• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.31 no.3
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• pp.486-491
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• 2014

We have been fabricated Thin-walled carbon nanotubes (TWNTs)/amine epoxy additives composite using Eco-friendly solvent system such as supercritical process and dry mixed process. TWNTs/amine epoxy additives composite has used as a curing agent for urethane based bisphenol A type epoxy resin. The thermo-mechanical property of the epoxy resin cured by TWNTs/amine epoxy additives composite is characterized by dynamic mechanical analysis(DMA) and dispersability of the nanotubes in the epoxy matrix is also confirmed by scanning electron microscope(SEM). As a results, the epoxy resin cured by TWNTs/amine epoxy additives composite with supercritical process shows enhanced dispersability of the TWNTs in the matrix and thermo-mechanical property when compare to dry mixed process.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.233.1-233.1
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• 2016

화학적 방법에 의한 NTE graphite의 박리 또는 전도도 개선을 위한 도핑공정을 수행할 경우, 결함 및 불순물 생성에 의해 재결정화 공정 및 순도 개선을 위한 별도의 공정을 필요로한다. 본 연구에서는 건식 방법으로써 10,000K 이상의 초고온 RF 열플라즈마를 이용하여 in-situ 방법으로 흑연의 박리, 결함 제거, 결정성 향상 및 도핑 공정을 수행하고, 도핑특성을 평가하였다. 질소 도핑을 위하여 암모니아 가스를 첨가하여 NTE graphite를 도핑 처리하였으며, 시뮬레이션을 통하여 반응기 내부의 온도분포를 파악하고, 도핑을 위한 암모니아가스가 분해되어 도핑공정이 수행될 수 있는 투입위치를 결정하였다. 질소 도핑율은 암모니아 가스의 주입위치에서의 온도 및 가스 주입 유량 등의 공정조건에 따라 변화됨을 확인하였고, XPS 분석결과 최대 14.87 atomic%의 도핑율의 결과를 얻었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.102.1-102.1
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• 2015

플라즈마를 이용한 건식식각공정은 식각하고자 하는 기판과 더불어 챔버 내부를 구성하고 있는 부품들이 플라즈마에 함께 노출되는 환경이다. 챔버 내부가 장시간 플라즈마에 노출되어 열화 되면 기판의 불량을 야기하는 오염입자의 발생이 증가하므로 양산 공정에서는 그 때마다 내부 부품을 교체하여 청정한 공정 환경을 유지시킨다. 공정 챔버의 내부 부품은 플라즈마로 인한 열화를 방지하기 위하여 내플라즈마성이 우수하다고 알려진 코팅처리를 하여 사용한다. 금까지 플라즈마 식각 공정에 관한 연구는 식각하고자 하는 기판관점에서 활발히 이루어져 왔으나 내플라즈마성 코팅소재 관점에서의 연구 보고는 미미한 실정이다. 본 연구에서는 장시간의 양산공정을 모사하는 가혹한 플라즈마 조건에서 $CF_4/O_2$ 혼합가스를 사용하여 AAO (Anodic Aluminum oxide)피막의 오염입자 특성을 실시간 모니터링 하는 동시에 OES 분석을 수행하여 내플라즈마성 코팅소재의 오염입자 발생 메커니즘에 대하여 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2004.06a
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• pp.304-304
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• 2004

차세대관리 종합공정은 사용후핵연료를 안전하고 효율적인 관리를 위하여 제시된 공정으로 이 공정을 이용하여 사용후핵연료를 금속으로 전환하고 고발열성 핵종(CS, Sr)을 효율적으로 제거할 경우 사용후핵연료의 부피, 발열량 및 방사선의 세기를 최대 1/4까지 감소시키고, 처분용기의 소요량과 처분장의 소요면적을 1/2 이상으로 축소함으로서 처분 안정성과 경제성을 높일 수 있다. 차세대관리 종합공정은 용융염 매질에서 사용후핵연료를 처리하는 건식핵연료주기 기술로서 중심적으로 연구개발을 추진하고 있는 공정기술의 일부이다.(중략)

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2004.06a
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• pp.349-349
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• 2004

차세대관리 종합공정(Advanced spent fuel Conditioning Process)은 사용후핵연료의 안전하고 효율적인 관리를 위하여 제시된 건식처리공정으로 사용후핵연료를 금속으로 전환하고, 고발열성 핵종(Cs, Sr)을 효율적으로 제거하여 사용후핵연료의 부피, 발열량 및 방사선의 세기를 최대 1/4까지 감소시키고, 처분용기의 소요량과 처분장의 소요면적을 1/2 이상으로 축소함으로서 처분 안전성과 경제성을 높일 수 있는 장점으로 인해 연구개발 중에 있으며, 이의 실증시험 수행을 위하여 ${\alpha}-{\gamma}$ type의 핫셀을 건설 중에 있다.(중략)

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2003.05a
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• pp.122-123
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• 2003

물리적인 건식 방법으로 소각 및 매립되는 생활계 폐플라스틱에 포함된 이물질을 제거하는 공정을 확립 연구를 수행하였다. 수집 운반되는 생활계 폐플라스틱 시료의 발생 장소, 위치 및 시간에 따라 포함된 이물질 종류가 다르고 수분의 함량에 있어 차이가 많이 있어 투입되는 시료에 대한 일차 이물질 분석이 필요하다. 이물질 분리 공정은 운반 $\rightarrow$ 파쇄 $\rightarrow$ 선별 분리(자력, 와류, 스크린) $\rightarrow$ 저장의 순서로 진행하였으며 파쇄시 흙 종류가 많이 포함된 경우에는 -0.8cm로 파쇄할 경우 효과적이나 일반적으로 -1.2cm 정도로 파쇄하여 이물질을 선별 분리하여도 이물질이 함유량이 3%이하이며, 회수율은 97% 이상이었다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2002.11a
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• pp.322.1-322
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• 2002

국내외의 반도체 회사의 반도체 제작공정에서 여러 종류의 가스를 흡입하여 웨이퍼의 증착에 이용하게 되는데 각각의 과정에서 요구되는 진공도를 유지하기 위하여 사용되는 것이 드라이 진공펌프이다. 이때 사용되는 질소가스의 흡입압력에 의해 발생되는 진공도의 변화에 따른 진공펌프의 소음 특성을 실험을 통해 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2014.11a
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• pp.153-154
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• 2014

전사 방식은 금속 패턴을 다른 기판에 전사시키는 방법으로, 대면적 디스플레이에 응용하기 위해 나노 사이즈 패턴을 반복적으로 전사하는 새로운 공정을 개발하였다. 나노선 임베드 구조체와 전해 도금 방식을 이용하여 나노선 네트워크 구조체를 반복적으로 이종 기판에 전사시키는데 성공하였으며, 기존의 전사 방식인 건식 방식에 비해 공정 속도를 높이고 전사되는 패턴의 사이즈를 효과적으로 낮추는 것을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference
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• 2003.10a
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• pp.112-115
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• 2003

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.48 no.2
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• pp.140-146
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• 2010

This paper addresses recent status and trends of carbon dioxide capture technologies using dry sorbents in the flue gas. The advantages of dry sorbent $CO_2$ capture technology are broader operating temperature range, less energy loss, less waste water, less corrosion problem, and natural properties of solid wastes. Recently, U.S.A. and Korea have been developing processes capturing $CO_2$ from real coal flue gas as well as sorbents improving sorption capacity to decrease total $CO_2$ capture cost. New class of dry sorbents have been developed such as chemisorbents with alkali metals of which material cost is low, amines physically adsorbed on silica supports, amines covalently tethered to the silica support, carbon-supported amines, polymer-supported amines, amine-containing solid organic resins and metal-organic framework. The breakthrough is needed in the materials on dry sorbents to decrease capture cost.