• Title/Summary/Keyword: 가열압력

Search Result 291, Processing Time 0.028 seconds

화학기상증착법을 이용한 h-BN의 성장과 그 특성

  • Seo, Eun-Gyeong;Kim, Seong-Jin;Kim, Won-Dong;Bu, Du-Wan;Hwang, Chan-Yong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2012.08a
    • /
    • pp.407-407
    • /
    • 2012
  • 화학기상증착법(CVD; Chemical Vapor deposition)으로 h-BN을 증착하여 성장 시간에 따른 표면의 특성 및 결정성을 연구하였다. 암모니아 보레인(BH3NH3)을 보론 나이트라이드(Boron Nitride) 박막의 전구물질로 이용하였으며, $70{\sim}120^{\circ}C$로 열을 가하여 열분해하였다. $25{\mu}m$ 두께의 구리 기판을 챔버에 넣어서 Low pressure (~25 mTorr) 상태가 되도록 한다. 25 mTorr 이하의 압력에서 수소 가스 (0.2~1sccm)를 넣고 $20^{\circ}C$/min로 가열한 후 약 한 시간 후에 $990{\sim}1,000^{\circ}C$가 된다. 그 후 Cu foil의 표면을 부드럽게 하고, 산화막을 제거하기 위해 $990^{\circ}C$에서 40 분간 열처리(annealing)한다. 그 후 암모니아 보레인에서 분해된 보라진 가스(borazine; B3H6N3)로 h-BN을 합성한다. 성장 시간이 길수록 더 많은 부분이 보론 나이트라이드에 의해 덮인다는 것을 관찰하였고, 성장 시 주입하는 수소의 양(0.2~5 sccm)과 알곤(0~15 sccm)의 혼합 비율에 따라 보론 나이트라이드의 domain size가 변화함을 알 수 있었다. 그 각각의 차이를 주사 전자현미경(SEM; Scanning Electron Microscopy)을 통해 확인하고, 결정성을 라만 분광(Raman spectroscopy), 광전자 분광(XPS; X-ray photoelectron spectroscopy)으로 비교 분석하였다.

  • PDF

A Study on the Hydrogen Supply for Variation in Output from a Metal Hydride Canister (금속수소화물 금속용기로부터 출력변동에 필요한 수소공급에 관한 연구)

  • Jung, Young-Guan;Kim, Se-Woong;Kim, Kyung-Hoon;Choi, Seong-Dae;Jang, Tae-Ik;Hwang, Chul-Min
    • Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
    • /
    • v.20 no.3
    • /
    • pp.216-223
    • /
    • 2009
  • The relation between temperature and hydrogen desorption on variation in output was investigated for the metal hydride canister. For this study, an AB$_5$ type alloy were chosen as a hydrogen storage material in the metal hydride canister. And application to the single proton exchange membrane fuel cell was evaluated. As the results, the hydrogen desorption was linearly increased as the temperature was risen. In addition, metal hydride canister heating was able to correspond the variation of load as power request in the PEMFC system.

Modeling of Drying Cylinders in Paper Plants (제지공장 가열 실린더의 모델링)

  • Gwak, Gi-Yeong;Yeo, Yeong-Gu;Kim, Yeong-Gon;Choe, Gyeong-Seok;Gang, Hong
    • Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
    • /
    • 2003.11a
    • /
    • pp.249-271
    • /
    • 2003
  • The purpose of the present study is to identify the drying cylinder model in paper plants and to analyze characteristics of process responses for changes in input variables. The model developed in this work is based on actual plant operation data and the steam pressure applied to the cylinder behaves as one the main variables. It is found that heat transfer coefficients from the condensate to the canvas could be represented as empirical relations based on heat conductivities and operation date. The effectiveness of the cylinder model is demonstrated by the measured moisture contents and web temperature. Using transfer functions derived from the cylinder model stability of the drying process is analyzed.

  • PDF

The Effects of Woven Metal Screen Ribs on Heat Transfer and Pressure Drops in the 5:1 Aspect Ratio Rectangular Duct (5:1의 형상비를 갖는 사각덕트에서 직조 스크린 리입(rib)이 열전달과 마찰계수에 미치는 영향)

  • Oh, S.K.;Ary, B.K.P.;Ahn, S.W.;Lee, M.S.
    • Journal of Power System Engineering
    • /
    • v.15 no.3
    • /
    • pp.31-37
    • /
    • 2011
  • 직조 금속 스크린 리브(rib) 이 바닥에 설치된 사각 덕트에서 열전달과 유체유동의 압력강하를 측정하기 위해 실험적 연구를 수행하였다. 시험부의 치수는 200 mm(W) ${\times}$ 40 mm(H) ${\times}$ 712 mm(L)이고 수력직경은 66.6 mm이다. 입구영역에는 1.72m 길이의 가열되지 않은 동일한 치수의 채널을 설치하였다. 메쉬가 다른 4가지의 직조금속 스크린 리브에 대해 측정하였다. 그리고 비교를 위해 일체형 리브에 대해서도 측정하였다. 국부 열전달 계수의 측정에는 스테인레스 강제 포일(foil) 히터와 T형 열전대률 이용하였다. 레이놀즈 수는 23,000에서 58,000의 범위이다. 덕트의 수력직경($D_h$)에 대한 직조 금속 리브의 높이(e)의 비($e/D_h$)는 0.075 이고 리브 간격(p)과 높이의 비(p/e)는 10이다. 실험 결과 메쉬가 없는 일체형 리입에서 가장 누셀트 수와 마찰계수가 컷다.

Effects of RF Pulsing on the Ionization Enhancement in Ionized Magnetron Sputtering (RF pulsing이 Ionized Magnetron Sputtering의 이온화율 향상에 미치는 효과)

    • Journal of the Korean Vacuum Society
    • /
    • v.7 no.3
    • /
    • pp.255-260
    • /
    • 1998
  • The ionized magnetron sputtering is very useful in filling of small metal contact or via in ULSI processing with very high ionization upto 80% based on incoming flux ratio. But fairly high sputtering gas pressure is required to get high ionization, which instead gives low deposition rate and diverse incoming neutral's angular distribution. The electron quenching by heavily sputtered metals and gas rarefaction were considered the main causes of decreased ionization in this process. RF pulsing of sputtering power was proposed to solve those two problems. The results showed that 10㎳/10 ㎳ and 100㎳/100 ㎳ of on/off pulsings were optimal pulse conditions from OES measurements and also XRD of deposited Ag film showed distinct change of (111) to (200) preferred orientation. These results were analysed in a view point of neutral gas heating and cooling by high power sputtering.

  • PDF

A Study on the Accuracy of CFD Prediction for Small Scaled 4 Nozzle Clustered Engine Using Air (공기를 이용한 축소형 4노즐 클러스터드 엔진 저부 유동의 CFD 해석 검증)

  • Kim, Seong-Lyong;Kim, In-Sun
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
    • /
    • 2011.11a
    • /
    • pp.78-84
    • /
    • 2011
  • CFD simulation has been conducted on a small scaled 4 nozzle clustered engine operating with air. In the present paper, the effects of grid size, turbulence models, flux difference methods have been compared. The results show that the base flows are somewhat different as the turbulence models, while Roe and AUSM flux differences produced almost the same results. Spalart-Allmaras turbulence model produces more accurate results rather than famous SST k-w model. The calculated Mach number and pressure profile in the engine base reveal the complex base flow structure, which is somewhat different from the generally estimated flow fields.

  • PDF

Internal Flow Aerodynamic Test of a Mach 5 Scramjet Engine (마하 5 스크램젯 엔진의 내부 유동 공력 시험)

  • Yang, In-Young;Lee, Yang-Ji;Kim, Young-Moon;Lee, Kyung-Jae;Kang, Sang-Hoon;Yang, Soo-Seok
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
    • /
    • 2011.11a
    • /
    • pp.584-587
    • /
    • 2011
  • An internal flow aerodynamic test was performed for a Mach 5 scramjet engine. The test was done without fuel injection, as a preliminary test for the combustion test. Test engine is an engineering model with intake cross-section of $70mm{\times}200mm$ and total length of 1.7m. Test facility is a blowdown-type, high enthalpy, hypersonic facility. 19 pressures were measured through the holes on the model surface along the engine internal flow passage. It was found that the facility start is possible, and also supersonic flow is maintained inside the engine.

  • PDF

Finite Element Analysis of Thermoforming Process for Axisymmetric System (축대칭형계 열성형공정의 수치모사연구)

  • 이재욱
    • The Korean Journal of Rheology
    • /
    • v.8 no.3_4
    • /
    • pp.215-225
    • /
    • 1996
  • 평판형의 열가소성 수지를 유리전이온도 이상으로 가열한 다음 압력을 가함으로써 원하는 형상의 제품을 성형하는 열성형공정은 대상 수지가 큰 변형을 일으킬 뿐만 아니라 비선형적 거동을 보이게 된다. 따라서 수지의 변형거동 예측과 최적성형조건의 설정에 많은 어려움과 시행착오를 거치게 되는 바, 열성형 공정의 최적화를 위한 연구의 일환으로 원형 평판위 수지를 대상으로 수지의 부풀림 거동과 이에 따른 두께 분포를 예측할수 있는유한요 소법의 수치모사 알고리듬을 개발하고자 하였다. Piola-Kirchhoff 응력 텐서와 Green 변형 텐서 및 lagrangian 변형 텐서를 사용하여 평판상의 응력-변형에 대한 비선형의 에너지 수 지식을 수립하고 Newton-Raphson 반복수렴법을 이용하여 근사적으로 해석하였으며 수지의 유변학적 구성방정식으로는 neo-Hookean 모델, Mooney-Rivlin 모델 및 Ogden 모델등의 초탄성 모델을 사용하여 그결과를 비교하였다. 수치모사에는 두께가 매우 얇기 때문에 두께 방향의 응력변화를 무시할수 있는 membrane 가정을 도입한 2차원적 해석과 두께 방향의 응력 변화를 고려하는 3차원적 해석을 모두 수행하고 그 차이를 비교하였으며 3차원적 해석 의 경우에는 penalty법을 이용하여 비 압축성을 만족하였다. 일차적으로 내압을 받는 두꺼 운 원통계에 대한 수치모사 해석을 수행하고 완전해와 비교함으로써 개발된 수치모사 알고 리듬의 열성형 공정에의 적용 타당성을 검증하였으며 이를 이용하여 원형 평판의 자유부풀 림거동을 예측한 결과 Treloar 등의 실험결과와 잘 부합함을 확인하였다. 또 간단한 형상의 금형이 있는 경우와 반지름 방향으로의 온도변화에 따른 수지의 변형거동을 해석함으로써 실제 열성형 공정에서 요구되고 있는 성형품의 두께 분포를 균일하게 하기 위한 방안을 제 시하였다.

  • PDF

Thermal Stress Analysis of Spent Fuel Vol-oxidizer Furnace on the Internal Pressure (내부 압력변화에 대한 사용후핵연료 분말화장치 가열로의 열 응력 해석)

  • Kim, Y.H.;Jung, J.H.;Hong, D.H.;Park, B.S.;Lee, J.K.;Yoon, J.S.
    • Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
    • /
    • 2006.05a
    • /
    • pp.136-140
    • /
    • 2006
  • We are developing a vol-oxidizer which transforms the spent $UO_2$ pellets into the $U_3O_8$ power through oxidizing process. The vol-oxidizer consists of furnace, filter, heater and valve etc. When the filter is blocked by the powder, the internal pressure of the furnace is increased owing to the air flow restriction. Then, the furnace vessel is swelled and deformed by it. In this paper, we proposed a procedure of the thermal analysis for furnace vessel design of spent fuel vol-oxidizer. In this work, we determined the thickness of the furnace through analyzing the internal pressure and the thermal stress of the furnace with respect to various pressure and temperature. To analyze the thermal stress, we used ANSYS 8.0 for constructing a FEM model of the furnace, and then analyzed it based on the ASME code. We also surveyed the material property and yield stress of SUS304 with various temperature. Analysis results are compared with the yield stress of the material. We manufactured the furnace and conduct the verification experiments.

  • PDF

탄소 음이온 빔에 의해 증착된 DLC 필름의 특성 평가

  • 김인교;김용환;이덕연;최동준;한동원;백홍구
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 1999.07a
    • /
    • pp.59-59
    • /
    • 1999
  • DLC(diamond-like carbon)필름은 다이아몬드와 유사한 강도, 낮은 마차계수, 높은 Optical band gap, NEA(negative electron affinity)등의 우수한 특성을 가지고 있어, 내마모 코팅이나 정보저장 매체의 윤활 코팅, FED(field emission display)의 전계방출소자등 다양한 분야에의 응용이 연구되고 있다. DLC 필름은 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition), IBAD(ion beam assisted deposition), Laser ablation, Cathodic vacuum arc등의 process를 이용하여 증착되고 있다. 특히 이러한 필름의 물성은 입사되는 이온의 에너지에 의해 좌우되는데, Lifshitz 등의 연구에 의하여 hyperthermal species를 이용한 DLC 필름의 성장은 초기에 subsurface로의 shallow implantation이 일어난 후 높은 sp3 fraction을 갖는 필름이 연속적으로 성장한다는 subplantation model이 제시 되었다. 본 연구에서는 기판과 subplantation 영역이 이후 계속하여 증착되는 순수 DLC 필름의 특성 변호에 미치는 영향에 대하여 관심을 가지고 실험을 행하였다. 본 실험에서는 상기 제시되어 있는 방법보다도 더욱 정확하고도 독립적으로 탄소 음이온의 에너지와 flux를 조절할 수 있는 Cs+ ion beam sputtering system을 이용하여 탄소 음이온의 에너지를 40eV에서 200eV까지 변화시키며 필름을 증착하였다. Si(100) 웨이퍼를 기판으로 사용하였고 증착 압력은 5$\times$10-7torr 였으며 인위적인 기판의 가열은 하지 않았다. 또한 Ion beam deposited DLC film의 growth process를 연구하기 위하여 200eV의 탄소 음이온을 시간(증착두께)을 변수로 하여 증착하였고, 이 때에는 Kaufman type의 gas ion beam을 이용하여 500eV의 Ar+ ion으로 pre-sputering을 행하였다. 탄소 음이온의 에너지와 증착두께에 따라 증착된 film 내의 sp3/sp2 ratio 의 변화를 XPS plasmon loss 와 Raman spectra를 이용하여 분석하였다. 또한 증착두께에 따른 interlayer의 결합상태를 관찰하기 위하여 AES와 XPS 분석을 보조로 행하였다.

  • PDF