Cu 산화 공정과 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각 (Cu film dry etch by oxidation and H(hfac) process)

• 양희정;조범석;이재갑
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.89-89
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  • 1999
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헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각

• 정석재;양호식;조성민
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1998년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.139-139
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  • 1998
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RIE에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 여구 (Reactive Ion Etching of Pt Thin Films)

• 양정승;윤의준
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.102-103
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  • 1996
• PDF

플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구

• 윤석훈;김희정;정재룡;현규택;백두현;이휘건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.204-204
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  • 1997
• PDF

RIE를 이용한 SiC 박막의 건식 식각공정 연구 (Study on the dry etching process of SiC film using RIE)

• 강수창;신무환
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.112-112
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  • 2001
• PDF

초고집적 소자 제조를 위한 건식 식각 기술 동향

• 권광호;김보석
• • 전자공학회지
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  • 제18권9호
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  • pp.15-22
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  • 1991
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AlSiCu 건식식각 및 부식방지에 관한 고찰

• 권광호;박형호;구진근;강진영;조경익
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1993년도 제5회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.83-83
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  • 1993
• PDF

Inductively Couppled Plasma를 이용한 $Ba_{1-x}Sr_xTiO_3$ 박막이 건식 식각

• 이헌민;김동천
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.207-208
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  • 1997
• PDF

MEICpp(magnetically enhanced inductively couppled)에 의한 RuO2 및 Ru 박막의 건식 식각 특성

• 장제욱;이영준;한근조;이재찬;염근영
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1999년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.155-155
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  • 1999

HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성

• 이도영;정지원
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.308-308
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  • 2008
• PDF

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