Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

New transfer method of electrodeposited nano metal pattern by using nanowire embedded mold

나노선 임베드 몰드를 이용한 도금 패턴 전사방법

  • 엄현진 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹) ;
  • 이재민 (한국과학기술원 EEWS 대학원) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 EEWS 대학원) ;
  • 박인규 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 정준호 (한국기계연구원 나노공정연구실)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

전사 방식은 금속 패턴을 다른 기판에 전사시키는 방법으로, 대면적 디스플레이에 응용하기 위해 나노 사이즈 패턴을 반복적으로 전사하는 새로운 공정을 개발하였다. 나노선 임베드 구조체와 전해 도금 방식을 이용하여 나노선 네트워크 구조체를 반복적으로 이종 기판에 전사시키는데 성공하였으며, 기존의 전사 방식인 건식 방식에 비해 공정 속도를 높이고 전사되는 패턴의 사이즈를 효과적으로 낮추는 것을 확인하였다.

Keywords