• 광학세계
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• 통권111호
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• pp.73-77
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• 2007

• 광학세계
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• 통권119호
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• pp.60-64
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• 2009

최근 전자 광정보통신시스템의 급속한 고성능화 다기능화로 상징되는 것처럼, 기능성 재료의 물성을 십분 발휘하여 초고성능부품을 제조하기 위해서는 초정밀가공기술이 필수이다. 여기에서 말하는 초정밀가공조건에는 통상, 무료란(결정공학적으로 원자배열에 교란이 없는)경면, 게다가 나노미터오더의 형상정도여야 하는 것이 대전제가 된다. 본 고에서는 초정밀가공기술을 구사한 가공공정 중에서, 가장 미세한 가공면을 얻을 수 있는 유리지립 가공의 초정밀폴리싱/CMP기술과 그 응용사례에 관해 서술한다.

• 대한기계학회논문집
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• 제14권6호
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• pp.1515-1522
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• 1990

본 연구에서는 천연다이아몬드의 인선형상을 R형과 S형으로 구분하여 제작하 고 미세이송과 절삭속도 변화를 주어 이에 얻어지는 표현거칠기, 칩 생성기구 및 경면 성을 검토하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제23권1호
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• pp.97-104
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• 2006

ELID(Electrolytic In-process Dressing) grinding is an excellent technique for mirror grinding of various advanced metallic or nonmetallic materials. A polishing process is also required for elimination of scratches present on ELID grinded surfaces. MAP(Magnetic Assisted Polishing) has been used as polishing method due to its high polishing efficiency and to its resulting in a superior surface quality. This study is describing an effective fabrication method combining ELID and MAP of nano-precision mirror grinding for glass-lens molding mould. It also presents some techniques for achieving the nanometer roughness of the hard metals, such as WC-Co, which are extensively used in precision tooling material.

• 한국정밀공학회지
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• 제14권3호
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• pp.82-88
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• 1997

In this paper, the development of a precision CNC lathe prototype for mirror surface machining is presented. To obtain high precision machining accuracy, a hydrostatically supported precision spindle and a sliding guideway with turcite pad are adopted as the motion elements. The machining accuracy of the prototype machine, and the motional accuracy of its motion elements are tested and evaluated to confirm the validity of the application of these elements on the prototype. The hydrostatic spindle shows 0.09 .mu. m of rotational accuracy and the guideway shows about 0.8 .mu. m/170mm of horizontal straightness. The sur- face roughness of cupper and aluminium cylinder machined by the prototype machine with diamond tool are 0.07 .mu. m and 0.10 .mu. m Rmax respectively. From these results, it is verified that the prototype lathe is avail- able for high precision machining.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.260-260
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• 2004

연삭 가공은 대직경 반도체 웨이퍼의 경면 가공, 산업용 정밀 부품, 광학 분야의 고정밀급 렌즈 등 여러 산업 분야의 각종 정밀 부품의 마무리 공정에 적총되어 제품의 질을 좌우하는 필수적인 공정이라 할 수 있다. 이러한 연삭 가공은 높은 치수 정밀도와 양호한 표면 거칠기 및 제품의 형상을 동시에 만족시킬 수 있는 가공 기술로서 , 대직경 웨이퍼 생산에 있어서, 고정밀ㆍ고품위의 웨이퍼를 양산하는데 적합한 기술로 인식되고 있다.(중략)

• 한국정밀공학회지
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• 제24권10호
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• pp.31-36
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• 2007

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 1995년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.133-141
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• 1995

• 한국기계가공학회지
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• 제13권1호
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• pp.121-128
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• 2014

Superfinishing is essential for mirror surfaces, because among mechanical components cylindrical workpieces such as spindles must maintain precision and reliability with respect to functional characteristics. However, research on standardization of polishing film application combination to obtain mirror surfaces is insufficient. Consequently, this has been a factor in rising costs of mechanical components. Therefore, in this study, experiments have been conducted to determine efficient polishing film application combination for mirror surfaces ranging from ductile materials such as SM45C, brass, aluminium 7075, and titanium to brittle materials such as $Al_20_3$, SiC, $Si_3N_4$, and $ZrO_2$. From the experimental results, efficient polishing film application combination for metallic materials and ceramic materials is confirmed.

• 한국정밀공학회지
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• 제10권1호
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• pp.14-21
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• 1993

비규면의 경면 가공으로 대표되는 초정밀 가공 기술은 '90년대에 와서는 이미 일반화되어가고 있으며, 양산화 시대를 맞이하고 있다고 보아야 할 것이다. 최근의 초정밀 가공 기술은 레이저 가공기를 비롯하여 일상용품으로 많이 사용되는 카메라, 컴팩트 디스크, 콘택트렌즈, 컴퓨터 디스크 등에 활용됨은 물론 대구경천채망원경, 우주 및 군사용의 레이저, X-선을 중심으로한 광기술에 점점 그 용도가 확대되어 가고 있다. 현재 초정밀 가공기가 응용되고 있는 부품의 예를 들어보면 표1과 같다. 우리나라의 초정밀 가공 시스템 기술은 선진국에 비하여 아직은 한단계 낮은 수준으로 평가되나, 최근 전자, 컴퓨터 산업의 발전과 더불어, 그 수요가 증가되고 있어 최근에는 그 응용기술, 가공시스템에 관한 연구개발이 산,학,연 여러 곳에서 활발해 지고 있다. 본 고에선 초정밀 절삭,연삭 가공시스템을 중심으로 가공기와 요소기술의 개발동향에 관하여 살펴 보고자 한다.