의 감소를 가져왔으며, 열처리 온도가 증가하면서 epitaxial layer가 증가하다가 고온에서 polycrystalline 구조의 Yb germanide가 형성되어 면저항의 증가를 가져왔다. Schottky Barrier Heights 측정 결과 또한 면저항 경향과 동일하게 열처리 증가에 따라 감소하다가 고온에서 다시 증가하였다.

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창녕 비봉리 지역의 Holocene 중기 해수면변동 (Sea Level Change during the Middle Holocene at Bibong-ri, Changnyeong-gun, Gyeongsangnam-do, South Korea)

  • 황상일;김정윤;윤순옥
    • 대한지리학회지
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    • 제48권6호
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    • pp.837-855
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    • 2013
  • 낙동강 하구로부터 약 70km 떨어진 창녕 비봉리 신석기시대 유적에서 목선, 패각층, 도토리 구덩이 등 해양과 관련된 유구와 유물이 출토되었다. 유적의 발굴 과정에서 출토된 도토리 구덩이와 패각층의 특성, 퇴적상, 연대측정 및 규조분석 결과를 바탕으로 해수면변동 곡선을 복원하였다. 패각층과 도토리구덩이는 해수의 영향을 받은 유적지 유구로서 신석기 초기동안 지속적으로 조성되었으므로 해수면에 대한 정보를 제공한다. 퇴적상은 기반암, 기저역층, Holocene 충적층(해성층, 육성층, 배후습지성 퇴적층)으로 구분된다. Holocene 중기 동안 해수면은 상승과 하강을 반복하였으며, 울산 세죽리와 경기도 평택의 해수면변동 경향과 조화를 이룬다. 비봉리 지역의 해수면은 Holocene 중기인 7,000년 BP 경 현재 수준에 도달했으며, 5,000년 BP 경 김해지역의 현재 평균고조위보다 약 1m 정도 높았고, 4,000년 BP까지 안정된 상태를 유지하였다.

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우리나라 근해의 장기적인 해수면변화 (Long-Period Sea Level Variations around Korea, Japan, and Russia)

  • 방익찬;오임상
    • 한국수산과학회지
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    • 제27권6호
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    • pp.733-753
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    • 1994
  • 해수면의 장주기변동을 알기 위하여 우리나라, 일본, 러시아의 103개 조위관측점의 월평균 해수면을 분석하였다. 기압보정에는 조위관측점 부근의 기상관측점에서 관측된 월평균 해수면기압을 사용하였다. 계절변화는 대부분의 해역에서 지배적이며, 대마해류역 해안에서 가장 크고 러시아 해안에서 가장 작다. 계절변화의 상호상관관계는 대마해류역 해안 사이에서 가장 크다. 이 부속해에서는 계절변화가 대마해류와 관계를 갖고 있는 것으로 보인다. 계절변화는 남쪽에서 북쪽 뿐만 아니라 서쪽에서 동쪽으로도 전파되고 있다. 반면에, 계절변화보다 장주기의 변화는 태평양 연안에서 가장 큰 진폭과 가장 빠른 위상을 보여, 장주기의 변화는 태평양에서 부터 전파되어 오는 것을 보여준다. 계절변화보다 짧은 주기의 변화는 일반적으로 상관관계가 낮다. 이들의 상관관계 값들은 해역사이에 특별한 차이를 보이지 않으며, 거리에 반비례하는 공통적인 경향을 보이고 있다. 이것은 짧은 주기의 파들이 전해역에 걸쳐 발생하여 모든 방향으로 전파되고 있으며 빨리 소멸한다는 것을 의미한다. 1965부터 1985년 동안 이 해역에서 해수면변화의 경향은 일반적으로 태평양연안에서 음의 기울기를 다른 해역이 양의 기울기를 갖는다. 이러한 경향으로 인해 제주와 Sasebo사이의 평균 해수수송량은 이 기간동안 약 1 Sv의 유량이 줄어들 수 있다. 해수면 차이로부터 계산한 수송량의 계절변화는 대한해협에서 2 Sv 정도로 이미 발표된 다른 연구 보고와 비슷하다.

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복합위성자료(Topex/Poseidon, Jason-1, ERS, Envisat)를 이용한 한반도 주변해역에서의 해수면 고도 변화와 해수면 온도의 상관성 연구 (Variation of the Sea Surface Height around the Korean Peninsula with the Use of Multi-satellite Data (Topex/Poseidon, Jason-1 , ERS, Envisat) and its Association with Sea Surface Temperature)

  • 장새롬;정기용;김기영;하경자
    • 대한원격탐사학회:학술대회논문집
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    • 대한원격탐사학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.177-182
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    • 2007
  • 한반도 주변해역에서의 해수면 고도는 1993년부터 2005년까지의 기간 동안 연평균 3.89 mm $yr^{-1}$ 상승하였으며, 이는 전세계 해수면 상승률의 1.3배에 해당한다. 본 연구에서는 AVISO (Archiving, Validation and Interpretation of Satellite Oceanographic data)에서 제공하는 복합위성자료 (Topex/Poseidon, Jason-1, ERS, Envisat)인 DT-MSLA (Delayed Time - Maps of Sea Level Anomalies)를 이용하여 동해와 황해, 남해, 한국해협에서의 해수면 고도 변화를 연구하였다. 해수면 고도의 평균적인 변화는 증가하는 경향을 보임과 동시에, 여름에는 $4{\sim}5$년,겨울에는 3년의 주기성을 가지고 진동하였다. 조화분석을 통하여 해수면 고도와 해수면 온도의 연주기 모드와 반년주기 모드의 진폭과 위상을 나타내었다. 해수면 고도의 연주기 진폭은 한반도 주변해역에서 남동쪽이 높게,북서쪽이 낮게 나타나는 반면, 해수면 온도는 이와는 반대의 분포를 보였다. 월별 해수면 고도와 해수면 온도의 상관을 구한 결과,$6{\sim}8$월에 동해와 남해에서 1 / 2달 시간지연 일 때,상관계수가 0.7정도로 높게 나타났다. 이러한 결과를 통해 여름철 동해와 남해가 쿠로시오 해류의 영향을 크게 받고 있음을 짐작할 수 있다.

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지구온난화에 의한 북서태평양 및 한반도 근해의 해수면 상승 (Sea Level Rise due to Global Warming in the Northwestern Pacific and Seas around the Korean Peninsula)

  • 오상명;권석재;문일주;이은일
    • 한국해안·해양공학회논문집
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    • 제23권3호
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    • pp.236-247
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    • 2011
  • 지구온난화로 인한 북서태평양 및 한반도 근해의 미래 해수면 상승을 IPCC AR4 기후 예측모델들의 결과를 이용하여 조사하였다. 본 연구에서는 대부분의 기후모델에서 제시하지 않은 지역적인 열팽창에 의한 해수면 상승을 3차원 수온과 염분 자료를 이용한 역학고도의 계산을 통해 분석하였다. 해수면 자료의 분석결과, 열팽창을 고려한 북서태평양 및 한반도 근해의 해수면 상승률은 전 지구 평균보다 최대 두 배까지 높게 나타났다. 특히, 쿠로시오 확장지역에서 가장 높은 해수면 상승 경향을 보였다. 열팽창을 고려한 A1B 시나리오에 의한 MPI_ECHAM5와 GFDL_CM2.1 모델 결과에서는 향후 100년 동안 북서태평양에서 각각 24 cm와 28 cm 그리고 한반도 근해에서 27 cm와 31 cm의 해수면이 상승하는 것으로 예측되었다. 통계분석 결과, 이러한 해수면 상승은 겨울철 시베리아 고기압의 약화와 북서태평양 해역의 기압장 변화 그리고 이로 인한 바람장 및 해류의 변화로 발생한 수온변화가 그 원인으로 분석된다. 특히, 쿠로시오 확장지역의 북상에 따른 수온 변화가 북서태평양에서 가장 큰 해수면 상승을 유발한 것으로 사료된다.

나노하이브리드 절연코팅 수지의 표면특성 (Surface Properties of Insulation Coating Resin by Nanohybrid Method)

  • 한세원;강동필
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.276-276
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    • 2010
  • 본 논문에서는 나노하이브리드 방법으로 제조된 변성 폴리이드계 나노하이브리드 절연코팅의 표면 굴곡특성을 비교 연구하였다. CS로 나노하이브리드화된 수지의 코팅표면의 표면거칠기를 AFM 으로 분석하여 그 변화를 비교하였다. CS로 처리된 나노하이브리드 코팅면의 경우 기초수지의 코팅면과 비교하여 기저재료와 상관없이 표면 거칠기는 현저히 줄어드는 경향을 나타내었다. 이는 20nm 이하의 균일한 CS입자가 균일하게 분산되어 수지 내에 자리하므로 기저물질의 거칠기를 보완하는 역할을 하기 때문으로 분석된다.

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일방향 응고법에 의한 단결정 Si의 결정성장에 관한 연구 (Crystal Growth of Polycrystalline Silicon by Directional Solidification)

  • 김계수;이창원;홍준표
    • 한국결정성장학회지
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    • 제3권2호
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    • pp.149-156
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    • 1993
  • Si과 흑연 주형사이에 release layer로서 $CaCl_2$를 사용하여 vold와 crack이 없는 건전한 다결정 Si ingot를 제조하였다. 원소재로서 merallurgical-grade Si를 사용하였으며, 결정성장속도와 응고분율에 따른 불순물농도변화, X-선 회절분석, 비저항측정등을 행하였다. X-선 회절분석 결과 R=0.5mm/min으로 성장된 다결정 Si의 우선성장방향은 (220)면이고, R=0.2mm/min의 경우 우선성장방향은 (111)면임을 확인하였다. 또한 결정성장속도 및 응고분율의 증가에 따라 비저항값은 감소하는 경향을 나타내었다.

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용담댐 방류에 따른 하상변동 예측 (Prediction of River Bed Change due to Yongdam Dam Discharge)

  • 김영복;정승권;심순보
    • 한국방재학회 논문집
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    • 제6권1호
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    • pp.69-81
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    • 2006
  • 본 연구에서는 댐하류부에서 댐의 방류량에 따른 하상변동을 예측하기 위하여 SMS 모형을 사용하여 2차원 분석을 실시하였다. 용담다목적댐 하류유역인 금강 상류지역에 RMA-2 및 SED-2 모형을 이용하여 수리분석 및 유사이동을 통한 하상변동 모의를 실시한 결과 만곡수로에 대한 횡단면 침식 및 퇴적의 정량적 경향, 교각부근에서 세굴경향의 시각적 분석이 가능하였다. 만곡부인 No.176(1.4 km)지점에서는 $-102.4 mm{\sim}54.2 mm$, No. 146(7.4 km)지점에서는 $-104.1 mm{\sim}28.9 mm$ 정도의 한 횡단면 내에서 침식과 퇴적의 차이가 발생하였고, 직선수로의 감동교(No.164+100)에서는 비교적 균일한 침식이 발생했으나, 만곡수로에 위치한 덤덜교(No.146+50)에서는 만곡의 영향으로 우측의 침식이 활발한 것을 모의 할 수 있었다. 홍수시 댐방류량에 대한 하류부의 대책 수립에 있어서 만곡수로, 교량, 지류합류지점과 같은 1차원 분석으로는 미흡한 취약지구에 대해 2차원적인 분석을 실시하는 것이 타당하다고 판단된다.

고립파의 특성에 따른 경사면의 하상변동에 관한 실험적 연구 (Experimental study of bed transport on slope by characteristics of solitary wave)

  • 조재남;김동현;황규남;이승오
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2016년도 학술발표회
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    • pp.31-31
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    • 2016
  • 국내 해안선을 따라 발생되는 침식 및 퇴적현상으로 인하여 해안구조물의 안정성과 같은 안전 문제가 발생되고 있다. 이러한 자연현상을 대비하여 연안지역 특성에 맞는 침식 저감 대책 마련에 대한 연구가 되고 있다. 침식현상은 다양한 외력조건과 지리적 특성을 함께 고려해야 한다. 고립파로 인한 침식 발생 현상에 대한 국외 연구들이 다수 수행되어 왔으며, 국내에는 이와 관련된 연구가 상대적으로 부족하다. 고립파는 파고의 특성에 따라 파형이 결정되는 특징을 가지고 있어, 침식현상과 지진해일의 실험적 연구에 있어 입사파로 주로 활용되고 있다. 기존의 방법과 동일하게 sluice gate를 순간적으로 개방하여 고립파를 재현하는 방식으로 파랑을 재현하였다. 본 연구에서는 폭 0.80 m, 높이 0.75 m, 수로연장 12.00 m의 강화유리로 설계된 직사각형 단면 수로에서 실험을 수행하였다. 측면에 두 대의 카메라(Model No. : Sony, HDR-XR550)를 고정설치하여 경사면 하상변화를 촬영하였고, 영상분석을 통하여 하상변동을 측정하였다. 유사특성에 따른 하상변동을 연구하기 위하여 경사면에 포설된 유사로는 주문진 표준사($d_{50}=0.6268mm$, $c_u=1.68$)와 안트라사이트($d_{50}=1.547mm$, $c_u=1.387$)를 동일한 실험조건에서 함께 사용하였다. 경사면에서 고립파의 처오름, 처내림을 추적하여 그 경향을 분석하였다. 하상의 침식 및 퇴적구간 길이, 침식, 퇴적의 높이 및 깊이와 같은 형상분석을 통한 영향인자를 함께 무차원화 하여 실험결과를 제시하였다. 본 연구의 결과를 바탕으로 Sluice gate를 이용한 고립파 수리실험으로 경사면 하상의 침식 및 퇴적 현상에 관한 기초적인 실험자료로 활용될 것이다.

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2000년대 독서운동과 독서경향 연구 (A Study on Reading Movement and Readers' Interest in the Period of 2000's)

  • 윤금선
    • 한국도서관정보학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.267-297
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    • 2008
  • 이 연구는 근현대 독서 대중화 운동을 전반적으로 검토하기 위한 한 과정으로서, 2000년대 독서운동과 독서교육의 양상을 고찰하는 데 목적을 두었다. 그간 근대 독서가 시작된 1920년대부터 1990년대까지의 독서 운동과 독서교육에 관하여 고찰한 바 있으며 본고는 그 후속 연구에 속한다. 본고에서는 2000년대의 독서현상을 전 시기의 독서 현상과 비교 분석하여, 그 특징적인 면을 도출해 내고 독서운동과 독서교육의 현주소를 찾아보려는 데 목적을 두었다. 이러한 연구 목적을 염두에 두면서 본론에서는 첫째, 독서운동으로 1) 도서관과 공공기관의 독서운동, 2) 서점 및 매체, 각종 단체의 독서운동, 3) 학생 독서운동과 학교 독서교육 등으로 나누어 고찰하였으며, 둘째, 독서경향은 1) 일반 독서경향, 2) 학생 독서경향으로 대별하여 그 특징적인 경향을 살폈다. 독서운동과 독서경향에 대한 이러한 분석은 향후 독서교육 및 독서 대중화 운동을 효과적으로 전개시키는 토대로 작용할 것이다.

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