• Title/Summary/Keyword: 경면 가공 시스템

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광산란을 이용한 미소표면결함의 비접촉측정법에 관한 연구

  • 강영준
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1991.04a
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    • pp.113-120
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    • 1991
  • 근년, 정밀가공기술의 진보에 따라 AI 합금이나 동등의 연질금속을 이용한 고출력 Laser용 Mirror, 전자계산용 자기Disc기반, Laser Printer용 PloygonMirror등의 Opto-electronics 부품이 경면(Mirror Surface)절삭가공에 의해서, 또 LSI용 Silicon Wafer의 가공은 연마가공에 의해서 nmRmax의 표면조도로 마무리 가공되고 있다. 본 연구에서는 고출력 Laser용 Mirror, 자기Disc기반, Silicon Wafer와 같은 경면(표면 조도 submicron이하)에 존재하는 미소표면결함을 정량적이며, 고속측정이 가능한 방법인 새로운 측정법을 제안하고, 이 시스템을 생산라인에서 가공과 동시에 검사하는 In-process측정이 가능한 특정 시스템의 개발을 최종목표로 하고 있다.

A Study on the Mirror Surface Finishing System Using Micro Abrasive Film (마이크로 연마 필름을 이용한 경면 가공 시스템에 관한 연구)

  • Kim, Hong-Bea;Kim, Ki-Soo;Namgung, Suk
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.14 no.10
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    • pp.68-74
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    • 1997
  • The surface finishing system using the micro abrasive film was designed and manufactured to make the mirror surface of the cylindrical workpices. An experimental study of srface finishing was carried out to investigate the performance of mirror surface finishing system. The surface roughness value of stainless steel was about 0.2 .approx. 0.25 .mu. m Rmax, 0.02 .approx. 0.04 .mu. m Ra, using abrasive grain size of 12, 9 .mu. m. The surface roughness value of chrome coated workpiece was about 0.07 .approx. 0.11 .mu. m Ra using abrasive grain size 3 .mu. m. In the same condition, the chrome coated workpiece has obtained better surface roughness charateristics than the one of stainless steel.

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A Study on the Characteristics of the Mirror Surface Abrasive Finishing using Micro Abrasive Film (마이크로 필름을 이용한 경면연마가공 특성에 관한 연구)

  • 김홍배;배명일;남궁석
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1997.04a
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    • pp.970-976
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    • 1997
  • The ultra-precision machining is widely used for final machining process of precision parts, so in this study, mirror surface finishing systems using the micro abrasive film, one of ultra-precision machining method, have to examine mirror surface characteristics of the cylindrical workpiece(SM45) such as surface roughness, workpiece removal and evaluated under the condition varing film feed rate, applied pressure, grinding speed after fixing other condition. It was found that varrious machining condition have significant influences on workpiece removal, surface roughness.

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기술리포트 II - 초정밀가공기술로서의 CMP 기술과 그 응용분야

  • 도시로;쿠로가와슈헤이;우메자키요우지;코시야마이사무
    • The Optical Journal
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    • s.119
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    • pp.60-64
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    • 2009
  • 최근 전자 광정보통신시스템의 급속한 고성능화 다기능화로 상징되는 것처럼, 기능성 재료의 물성을 십분 발휘하여 초고성능부품을 제조하기 위해서는 초정밀가공기술이 필수이다. 여기에서 말하는 초정밀가공조건에는 통상, 무료란(결정공학적으로 원자배열에 교란이 없는)경면, 게다가 나노미터오더의 형상정도여야 하는 것이 대전제가 된다. 본 고에서는 초정밀가공기술을 구사한 가공공정 중에서, 가장 미세한 가공면을 얻을 수 있는 유리지립 가공의 초정밀폴리싱/CMP기술과 그 응용사례에 관해 서술한다.

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초정밀 가공 시스템

  • 이후상
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.10 no.1
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    • pp.14-21
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    • 1993
  • 비규면의 경면 가공으로 대표되는 초정밀 가공 기술은 '90년대에 와서는 이미 일반화되어가고 있으며, 양산화 시대를 맞이하고 있다고 보아야 할 것이다. 최근의 초정밀 가공 기술은 레이저 가공기를 비롯하여 일상용품으로 많이 사용되는 카메라, 컴팩트 디스크, 콘택트렌즈, 컴퓨터 디스크 등에 활용됨은 물론 대구경천채망원경, 우주 및 군사용의 레이저, X-선을 중심으로한 광기술에 점점 그 용도가 확대되어 가고 있다. 현재 초정밀 가공기가 응용되고 있는 부품의 예를 들어보면 표1과 같다. 우리나라의 초정밀 가공 시스템 기술은 선진국에 비하여 아직은 한단계 낮은 수준으로 평가되나, 최근 전자, 컴퓨터 산업의 발전과 더불어, 그 수요가 증가되고 있어 최근에는 그 응용기술, 가공시스템에 관한 연구개발이 산,학,연 여러 곳에서 활발해 지고 있다. 본 고에선 초정밀 절삭,연삭 가공시스템을 중심으로 가공기와 요소기술의 개발동향에 관하여 살펴 보고자 한다.

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Development of the Magnetic -Electrolytic-Abrasive Polishing(MEAP)(2nd) -Development of the MEAP system and finishing characteristics- (자기전해복합경면가공의 개발에 관한 연구(제2보) -시스템 개발 및 가공특성)

  • 김정두
    • Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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    • v.4 no.3
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    • pp.31-38
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    • 1995
  • Magnetic-electrolytic-abrasive polishing(MEAP) system was newly developed and the finishing characteristics of Cr-coated roller was analyzed. The paper describes the operational principle of MEAP system and magnetic field effect on the MEAP process by experimental results. The finishing characteristics and optimal finishing condition for Cr-coated roller was experimented and analyzed.

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Intelligent Diagnosis of Grinding State Using AE and Power Signals (음향방출과 동력 신호에 의한 인공지능형 연삭상태 진단)

  • Kwak, J.S.;Ha, M.K.
    • Journal of Power System Engineering
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    • v.6 no.2
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    • pp.60-67
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    • 2002
  • 연삭가공은 나노스케일(Nano-scale)의 미소한 입자 절삭날을 이용한 가공으로, 공작물의 표면을 경면(Mirror surface)으로 가공할 수 있어 제품의 최종 마무리공정으로 사용되어 왔다. 그러나 연삭공정에 있어서는 공구(연삭숫돌)의 수명이 다하거나 가공계(Machining system)가 불안정해지면 채터진동과 연삭버닝 등의 현상이 발생하여 가공물의 표면품위를 저하시키는 요인으로 작용하고 있다. 따라서 본 연구는 원통플른지 연삭공정을 대상으로 공작물에서 발생하는 음향방출 신호와 연삭기 주축 모터의 동력 신호를 연삭가공 중에 검출하고, 이를 신경회로망에 적용하여 연삭가공 상태를 진단하는 시스템을 구축하고, 그 성능을 평가하였다.

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A study on the Finishing Characteristics of Ultra-precision System (초정밀 가공시스템의 염마 가공 특성에 관한 연구)

  • Bae, Myung-Il;Kim, Hong-Bae
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.16 no.10
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    • pp.11-16
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    • 1999
  • In this study, Ultra-precision finishing system using micro abrasive film experimented using experimental variable film feed speed and grinding speed and structural steel(SM45C) with respect to 12~3{\mu}m$ micro abrasive film. the result are follows; (1) Experimental condition must setup dissimilar about each micro abrasive film. (2) To measurement deviation the smallest machined condition are 20mm/min in 12{\mu}m$, 5mm/min and 15mm/min in 9{\mu}m$ and 5{\mu}m$, 5mm/min in 3{\mu}m$ in film feed speed. (3) To measurement deviation the smallest machined condition are 180m/min in 12{\mu}m$, 84m/min in 9{\mu}m$, 56 and 84m/min in 5{\mu}m$, 104m/min in 3{\mu}m$ in grinding speed.

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Maintenance and Improvement of KMTNet Telescope and Enclosure (외계행성 탐색시스템 광시야 망원경과 돔 인클로져의 유지보수 및 성능개선)

  • Lee, Yongseok;Cha, Sang-Mok;Lee, Chung-Uk;Kim, Seung-Lee;Lee, Dong-Joo;Jeon, Young-Beom;Park, Hong Soo;Jin, Ho
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.43 no.1
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    • pp.39.4-40
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    • 2018
  • KMTNet 광시야 망원경의 성능 개선을 위해 2017년에 이루어진 주요 작업으로 주경 배플(baffle) 설치, 주경 코팅, 돔 플랫(dome flat) 장치 설치에 대해 발표한다. 망원경 주경의 가장자리(turn down edge)는 경면 가공이나 코팅 상태가 균질하지 않을 수 있으며, 이로 인한 난반사는 밝은 별 주위에 넓은 wing profile과 여러 갈래의 방사상 빛줄기를 만든다. 이런 난반사를 제거하기 위해 주경면 바로 앞에 배플을 설치하였다. 주경의 광학 성능과 집광력이 최적이 되도록 배플 내부 직경 값을 1,580 mm로 조정하여 설치한 결과, 관측 영상에서 별의 영상이 크게 개선되었다. 호주 관측소는 상대적으로 습기가 높아서 망원경 주경의 반사율이 빨리 낮아졌으며, 이를 개선하기 위해 기존의 코팅(protected silver)을 제거하고 알루미늄으로 새로 코팅하였다. KMTNet 3개 관측소는 주경의 반사율과 코팅 면의 확대 영상을 정기적으로 모니터링하여 광학 성능의 변화를 추적하고 있다. 밤하늘 플랫(twilight sky flat) 영상을 보완하기 위해, 돔 인클로져에 플랫 스크린과 광원을 설치하여 돔 플랫 영상을 획득하였다. 마지막으로 KMNet 관측시스템을 운영하며 발생한 돔 회전 및 돔 셔터 구동부 문제 등에 대해 소개하고, 문제 발생 원인과 주기, 문제 해결 방안을 발표한다.

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