• Title/Summary/Keyword: 개별법

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Atomic Layer Deposition of ZrSiO4 and HfSiO4 Thin Films using a newly designed DNS-Zr and DNS-Hf bimetallic precursors for high-performance logic devices (DNS-Zr과 DNS-Hf 바이메탈 전구체를 이용한 Gate Dielectric용 ZrSiO4 및 HfSiO4 원자층 증착법에 관한 연구)

  • Kim, Da-Yeong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.138-138
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    • 2017
  • 차세대 CMOS 소자의 지속적인 고직접화를 위해서는 높은 gate capacitance와 낮은 gate leakage current를 확보를 위한, 적절한 metal gate electrode와 high-k dielectric 물질의 개발이 필수적으로 요구된다. 특히, gate dielectric으로 적용하기 위한 다양한 high-k dielectric 물질 후보군 중에서, 높은 dielectric constant와, 낮은 leakage current, 그리고 Si과의 우수한 열적 안정성을 가지는 Zr silicates 또는 Hf silicates(ZrSiO4와 HfSiO4) 물질이 높은 관심을 받고 있으며, 이를 원자층 증착법을 통해 구현하기 위한 노력들이 있어왔다. 그러나, 현재까지 보고된 원자층 증착법을 이용한 Zr silicates 및 Hf silicates 공정의 경우, 개별적인 Zr(또는 Hf)과 Si precursor를 이용하여 ZrO2(또는 HfO2)과 SiO2를 반복적으로 증착하는 방식으로 Zr silicates 또는 Hf silicates를 형성하고 있어, 전체 공정이 매우 복잡해지는 문제점 뿐 아니라, gate dielectric 내에서 Zr과 Si의 국부적인 조성 불균일성을 야기하여, 제작된 소자의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점을 나타내왔다. 따라서, 본 연구에서는 이러한 문제점을 개선하기 위하여, 하나의 precursor에 Zr (또는 Hf)과 Si 원소를 동시에 가지고 있는 DNS-Zr과 DNS-Hf bimetallic precursor를 이용하여 새로운 ZrSiO4와 HfSiO4 ALD 공정을 개발하고, 그 특성을 살펴보고자 하였다. H2O와 O3을 reactant로 사용한 원자층 증착법 공정을 통하여, Zr:Si 또는 Hf:Si의 화학양론적 비율이 항상 일정한 ZrSiO4와 HfSiO4 박막을 형성할 수 있었으며, 이들의 전기적 특성 평가를 진행하였으며, dielectric constant 및 leakage current 측면에서 우수한 특성을 나타냄을 확인할 수 있었다. 이러한 결과를 바탕으로, bimetallic 전구체를 이용한 ALD 공정은 차세대 고성능 논리회로의 게이트 유전물질에 응용이 가능할 것으로 판단된다.

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화학적기상증착법에 의해 성장된 BixTey 계 박막의 미세구조 연구

  • Lee, Yu-Min;Kim, Yeong-Heon;Ryu, Hyeon;Jeon, Gi-Mun;Gang, Sang-U;Kim, Yong-Gyu
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.178-178
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    • 2011
  • 군사용 장비의 전원장치, 인공위성, 해양개발용 등의 특정분야에 한정되어 이루어지던 열전물질에 대한 연구가 최근에는 에너지원의 다양화와 에너지 절약에 대한 필요성이 크게 대두됨에 따라 산업 폐열과 각종 열기관의 폐열 및 해수 온도차나 태양열과 같은 자연에너지를 이용하는 열전발전에 대한 연구로 영역이 확장되어 꾸준히 이루어지고 있다. 다양한 열전 재료 중에서 BixTey 계, BixSey 계, SbxTey 계, 혹은 이들의 합금계가 많이 연구되고 있다. 이 중에서 BixTey 계의 박막 성장 방법으로는 sputtering deposition, electrodeposition, flash evaporation, molecular beam epitaxy, chemical vapor deposition (화학적기상증착) 등이 있다. 이러한 다양한 방법들 중에서 화학적기상증착법은 양질의 두꺼운 막을 성장시킬 수 있음과 동시에 산업적인 생산에 적용될 수 있기 때문에 열전박막 증착을 위한 중요한 수단이 될 수 있을 것으로 생각되고 있다. 하지만 적절한 전구체(precursor)의 부족, tellurium (Te)의 재증발과 같은 문제점 때문에 화학적기상증착법을 이용한 BixTey 계 박막에 대한 전반적인 연구가 부족한 실정이다. 본 연구에서는 다양한 기판, 예를 들면, 실리콘(Si), 실리콘 산화물(SiO2), 백금(Pt) 등, 에 화학적기상증착법을 이용하여 BixTey 계 박막을 성장시키고, 온도와 압력 등의 조건 변화에 따른 박막의 형상과조성, 구조적 특성에 관한 연구를 진행하였다. 특히, 성장 조건에 따른 박막의 형상 연구를 통하여 성장 기구에 관한 고찰을 진행할 수 있었다. 나아가 투과전자현미경 연구를 통하여 기판과 박막의 계면 특성과 개별 결정립이 가지는 미세구조적 특성에 관한 연구를 진행하였다.

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Development of an Analytical Method for the Spectrometric Simultaneous Determination of Fe2+ and Fe3+ Ions Using a Technique of Flow Injection Analysis (흐름주입분석기법을 이용한 Fe2+ 이온과 Fe3+이온의 광학적 동시정량을 위한 분석기법의 개발)

  • Hwang, Hun;Kim, Jin Ho
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.46 no.5
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    • pp.419-437
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    • 2002
  • An analytical method for the spectrometric simultaneous determination of the individual ions in the mix-tures of $Fe^{2+}$ and $Fe^{2+}$ ions utilizing a technique of flow injection analysis has been developed. The method was based on the oxidation reaction between $Fe^{2+}$ ion and $H_2O_2$ in an acidic medium and the subsequent formation of a red Fe$(SCN)^{3-x}_x$ ion by the complexation reaction between $Fe^{2+}$ ion and $SCN^-$ ion. Unlike the conventional methods which require separate processes for the pre-treatment of the sample solution, the current method uses the same FIA system for the pre-treatment and the analysis of the sample. The detection limit for the determination of $Fe^{2+}$ ion was found to be 6.00${\times}10^{-7}$M.

A Study on Problems and Revised Direction of Basic Law on Electronic Transaction (전자거래기본법의 문제점과 개정방향에 관한 연구)

  • Lee, Chan-Do;Kim, Young-Joon
    • International Commerce and Information Review
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    • v.4 no.1
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    • pp.21-38
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    • 2002
  • 1999년 7 월부터 시행된 "전자거래기본법"은 전자문서와 전자거래의 효력을 법적으로 인정하고 있다. 그러나 본 법률이 제정될 당시 UNCITRAL의 전자상거래 모델법(1996)을 그대로 답습하여 영미 법계와 달리 대륙법계인 우리 나라의 실정에는 맞지 않는 조항이 포함되고 법률의 체계도 기본법 체계라고 보기에는 어려운 법률제정체계 문제점도 등장하고 있다. 이에 따라 본 연구에서는 전자문서의 개념과 데이터, 기록물 등의 다른 개념과의 관계 재정립을 통한 전자문서의 정의재조명과 동법에서의 "전자거래" 개념의 해석을 통한 전자거래 개념의 발전방향을 살펴본 후 현재 동법과 전자서명법과의 관계해석을 통해 법제정 추진체계 및 방향에 대하여 검토하였다. 전자문서와 관련해서는 기존의 문서개념과 기능을 생각하건대 현재 각종 법률에서 언급되고 있는 전자문서의 개념은 제한적으로 해석되어야 한다. 문서라는 개념을 넘어서는 새로운 개념도입이 필요하다면, 디지털컨텐츠의 포함한 전자적 기록 내지 전자적 매시지라는 개념도입이 불가피하다. 그러나 이러한 방식은 재산권을 표상하는 정보(컨텐츠, 화폐가치의 정보 등)와 기존의 문서와 서면을 대신하는 정보를 혼합시켜 이해하게 만들어 오히려 해석상 혼란을 가중시킬 수 있다. 따라서 기존의 문서나 서면을 대체하는 '전자문서'라는 개념은 그대로 사용하되, 기타 정책목적상 필요하다고 판단되는 디지털 컨텐츠, 화폐가치를 표상한 정보(전자화폐, 전자자금 정보 등) 등은 개별법률에서 이에 관한 정의를 하고 규율을 하는 것이 바람직할 것이다. 전자거래와 관련해서는 본 개념을 전자문서와 관련시켜 파악해서는 안된다는 것을 전제로 강학적 의미로 전자거래의 해석부분은 이해를 하되, 특정한 법률에는 그 법률제정목적에 맞는 전자거래의 개념정의를 통해 법률제정 내지 개정목적을 달성하면 될 것이다. 전자거래를 포괄하는 법률은 가능하지도 않고 이것이 가능하다 하더라도 결국 포함되어야 하는 전자거래 관련 규정을 선별하는 것도 쉽지 않을 것이다.

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The Study on the Comparison of Building Use Classification between Building Act and Installation.Maintenance & Safety Management of Fire-Fighting System Act (건축법과 소방시설 설치유지 및 안전관리에 관한 법령간 건축물 용도분류체계 비교 연구)

  • Hwang, Eun-Kyoung
    • Fire Science and Engineering
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    • v.23 no.4
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    • pp.112-119
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    • 2009
  • Building use classification is classified the building types according to the similar structure, the goal of the use, and its shape. The important reason of building use classification is that building restrictions are applied according to building use classifications. But there are a lot of confusion because the building use classification is regulated not only by the Building Act but also by the several individual Act. Particularly in the large-scaled, high-raised and complex building construction, it is very important to remain the consistency of the building use classification between the Building Act and the Fire-Fighting System Act for safety of occupants. So the purpose of this study is to suggests the improve direction of the building use classifications through the comparative analysis of the Building Act and the Fire-Fighting System Act.

Zoning by Natural Disaster and Practical Application (풍수해관리구역의 설정과 활용 방안)

  • Song, Juil;Yoo, Jae-hwan;Jang, Moon-yup;Kim, Han-tae
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2015.05a
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    • pp.258-258
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    • 2015
  • 풍수해저감종합계획은 해당 지역의 풍수해 위험요인을 종합적으로 조사 분석하여 피해예방 및 저감을 위한 각종 구조적 대책과 비구조적 대책을 종합적으로 제시하는 방재분야 최상위 종합 계획이다. 풍수해저감종합계획은 자연재해대책법 제16조, 같은 법 시행령 제14조, 같은 법 시행 규칙 제4조의4에 따라 특별시 광역시 특별자치시 특별자치도 및 시 군에서 수립하고 있다. 또한 자연재해대책법 제16조 6항에서는 광역도시계획, 도시 군기본계획 및 도시 군관리계획의 수립 변경권자가 광역도시계획, 도시 군기본계획 및 도시 군관리계획을 수립하거나 변경하는 경우에는 시 군, 시 도 풍수해저감종합계획을 반영하도록하고 있다. 그러나 시설물 위주의 저감대책, 풍수해위험지구 정보의 한계, 풍수해위험지구의 자연재해위험개선지구 지정으로 인한 개별사업에 의한 재해저감 대책 수립 등의 이유로 현실적으로 반영이 잘 되지 못하고 있는 실정이다. 실제 경기도 도시기본계획의 방재 및 안전계획 부분의 풍수해저감종합계획과의 연계를 검토한 결과 대부분의 지자체가 방재대책과 관련하여서는 원론적인 측면에서만 언급하고 있는 것으로 나타났다. 본 연구에서는 풍수해저감종합계획의 도시계획에서의 활용도를 높이고자 하천, 내수, 사면, 바람, 해안재해 등 재해유형별로 풍수해의 직접적 발생과 풍수해 발생에 영향을 주는 공간적 영역, 개발 상태, 개발예정 등 토지이용현황 및 계획 등을 고려하여 풍수해중점관리구역, 풍수해선제관리구역, 풍수해전략관리구역으로 구분하여 설정하는 방법론과 활용방안을 제시하고자 하였다. 또한 도시계획 수립 시 풍수해관리구역을 어떻게 활용할 것인지에 대한 방안을 제시하였다. 향후 풍수해관리구역 지정과 관련한 법제도 및 지침 등이 마련된다면 풍수해관리구역은 풍수해저감을 위한 토지이용 및 기반시설, 건축물 제한 등 도시계획적 대책 마련에 적극적으로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.

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Die Genehmigungsfiktion im deutschen VwVfG (독일 행정절차법상의 허가의제제도와 그 시사점)

  • Kim, Jung-Kwon
    • Journal of Legislation Research
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    • no.54
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    • pp.39-69
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    • 2018
  • In $j{\ddot{u}}ngster$ Zeit wird eine Fiktion im Verwaltungsrecht als essentielles Instrument $f{\ddot{u}}r$ Deregulierung sowie Verwaltungsvereinfachung mehr und mehr ins Feld $gef{\ddot{u}}hrt$ und ihre Erweiterung gefordert, weil sie in der Regel auf das Zeitsparen durch Verfahrenswegfall zielt. In Deutschland $erh{\ddot{o}}hte$ sich eine Bedeutung der Genehmigungsfiktion, indem sie durch 4.Novelle des VwVfG, die bei der Umsetzung der Richtlinie 2006/123/EG $ben{\ddot{o}}tigt$ wurde, als ein allgemeines verwaltungsrechtliches Rechtsinstitut eingeordnet wird. In Korea gibt es $vielf{\ddot{a}}ltige$ Fiktionsmethode, $w{\ddot{a}}hrend$ im deutschen Recht die Fiktion lediglich darin besteh, nach Ablauf der festgesetzten Frist die Entscheidung bzw. den Verwaltungsakt anzunehmen. Die systematische und logische Festsetzung der Fiktionslehre in Korea ist erforderlich. Deshalb wird eine allgemeine Regel zur Fiktion durch eine Kodifikation des allgemeinen Verwaltungsgesetzes, wie VwVfG, gefordert.

A Study on the Improvement of Regulations on Economic Counterintelligence (경제방첩 법제의 개선에 관한 소고)

  • Kim, Ho
    • The Journal of the Convergence on Culture Technology
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    • v.8 no.3
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    • pp.323-329
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    • 2022
  • Although the National Intelligence Service Act has been amended considering the growing importance of economic counterintelligence, a clear interpretation of certain provisions and improvement of the effectiveness of economic counterintelligence are required. This article presents some suggestions for regulations on economic counterintelligence. Firstly, the meaning of the term "disturbance of economic order in connection with foreign powers" will become clear by interpreting it with the terms of the Counterintelligence Duty Regulation and by setting categories referring to the U. S. regulations. Secondly, counterintelligence authorities' request for cooperation may be reinforced by amending relevant regulations or by applying a special procedure for the acquisition of data. Finally, strengthened punishment for activities in connection with foreign powers may improve the efficiency of counterintelligence.

Smartphone Digital Image Processing Method for Sand Particle Size Analysis (모래 입도분석을 위한 스마트폰 디지털 이미지 처리 방법)

  • Ju-Yeong Hur;Se-Hyeon Cheon
    • Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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    • v.35 no.6
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    • pp.164-172
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    • 2023
  • The grain size distribution of sand provides crucial information for understanding coastal erosion and sediment deposition. The commonly used sieve analysis for grain size distribution analysis has limitations such as time-consuming processes and the inability to obtain information about individual particle shapes and colors. In this study, we propose a grain size distribution analysis method using smartphone digital images, which is simpler and more efficient than the sieve analysis method. During the image analysis process, we effectively detect particles from relatively low-resolution smartphone digital images by extracting particle boundaries through image gradient calculation. Using samples collected from four beaches in Gyeongsangbuk-do, we compare and validate the proposed boundary extraction image analysis method with the analysis method that does not extract boundaries, against sieve analysis results. The proposed method shows an average error rate of 8.21% at D50, exhibiting a 65% lower error compared to the method without boundary extraction. Therefore, grain size distribution analysis using smartphone digital images is convenient, efficient, and demonstrated accuracy comparable to sieve analysis.

A Study on Regulation of Video on Demand Advertisements (주문형서비스(Video on Demand) 광고 규제에 관한 연구)

  • Cho, Dae-keun;Kim, Ki-youn
    • Journal of Internet Computing and Services
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    • v.17 no.4
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    • pp.145-159
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    • 2016
  • This study points out the problems of absence of the legislation for standard regulation on Video on Demand(VoD) advertisement which grows so fast lately, for this it recommends making legal references, which have the definition of non-linear broadcasting & VoD advertisement and VoD advertisement standard regulation in the merged Broadcasting Act, and adopting co-regulation system. Pay TV operators providing VoD service have the opportunities to make money as subscribers uses it increasingly. In case of linear service, the Broadcasting Act regulates the advertisement strictly, but not the VoD ads. The reason why is that Korean legislation including the Broadcasting Act does not have legal reference to regulate it, instead of that, it rely on the self-regulation system which is operated by pay-tv players who provide the VoD ads. So, there is the limitation to protect the minors such as children and youth from the harmful VoD ads, to be invulnerable for advertisers to influence to advertising agents, and to ensure the regulatory effectiveness under player-centric self-regulatory regime. In this context, this study analyses the how to regulate VoD ads standard with a three-pronged approach. First, it analyses the VoD ads regulation system in overseas countries, UK, Canada, EU and Ireland. Each country has the legal reference to regulate it in the Broadcasting Act or lower statures and adopts the co-regulatory regime the NRA and the 3rd entity operate together. Second, it reviews the objectives and scope of VoD ads standard. This study recommends that the objective of it is users protection and the scope of it is standard regulation not commercial practice. Third, this study researches how to legislate for regulation of VoD ads standard. Considering VoD service's characteristics(non-linear service) and legal position of Ads agency(i.e. pay tv operators), it suggest that legal reference will be in the integrated Broadcasting bill, which is the general law, not individual. If it is available to regulate VoD ads standard with co-regulatory regime, it expects the enhancement of user protection from the harmful VoD ads and make up sustainability of the pay-tv players' self-regulation.