r.f. 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 후열처리에 의한 배향 성장 및 강유전 특성
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1998년도 제16회 학술발표회 논문개요집
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- pp.62-62
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- 1998