• 제목/요약/키워드: 가열압력

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450 mm Wafer 가공을 위한 자화유도결합플라즈마 시뮬레이션 연구

  • 이호준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.411-411
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    • 2010
  • Cavity mode Whistler wave를 사용하는 자화유도결합플라즈마 (Magnetized Inductively Coupled Plasma, MICP)의 제반 특성을 비등방성 수송계수를 가지는 Drift-Diffusion 근사, 에너지 보존 방정식 및 유도전자계를 self-consistent 하게 고려하여 계산하였다. 이러한 접근법은 비충돌성 전자가열현상을 고려하지 못하는 단점에도 불구하고, 반도체 장비설계에 필수적인 전자온도, 밀도, 플라즈마 전위, 시스템의 임피던스 특성에 대한 경향성 파악에 매우 유용하다. 뿐만 아니라 전자밀도분포가 공간내에 형성되는 R-wave mode에 미치는 영향을 분석할 수 있다. 직경 320 mm를 가지는 작은 반응기에서 시뮬레이션과 실험결과를 비교하여 본 모델링 방법의 타당성을 검증한 후, 450 mm wafer가공에 적합한 대면적 플라즈마 반응기에서 플라즈마 특성을 연구하였다. 수 mTorr의 공정압력에서 약 10 Gauss전후의 약한 자장이 인가됨으로서 반경방향의 전자밀도 균일성이 대폭 향상되었다. 플라즈마 및 안테나의 대면적화에 수반되는 높은 Q값이 자장의 인가로 큰 폭으로 감소함으로서 임피던스메칭의 안정성이 비약적으로 개선되었고 전력전달 효율 또한 크게 증가함을 알 수 있었다. 본 연구 결과는 차세대 450 mm 반도체 공정장비의 개발에 있어 자화유도결합플라즈마가 매우 유용하게 사용될 수 있음을 보여준다.

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Ohmic Heating을 이용한 두유박의 압착탈수 (Dewatering of Soybean Milk Residue by Hydraulic Press with Ohmic Heating)

  • 조원일;변유량;이윤수;권익부
    • 한국식품과학회지
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    • 제28권2호
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    • pp.324-329
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    • 1996
  • 두유 및 두부 공장의 부산물로 생산되는 두유박을 식이섬유원 또는 식품용 소재로 유효하게 이용하기 위한 연구의 일환으로 저장성을 증가시킬 수 있는 탈수 공정에 대한 연구를 수행하였다 유압식 양착 탈수기를 이용하여 압착 압력, 시간, 시료량 등이 탈수 효과에 미치는 영향 및 ohmic heating을 이용한 압착탈수 효과 등을 검토, 고찰하였다. 단순가압에 의한 두유박의 탈수 조건을 검토한 결과 압착 압력 $5{\sim}20kg/cm^2$ 범위에서 압착 압력이 증가할수록 탈수 효과는 거의 직선적으로 증가하였으며, 압착 실린더에 시료의 충진 두께가 15 mm이상일 때 압착 효율이 매우 낮았다 가압에 의한 압착으로는 초기 수분함량 약 80%에서 단지 $74{\sim}785$정도까지만 감소시킬 수 있어 기계적 압력만으로는 효율적으로 탈수되지 않았다. 생두유박을 $10kg/cm^2$의 압력으로 압착하면서 60Hz, 100v의 일반 교류를 통하였을 때 초기 10분 동안에 급속히 탈수되었으며, 그 이후는 간신히 탈수가 진행되었다. 교류통전 압착시 기계적 압착에 비해 압착 즙액량이 2.4배 증가하였으며, 압착 케이크의 수분 함량은 70%까지 감소시킬 수 있었다. 또한 Joule열에 의하여 두유박은 급속히 가열되어 살균 효과를 얻을 수 있었다. 상용 주파수(60Hz)에서 접압을 변화시켰을 때 100V에서 가장 효과적인 탈수가 일어났으며, 60 V의 고정 전압에서 주파수 변환 시는 5kHz가 가장 효율적이었다.

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Microwave를 이용한 즉석 누룽지의 품질특성 (Quality Characteristics of Instant Nuroong-gi Prepared Using a Microwave)

  • 이현석;권기현;김종훈;차환수
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제16권5호
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    • pp.669-674
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    • 2009
  • 누룽지의 품질특성을 비교하기 위하여 증기솥 취반, 압력솥 취반 그리고 microwave를 이용하여 처리조건에 따라 제조한 누룽지를 평가 비교하였다. Microwave를 이용하여 제조된 누룽지는 수분함량, 색도측정, 물 결합능력, 점도측정, 침전물 생성량 및 탁도 측정, 관능평가를 분석한 결과 수분함량은 microwave을 이용하는 처리조건과 증기 및 압력을 이용한 취반조건에 차이는 발생 하지 않았다. 색도의 경우 증기솥 취반의 명도(L)가 64.70의 값으로 가장 밝은색을 나타내었으며 압력솥 취반은 값은 46.57로 나타나 가장 낮게 나타내었다. Microwave를 이용한 누룽지 및 시중에 판매되는 누룽지의 명도(L)는 55.70~56.74로 나타나 microwave처리시간별로 차이는 발생 하지 않았다. 물 결합능력은 microwave처리 시간이 증가 할수록 물 결합능력의 차이가 발생하며 이는 취반 중 수분건조가 이루어져 물 결합능력이 다소 낮아 졌다. 점도는 증기솥 취반누룽지의 점도가 가장 높았고 압력솥 취반누룽지의 점도가 가장 낮았으며 microwave를 이용하여 제조한 누룽지가 처리시간이 증가 할수록 누룽지의 점도가 낮아져 수분첨가량과 수분보 유량에 따라 변화하며 물 결합능력과 같이 수분건조에 의하여 품질의 변화가 나타났다. 침전물 생성량과 탁도는 취반조건에 상관없이 추출온도가 증가할수록 생성되는 침전물의 발생과 탁도가 증가하였고 추출 시 수용성 형태로 존재한 성분들이 가열처리로 취반방법에 따라 품질의 변화가 나타났다. 관능평가에서는 증기 및 압력을 이용한 취반방법보다 microwave을 이용하여 제조된 누룽지가 더 좋았다. 그러므로 microwave을 이용하여 제조한 누룽지가 기존에 제조되는 방식보다 식품산업에 이용하면 좋을 것이라고 판단되어진다.

고온 고압 환경에서 합성 제올라이트 X의 상전이 비교연구 (Phase Transition of Zeolite X under High Pressure and Temperature)

  • 이현승;이수진;이용문
    • 자원환경지질
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    • 제56권1호
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    • pp.13-21
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    • 2023
  • 합성 제올라이트 X의 고온 고압 하에서 압력 전달 매개체에 따른 체적탄성계수와 상전이 특성을 이해하기 위해 X-선 분말 회절 연구를 진행하였다. 제올라이트 X에 물과 탄산 용액을 압력전달매개체로 사용하여 상온 상압에서 최대 250 ℃, 5.18 GPa까지 가열 및 가압하는 과정에서 나타나는 단위포 부피 변화와 상전이를 방사광 X-선 회절을 통해 관찰하였다. 르바일의 전체 분말 패턴 분해법이 적용된 GSAS2 프로그램을 사용하여 각 압력 단계에서 제올라이트 X와 그멜리나이트, 나트로라이트, 스멕타이트의 격자상수와 단위포 부피를 도출하였다. 버치-머내한 2차 방정식이 적용된 EosFIt 프로그램을 사용하여 각 제올라이트 X와 스멕타이트의 체적탄성계수를 구하였다. 물을 사용한 실험에서 제올라이트 X의 체적탄성계수는 89(3) GPa, 탄산 수용액을 사용한 실험에서 제올라이트 X의 체적탄성계수는 92(3) GPa이다. 두 실험 모두 최초 가압 시 제올라이트 X 내부로 압력 전달 매개체의 유입으로 인한 부피 증가 현상이 발생하였다. 물을 사용한 실험에서 제올라이트 X는 그멜리나이트, 나트로라이트, 스멕타이트로 상전이 하였으며, 탄산 수용액을 사용한 실험에서 제올라이트 X는 스멕타이트로 상전이 하였다. 물을 사용한 실험에서 나타난 제올라이트 간 변화는 탄산 수용액을 사용한 실험에서는 발생하지 않았으며, 이는 특정 제올라이트 생성 조건이 압력 전달 매개체 pH와 연관이 있는 것으로 판단된다.

파이롯 규모 SI 공정 시험 설비에서의 헬륨 가열 장치 설계 (Design of a pilot-scale helium heating system to support the SI cycle)

  • 장세현;최용석;이기영;신영준;이태훈;김종호;윤석훈;최재혁
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제40권3호
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    • pp.157-164
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    • 2016
  • 본 연구에서는 SI 공정 시스템에서 헬륨 가열 장치에 대한 설계와 건조 데이터 확보를 위한 파이롯 규모의 헬륨 가열 장치 시스템에 대한 예비 설계 및 해석을 수행하였다. 헬륨 가열기는 LPG연소로를 활용하도록 설계하였고, 열유동 해석을 수행한 결과, 열교환기 출구측에서 LPG 연소가스의 유속이 약 40 m/s가 되었다. 최대온도는 6개의 베플이 설치된 경우가 4개의 베플이 설치된 경우보다 높게 나타나며, 이는 6개의 베플일 때 연소가스에서 헬륨가스로의 열전달이 좋아질 것임을 의미한다. 더불어, 베플수가 많아지면 LPG 연소가스의 유량을 감소시킬 수 있어 연료비용을 저감할 수도 있음을 의미한다. 다만, 베플수를 무한정 증가시키면 입출구의 압력차가 증가되기 때문에 최적의 베플수 선정이 중요하다. 열유동 해석에 이어 수행한 구조해석에서는 헬륨의 유량을 3.729 mol/s, 출구 온도를 $910^{\circ}C$로 유지할 경우 관의 양 끝단에서 지지하는 경우 중간부분의 팽창률이 3.86 mm임을 확인하였다. LPG 연소로 헬륨 가열시스템에서 shell & tube type의 열교환기를 적용하여 $135^{\circ}C$의 헬륨이 $910^{\circ}C$로 가열하여 유출하기 위해서 약 $1300^{\circ}C$의 연소가스 온도 및 52 g/s의 연소가스 유량이 확보되어야 함을 확인하였다.

제주전통두부의 산업화를 위한 최적공정확립 (Optimization for the Industrial Production of Traditional Jeju Tofu)

  • 오영주;이삼빈;김찬식
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제33권3호
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    • pp.603-608
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    • 2004
  • 제주 전통두부의 산업 를 위한 최적 공정을 확립하고 해수를 대용할 수 있는 응고제를 사용하여 맛과 영양성 및 저장성이 향상된 고품질의 전통두부를 생산할 수 있었다. 즉 대두원료의 침지는 동절기 및 하절기에 각각 12∼16시간, 8∼10시간이 적합하였다. 가수량은 원료 대두량의 8배가 적합하였으며, 이 때의 두유농도는 8$^{\circ}$Brix였다. 두유는 10$0^{\circ}C$에서 2분 정도 가열하는 것이 단백질의 유리 thiol잔기의 노출을 최대화하였다. 연속 가열솥 대신 진공솥으로 대치한 결과 압력과 온도조절이 용이하여 수율이 21% 증가하였으며, 제품의 품질관리가 용이하였다. 마른두부의 응고제로는 6% 죽염액과 다시마침출액을 1 : 1의 비율로 혼합하여 1차 응고제를 만들고, 키토산 1 L에 CaCl$_2$8g과 MgCl$_2$ 2g의 비율로 혼합하여 응고제를 얻었다. 최종 마른 두부의 소비자의 기호도는 60%이상이 보통 이상으로 평가하였으며, 고소한 맛과 견고성이 우수하면서 전체적인 기호도가 시판두부에 비해서 유의적인 차이를 보이면서 우수하였다.

토션 바재의 마찰용접에 관한 연구(I) -마찰용접기술의 최적화에 대하여- (Study on Friction Welding of Torsion Bar Material(1) -Optimization of Friction Welding Technique-)

  • 오세규;이종두
    • 한국해양공학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.101-109
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    • 1990
  • The friction welding has more technical and economic advantages than the other welding processes. As this welding process has the characteristics such as curtailment of production time, materials, cost reduction, etc., it has been widely used in production of various mechanical components which have complex shapes. So, this paper deals with optimizing the friction welding conditions and analyzing various mechanical properties of the friction welded joints of torsion bar material SUP9A bar to bar. The results obtained are summarized as follows; 1) The quantitative relation between heating time($t_{1}$, sec) and total upset(U, mm)can be obtained. The empirical formula obtained is ; U = 3.29$t_{1}$ + 1.6 2) The tensile strength($\sigma_{t}$, kgf/$mm^{2}$) of friction welding joints as post weld heat treated(PWHT) depends upon heating time($t_{1}$, sec) quantitatively and the empirical formula obtained is ; $\sigma$= -5.1$t_{1}\;^{2}$+44.90$t_{1}$+45.2 3) It is certain that the optimum condition for friction welded joints of SUP9A steel bars of diameter 14.5mm is, considering on various properties such as tensile strength, torsional strength, impact energy and strain of the joints after PWTH ; n = 2000rpm, $P_{1}$=8kgf/$mm^{2}$, $P_{2}$=20kgf/$mm^{2}$, $t_{1}$=4sec, $t_{2}$=3sec 4) The tensile strength, torsional strength and hardness were increased with the increased with the increasing carbon equivalent, but toughness was decreased.

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냉각탑 공기가열기용 전열판의 수치해석적 성능 비교 (Performance Comparison of Heat Transfer Plates for Cooling Tower Air Heater Through Numerical Analysis)

  • 이을종;김정식;김내현
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제13권12호
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    • pp.5676-5683
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    • 2012
  • 본 연구에서는 백연방지용 냉각탑의 공기가열기 적용을 목적으로 현재 냉각탑의 충진재로 적용되고 있는 쉐브론형, 웨이브형 그리고 딤플형 전열판 형상에 대한 수치해석을 수행하였다. 해석 결과 동일 소비동력 대비 전열량은 평판보다 고성능 전열판에서 높게 나타났다. 열전달계수는 웨이브 형상에서 가장 크고 쉐브론 형상, 딤플 형상 순으로 나타났다. 웨이브 형상의 경우 교차하는 절곡형상 사이의 왕성한 혼합유동이 열전달 계수를 증진시킨 것으로 판단된다. 마찰계수는 열전달계수와 유사한 경향을 보였다. 하지만 동일 크기 쉬트에서의 전열량 및 압력손실은 쉐브론형에서 가장 크게 나타났다. 이는 쉐브론 형상의 전열면적이 다른 형상에 비하여 월등히 크기 때문이다.

소형 초음속 연소시험 장치를 위한 형상 천이 노즐 설계 (Design of a Shape Transition Nozzle for Lab-scale Supersonic Combustion Experimental Equipment)

  • 성부경;황원섭;최정열
    • 한국항공우주학회지
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    • 제48권3호
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    • pp.207-215
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    • 2020
  • 소형 초음속 연소시험 장치 구축의 일부로서 형상 천이 노즐 설계 연구를 수행하였다. 원형의 연소식 공기가열기에 정사각형 단면의 초음속 연소기를 연결하기 위하여 MOC 설계기법을 이용하여 초음속 형상 천이 노즐의 면적변화를 산출하였다. 천이율을 조절하기 위하여 형상 천이 함수를 도입하였다. 3차원 전산유체 해석을 통한 경계층 보정과 함께 몇 가지 형상 천이 함수의 영향을 살펴보았다. 본 연구의 형상 천이 노즐에서는 일반적인 사각단면 노즐에서 모서리에 발생하는 압력구배에 의한 재순환영역과 이에 의한 노즐 벽 중심부의 경계층 발달이 비교적 작게 나타남을 확인하였다.

Direct-Connect 초음속 연소기 내 초음속 유동 형성과정에 대한 수치해석 (Numerical Study on the Process of Supersonic Flow Formation in a Direct-Connect Supersonic Combustor)

  • 정승민;한형석;성부경;이은성;최정열
    • 한국항공우주학회지
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    • 제48권11호
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    • pp.889-902
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    • 2020
  • 본 연구에서는 직접 연결식 초음속 연소기에서 설계점을 만족하는 초음속 유동의 형성유무 및 안정화 소요시간을 확인하기 위한 수치해석이 수행되었다. 이를 위하여 연소식 공기 가열기 하류의 고압 유동이 초음속 연소기로 전파되며 초음속 유동장을 형성해가는 과정을 살펴보았다. 압력 및 온도 분석을 통해, 초음속 유동장이 설계점인 마하수 2.0, 1,000 K을 만족하며, 최소 4.0 ms의 안정화 시간이 필요함을 확인하였다. 따라서 초음속 연소시험에서 연료분사 이전에 유동 안정화에 필요한 시간을 고려해야 함을 알 수 있었다.